技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型為有關(guān)一種晶圓探針的測(cè)試裝置，主要結(jié)構(gòu)包括一供檢查至少一針體的表面規(guī)格的第一驗(yàn)證裝置、一設(shè)于該第一驗(yàn)證裝置一側(cè)的研磨裝置，該研磨裝置包含至少一研磨機(jī)構(gòu)、及一信息連接該研磨機(jī)構(gòu)的參數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)，并于該研磨裝置背離該第一驗(yàn)證裝置一側(cè)設(shè)置一供檢查該針體研磨后的表面規(guī)格的第二驗(yàn)證裝置，及于該第二驗(yàn)證裝置背離該研磨裝置一側(cè)設(shè)置一電性查驗(yàn)裝置，以將該針體與至少一工作機(jī)構(gòu)進(jìn)行使用測(cè)試。借上述結(jié)構(gòu)，使針體分別在表面研磨處理程序的前后進(jìn)行表面規(guī)格驗(yàn)證，并于驗(yàn)證后進(jìn)行針體的產(chǎn)品實(shí)測(cè)或?qū)崣C(jī)實(shí)測(cè)，以確保其質(zhì)量及良率。

技術(shù)研發(fā)人員：陳良波;許宏維
受保護(hù)的技術(shù)使用者：全智科技股份有限公司
文檔號(hào)碼：201620684187
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.30
技術(shù)公布日：2017.01.25