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用激光干涉儀檢測分體式激光對刀儀重復(fù)精度的裝置的制作方法

文檔序號:11853469閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用激光干涉儀檢測分體式激光對刀儀重復(fù)精度的裝置,其特征在于包括:

設(shè)置于水平工作面上的載物臺(2)、

能夠往復(fù)運動的自動滑臺(1)、

用于分別測量自動滑臺(1)運動位置的分體式激光對刀儀(3)和激光干涉儀線性測量組件(4);

所述的分體式激光對刀儀(3)和激光干涉儀線性測量組件(4)用于分別將測得的位置值記錄,并傳輸給處理單元,計算得出分體式激光對刀儀的重復(fù)精度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用激光干涉儀檢測分體式激光對刀儀重復(fù)精度的裝置,其特征在于:

所述的自動滑臺(1)設(shè)置于載物臺(2)上,所述分體式激光對刀儀(3)的激光發(fā)射端和激光接受端分別固定在載物臺(2)兩側(cè)的架體上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用激光干涉儀檢測分體式激光對刀儀重復(fù)精度的裝置,其特征在于:

所述的激光干涉儀線性測量組件(4)包括線性測量組件和移動測量鏡組,所述的激光干涉儀線性測量組件(4)的線性測量組件設(shè)置于載物臺(2)上,移動測量鏡組設(shè)置于自動滑臺(1)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用激光干涉儀檢測分體式激光對刀儀重復(fù)精度的裝置,其特征在于:

所述的處理單元為英特爾X64或X86系列中央處理器。

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