本實用新型涉及一種應(yīng)用在真空校準(zhǔn)裝置中的新型限流孔板結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

在真空校準(zhǔn)裝置中，在進(jìn)行真空規(guī)、真空漏孔進(jìn)行動態(tài)校準(zhǔn)時，為避免真空抽氣系統(tǒng)對校準(zhǔn)室的干擾，普遍采用限流小孔的方法穩(wěn)定氣流。限流小孔位于校準(zhǔn)室及真空抽氣系統(tǒng)之間。

傳統(tǒng)的限流小孔按照真空校準(zhǔn)裝置按規(guī)范要求制作出相應(yīng)規(guī)格的小孔并固定在校準(zhǔn)室上，由于結(jié)構(gòu)上的限制，這些真空校準(zhǔn)裝置的限流小孔是固定不變的。

由于不同的校準(zhǔn)需求對限流小孔有不同的要求，不同的校準(zhǔn)需求需要配置不同規(guī)格的換限流孔板，在原有系統(tǒng)上只能更換不同的校準(zhǔn)室，成本較高。

本專利為多用途的校準(zhǔn)裝置，設(shè)計了一種可更換的限流孔板，很好地解決了上述困難。

本實用新型專利是一種更換型限流孔板。

限流孔板安裝于校準(zhǔn)室與真空抽氣系統(tǒng)之間，通過一定的連接結(jié)構(gòu)進(jìn)行固定。本專利的獨特之處是通過合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計保證校準(zhǔn)室的完整性，并通過可拆裝的密封結(jié)構(gòu)將限流孔板固定在校準(zhǔn)室與真空抽氣系統(tǒng)之間。

采用可拆卸的方式，不但利于限流孔板的更換，而且有利于限流孔板的小孔測量，提高校準(zhǔn)裝置的系統(tǒng)性能。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是設(shè)計一種可用于校準(zhǔn)裝置中的限流孔板，可以進(jìn)行快速更換，滿足不同校準(zhǔn)計量的需求。

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：

1、一種更換型限流孔板，其特征在于由孔板法蘭(3)、密封結(jié)構(gòu)(8)及限流小孔(6)組成。

2、一種更換型限流孔板，其特征在于所述的可密封的孔板法蘭(3)?？装宸ㄌm(3)包括密封結(jié)構(gòu)(8)、限流小孔(6)及連接結(jié)構(gòu)(7)。

由上述方案可以得知，本實用新型所述的更換型限流孔板，避免了傳統(tǒng)限流孔板不可更換的缺點，解決了真空校準(zhǔn)裝置在不同校準(zhǔn)需求時限流孔板更換問題。

附圖說明

圖1為本實用新型更換型限流孔板的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

本實用新型的具體實施方式結(jié)合附圖敘述如下：

如附圖更換型限流孔板結(jié)構(gòu)示意圖所示，本實用新型更換型限流孔板由孔板法蘭(3)、限流小孔(6)、連接結(jié)構(gòu)(7)、密封結(jié)構(gòu)(8)等組成。其中限流小孔(6)上下面分別位于校準(zhǔn)室(1)、下游室(5)的球面上；連接結(jié)構(gòu)(7)分別與校準(zhǔn)室法蘭(2)、下游室法蘭(4)連接；密封結(jié)構(gòu)(8)分別與校準(zhǔn)室法蘭(2)、下游室法蘭(4)進(jìn)行密封。

若將本實用新型專利所述的更換型限流小孔，在密封結(jié)構(gòu)上加以改變，則可以采用多種密封形式如CF金屬密封法蘭、橡膠圈密封法蘭、KF快速法蘭等；在校準(zhǔn)室、下游室結(jié)構(gòu)上加以改變，則可以采用球形校準(zhǔn)室、柱形校準(zhǔn)室等。

以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。