1.一種超低溫六分量天平校準復位過程中的位姿檢測方法,其特征在于,該超低溫六分量天平校準復位過程中的位姿檢測方法包括:
步驟1,控制一個低溫箱溫度從常溫到低溫再到超低溫的過程中,通過一組高精度激光位移傳感器采集位于該低溫箱內(nèi)的一個校準加載頭在X方向上的低溫變形量,并通過一個復位機構補償該校準加載頭在X方向上的低溫變形量;
步驟2,通過一個施力機構對該校準加載頭施加標準載荷;
步驟3,通過一組高精度激光位移傳感器在該低溫箱外采集該校準加載頭的位移量;
步驟4,將該校準加載頭的位移量傳輸至一個控制系統(tǒng)中,以使該控制系統(tǒng)根據(jù)該校準加載頭的位移量獲得該校準加載頭在該低溫箱內(nèi)的線位移和角位移,以在后續(xù)根據(jù)該校準加載頭的線位移和角位移,通過該復位機構進行補償。
2.如權利要求1所述的一種超低溫六分量天平校準復位過程中的位姿檢測方法,其特征在于,在該步驟1中,由于該低溫箱溫度的變化,對已標定的校準加載頭X方向的變形量,通過一組高精度激光位移傳感器采集,并通過復位機構補償該校準加載頭X方向的低溫變形量,在該步驟3中,該校準加載頭的位移量包括X方向、Y方向和Z方向的位移量,以在該步驟4中,該控制系統(tǒng)能夠獲得該校準加載頭在該低溫箱內(nèi)的X方向、Y方向和Z方向的線位移和繞X方向、Y方向和Z方向的角位移。
3.如權利要求2所述的一種超低溫六分量天平校準復位過程中的位姿檢測方法,其特征在于,補償由于溫度變化引起的校準加載頭X方向低溫變形,并分別通過一個該高精度激光位移傳感器測量該校準加載頭在X方向的位移變化、分別通過一個該高精度激光位移傳感器測量該校準加載頭在鉛垂Y方向的位移變化,通過一個該高精度激光位移傳感器測量該校準加載頭的側向位移變化,以獲得該校準加載頭的位移量。
4.如權利要求1‐3中的任意一個所述的一種超低溫六分量天平校準復位過程中的位姿檢測方法,其特征在于,在該步驟1之前包括步驟:標定該校準加載頭的坐標系和調整天平校心和加載力坐標系。
5.如權利要求4所述的一種超低溫六分量天平校準復位過程中的位姿檢測方法,其特征在于,在常溫環(huán)境下標定該校準加載頭的坐標系和調整天平校心和加載力坐標系。