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一種新型高溫壓電振動(dòng)傳感器的制作方法

文檔序號(hào):12445888閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種新型高溫壓電振動(dòng)傳感器,包括:底座;外殼,底座上連接外殼,形成壓電振動(dòng)傳感器的密封內(nèi)腔;固定在底座上的陶瓷棒;依次套放在陶瓷棒上的多片壓電晶片、金屬塊、絕緣片、穿有高溫引線的預(yù)緊件;兩路電極線,放置在壓電晶片之間;壓電晶片為(XYw/45o)切YGdCOB晶片。(XYw/45o)切YGdCOB晶片的有效壓電常數(shù)為~5pC/N,室溫到1000℃范圍,壓電常數(shù)變化率低于5%,加工平整度誤差小于0.02mm,具有特別優(yōu)異的高溫壓電性能及溫度穩(wěn)定性,使得壓電振動(dòng)傳感器耐高溫高達(dá)600℃以上。

技術(shù)研發(fā)人員:于法鵬;田世偉;馬慶宇;張樹君;李妍璐;程秀鳳;段秀蘭;陳菲菲;王正平;趙顯
受保護(hù)的技術(shù)使用者:山東大學(xué);山東本源晶體科技有限公司
文檔號(hào)碼:201611236683
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.28
技術(shù)公布日:2017.05.31

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