本發(fā)明涉及一種新型高溫壓電振動(dòng)傳感器，可用于檢測(cè)高溫環(huán)境下關(guān)鍵部件的振動(dòng)狀況，用于航空航天、汽車(chē)工業(yè)、核電能源、石油探測(cè)等行業(yè)。屬于電子材料與器件技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

晶體受擠壓或拉伸時(shí)兩端會(huì)產(chǎn)生不同的電荷，這種效應(yīng)被稱(chēng)為壓電效應(yīng)。能產(chǎn)生壓電效應(yīng)的晶體就叫壓電晶體。利用晶體的正壓電效應(yīng)可以研制成各類(lèi)壓電傳感元器件，探測(cè)各類(lèi)非電物理量，例如形變、位移、壓力、壓強(qiáng)、振動(dòng)、加速度等。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展特別是航空航天、核電能源和汽車(chē)工業(yè)等的發(fā)展，人們對(duì)傳感器的要求越來(lái)越高。其中最為關(guān)鍵的是傳感器的性能及工作溫度范圍問(wèn)題。

中國(guó)專(zhuān)利文獻(xiàn)CN1618021A公開(kāi)了一種壓電加速傳感器，包括一個(gè)加速檢測(cè)單元，它具有固定在振動(dòng)膜一個(gè)表面上的重物，以及另一個(gè)表面上的壓電元件，通過(guò)將壓電元件的背面在此粘合而固定該壓電元件；以及分別形成在壓電元件的各表面上的表面電極和背面電極，其中用于在振動(dòng)膜和表面電極之間維持均勻距離的一個(gè)支持圖形成在壓電元件的背面上，以抑制壓電元件和振動(dòng)膜連接時(shí)的粘合不均勻，并消除每個(gè)軸的檢測(cè)敏感性的變化。本專(zhuān)利壓電加速度傳感器有可能抑制壓電元件與振動(dòng)磨連接時(shí)的粘合不均勻性，統(tǒng)一加速檢測(cè)單元每個(gè)部分的浮動(dòng)電容的發(fā)生，所以抑制檢測(cè)敏感性的變化。它有效的增加了傳感器的穩(wěn)定性，但是它傳感核心元件是壓電陶瓷，它的熱學(xué)性能不好，一般工作溫度在250℃以下，嚴(yán)重限制了它的應(yīng)用范圍。

中國(guó)專(zhuān)利文獻(xiàn)CN1646887A公開(kāi)的壓電振動(dòng)傳感器載體是塑料材料的帶，被保持在相同的支撐部分，框架中可以安裝多個(gè)傳感器單元構(gòu)成具有傳感器矩陣的薄片，專(zhuān)利指出可以用在對(duì)患者進(jìn)行的計(jì)算計(jì)輔助聽(tīng)診中，或用于感應(yīng)振動(dòng)已生成機(jī)器和機(jī)構(gòu)部分的振動(dòng)分析，但是，該發(fā)明僅僅停留在常用的環(huán)境中，不能用于高溫環(huán)境，例如，核能，發(fā)動(dòng)機(jī)，航空航天的尖端領(lǐng)域。

中國(guó)專(zhuān)利文獻(xiàn)CN103080707A公開(kāi)的振動(dòng)傳感器，壓電振動(dòng)傳感器和信號(hào)處理基板并排布置在大致垂直于振動(dòng)傳感器的振動(dòng)方向的平面上，該發(fā)明也能抑制橫軸靈敏度與主軸靈敏度比率的串?dāng)_的影響，但是，由于很多材料只能在常溫下使用，因此，同樣不適用于高溫苛刻環(huán)境。

在高溫壓電傳感器件方面，中國(guó)專(zhuān)利文獻(xiàn)CN1763548A公開(kāi)了一種可承受480℃高溫的差分壓電加速度計(jì)，但是，它的穩(wěn)定性沒(méi)有根本上解決，并且結(jié)構(gòu)復(fù)雜在持久劇烈振動(dòng)情況下很難保證器件能夠正常工作；存在這樣那樣的致命問(wèn)題，特別是，振動(dòng)傳感器的穩(wěn)定性、安全性、可靠性、靈敏性都存在問(wèn)題。

中國(guó)專(zhuān)利文獻(xiàn)CN105277617A公開(kāi)的振動(dòng)傳感器包括動(dòng)力源、激振器腔體，激振器缸體，激振鋼錘，振動(dòng)傳感腔體，PVDF壓電傳感器薄膜和控制電路。由于涉及激振動(dòng)力源為衛(wèi)星集鎮(zhèn)馬達(dá)或電磁鐵限制了傳感器是用的持久性，又由于使用PVDF壓電薄膜作為感應(yīng)中心，該材料長(zhǎng)期使用溫度為-40～150℃，因此也不能用于苛刻環(huán)境的持久運(yùn)行。

綜上所述，目前報(bào)道的高溫壓電振動(dòng)傳感器，由于靈敏元件和器件組裝的不足，在高溫600℃及以上時(shí)會(huì)發(fā)生松動(dòng)或者嚴(yán)重的疲勞現(xiàn)象，引起器件的失效。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種具有低介電損耗、高溫度穩(wěn)定性的壓電振動(dòng)傳感器件，該器件能夠在600℃以上環(huán)境正常工作。

術(shù)語(yǔ)解釋

1、壓電效應(yīng)：當(dāng)一些電介質(zhì)沿一定方向上受到外力的作用發(fā)生形變時(shí)，其內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時(shí)在它的兩個(gè)相對(duì)表面上出現(xiàn)正負(fù)相反的電荷。當(dāng)外力去掉后，它可以恢復(fù)到不帶電的狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱(chēng)為正壓電效應(yīng)。相反，當(dāng)在電介質(zhì)的極化方向上施加電場(chǎng)，這些電介質(zhì)也會(huì)發(fā)生形變，電場(chǎng)去掉后，電介質(zhì)的形變隨之消失，這種現(xiàn)象稱(chēng)為逆壓電效應(yīng)。

2、YGdCOB晶體：化學(xué)式為YxGd1-xCa₄O(BO₃)₃，屬于單斜晶系m點(diǎn)群。

本發(fā)明的技術(shù)方案為：

一種新型高溫壓電振動(dòng)傳感器，包括：

底座；

外殼，所述底座上連接所述外殼，形成所述壓電振動(dòng)傳感器的密封內(nèi)腔；

固定在所述底座上的陶瓷棒；

依次套放在所述陶瓷棒上的多片壓電晶片、金屬塊、絕緣片、穿有高溫引線的預(yù)緊件；

兩路電極線，放置在壓電晶片之間；

所述壓電晶片為(XYw/θ)切YGdCOB晶片,θ的取值范圍為30°～50°，YGdCOB晶片的化學(xué)式為Y_xGd_1-xCa₄O(BO₃)₃，x的取值范圍為0.1～0.9。X是指物理學(xué)x軸，Y是指物理學(xué)Y軸，w是指沿著壓電晶片寬度方向旋轉(zhuǎn)的角度，θ是指沿著壓電晶片寬度方向旋轉(zhuǎn)的角度的具體數(shù)值。

進(jìn)一步優(yōu)選的，θ＝45°，x＝0.3。

此處設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)在于，(XYw/45°)切YGdCOB晶片的有效壓電常數(shù)為～5pC/N，室溫到1000℃范圍，壓電常數(shù)變化率低于5％，加工平整度誤差小于0.02mm，具有特別優(yōu)異的高溫壓電性能及溫度穩(wěn)定性，使得壓電振動(dòng)傳感器耐高溫高達(dá)600℃。

根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選的，多片所述壓電晶片成對(duì)套放在所述陶瓷棒上，相鄰兩片所述壓電晶片電極方向相反。

此處設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)在于，一方面有利于提高了壓電振動(dòng)傳感器的靈敏度，另一方面可以抵消或降低橫向電荷引起的傳感誤差。

根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選的，所述電極線的材質(zhì)為鎳金屬片或鍍鉑金的鎳金屬片，所述金屬塊的材質(zhì)為蒸鍍一層150-250nm厚的鉑金的鎢金屬。

此處設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)在于，鎢金屬熱膨脹系數(shù)4～5之間，提高了振動(dòng)傳感器的靈敏度，鎢金屬上蒸鍍一層150-250nm厚的鉑金，防止高溫鎢塊的揮發(fā)。

根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選的，所述電極線包括電極帶及電極環(huán)，所述電極帶的兩端為電極環(huán)，一路電極線的一端電極環(huán)設(shè)置在所述壓電晶片與所述底座之間并套進(jìn)所述陶瓷棒，一路電極線的另一端電極環(huán)設(shè)置在所述壓電晶片與所述金屬塊之間并套進(jìn)所述陶瓷棒；另一路電極線的一端電極環(huán)設(shè)置在兩片壓電晶片之間并套進(jìn)所述陶瓷棒，另一路電極線的另一端電極環(huán)設(shè)置在所述絕緣片與所述預(yù)緊件之間并套進(jìn)所述陶瓷棒。

電極環(huán)的內(nèi)徑、外徑均保持與壓電晶片相同的尺寸，內(nèi)徑略大于陶瓷棒的直徑，外徑略小于單晶片的直徑，電極帶的長(zhǎng)度依據(jù)壓電晶片的厚度和金屬塊的厚度，電極帶的長(zhǎng)度25mm，其他的長(zhǎng)度在10mm；

根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選的，所述外殼包括：外殼套管、外殼上蓋、陶瓷螺栓，所述陶瓷螺栓匹配連接所述外殼上蓋，所述外殼上蓋匹配連接所述外殼套管，所述外殼套管連接所述底座，所述陶瓷螺栓中心帶孔，通過(guò)該孔引出所述高溫引線。

此處設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)在于，陶瓷螺栓一方面可以將高溫引線引出，另一方面可以隔絕高溫引線與外殼上蓋的接觸，除此之外，采用高溫?zé)o機(jī)膠填充孔后對(duì)整個(gè)器件起到密封作用。

根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選的，所述絕緣片與所述預(yù)緊件之間設(shè)有防松墊圈，防松墊圈包括通過(guò)鋸齒槽咬合的上、下兩個(gè)部分，上、下兩個(gè)部分的端面設(shè)有鋸齒槽，所述防松墊圈、所述陶瓷螺栓、所述陶瓷棒的材質(zhì)均為純度大于等于95％的氧化鋁陶瓷。

此處設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)在于，防松墊圈功能特點(diǎn)：在發(fā)生松動(dòng)時(shí)，上下斷面的鋸齒產(chǎn)生與其它相鄰構(gòu)件之間的摩擦力，依靠該摩擦力產(chǎn)生自鎖效果，確保在強(qiáng)振動(dòng)下保持連接件的夾緊力，從而防止陶瓷棒上其它構(gòu)件的松動(dòng)，提高器件的使用可靠性。

根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選的，所述高溫引線和所述陶瓷螺栓的縫隙間，以及所述陶瓷棒和所述底座的縫隙間均填充有耐高溫1500℃的無(wú)機(jī)膠。

此處設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)在于，提高了器件的密封性及牢固性。

根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選的，所述高溫引線底端設(shè)有圓形鉑片，所述高溫引線為直徑為0.8mm的鉑金絲。

此處設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)在于，高溫引線采用耐高溫、不易被氧化、導(dǎo)電性好、柔韌度高的金屬，在劇烈振動(dòng)情況下也不易疲勞斷裂。

根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選的，所述預(yù)緊件上端的中間設(shè)有與所述高溫引線同等直徑大小的孔。

預(yù)緊件的作用是防止在振動(dòng)環(huán)境下金屬塊、絕緣片、壓電晶片的松脫。通過(guò)螺紋和陶瓷棒緊密連接。使高溫引線順利穿過(guò)，便于電荷信號(hào)引出。

上述壓電振動(dòng)傳感器的安裝方法，具體步驟包括：

(1)將陶瓷棒帶有螺紋的一端蘸取稀的無(wú)機(jī)膠，旋轉(zhuǎn)進(jìn)入底座上，保持陶瓷棒與底座垂直。將膠合后的陶瓷棒和底座放進(jìn)烘箱中在150℃保持10小時(shí)以上，待無(wú)機(jī)膠固化；

(2)無(wú)機(jī)膠固化后，把壓電晶片6和電極線7成對(duì)安裝進(jìn)陶瓷棒中，注意將相同極性的壓電晶片端面相對(duì)放置，壓電晶片之間夾放電極線，共有兩路，一路為正極，一路為負(fù)極。當(dāng)最后一片壓電晶片裝進(jìn)陶瓷棒中后，將該壓電晶片上面的一路電極線(通常選擇負(fù)極)用金屬塊壓住，同時(shí)安放絕緣片、另一路電極線(通常為正極)被防松墊圈固定??；

(3)將穿有高溫引線的預(yù)緊件旋進(jìn)陶瓷棒中，在防松墊圈的協(xié)同作用下，加固陶瓷棒上的所有零部件；

(4)把外殼套管固定在底座上，將外殼上蓋與外殼套管通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺紋固定在一起，至此核心部件安裝完畢；

(5)將高溫引線的外圍以及中心帶孔的陶瓷螺栓的外螺紋涂稀的高溫?zé)o機(jī)膠，將高溫引線穿過(guò)陶瓷螺栓，將陶瓷螺栓旋進(jìn)外殼上蓋中；

(6)將整個(gè)器件放進(jìn)烘箱中，在150℃保持10小時(shí)以上，將無(wú)機(jī)膠充分固化，并確保構(gòu)件高溫引線、陶瓷螺栓、外殼上蓋之間，以及底座與陶瓷棒之間充分密封結(jié)合；

(7)將整個(gè)器件放在惰性氣氛箱中，充入惰性氣體并采用電阻焊將外殼上蓋與外殼套管，以及外殼套管與底座之間充分焊牢，完成器件封裝。

本發(fā)明的有益效果為：

1、針對(duì)振動(dòng)傳感器件高溫工作要求，本發(fā)明采用壓電性能穩(wěn)定且靈敏度較高的YGdCOB晶體的(XYw/45°)切型作為敏感元件，使得壓電振動(dòng)傳感器耐高溫高達(dá)600℃；

2、本發(fā)明采用壓電晶片多片組合的方式，提高傳感器的靈敏度。

3、本發(fā)明采用鎳合金以及鍍鉑金的金屬塊以及電極線，提高器件的服役溫度上限。

4、針對(duì)器件密封性及安裝絕緣性的問(wèn)題，本發(fā)明設(shè)計(jì)了具有耐高溫且性質(zhì)穩(wěn)定的防松墊圈，防松墊圈的材質(zhì)為1Cr25Ti號(hào)鋼，可在小載荷情況下承受溫度1100℃，設(shè)計(jì)了95％Al₂O₃材質(zhì)的防松墊圈、陶瓷螺栓、陶瓷棒，配合高溫?zé)o機(jī)膠來(lái)密封壓電振動(dòng)傳感器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可行性高，便于生產(chǎn)，成本低，從而達(dá)到產(chǎn)業(yè)化的目的。

5、針對(duì)當(dāng)前器件高溫容易松動(dòng)的問(wèn)題，本發(fā)明設(shè)計(jì)有防松墊圈，能夠有效防止高溫工作時(shí)預(yù)緊件和其他構(gòu)件間的松動(dòng)，提高器件的使用可靠性。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明壓電振動(dòng)傳感器的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明所述高溫引線的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明外殼上蓋的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4(a)為本發(fā)明所述底座的主視圖；

圖4(b)為本發(fā)明所述底座的俯視圖；

圖5為本發(fā)明所述電極環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本發(fā)明所述防松墊圈的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為本發(fā)明所述陶瓷棒的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8(a)為本發(fā)明所述壓電晶片放置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8(b)為本發(fā)明所述壓電晶片受壓后電荷分布圖；

圖9為實(shí)施例1中壓電晶片的坐標(biāo)圖；

1、高溫引線；2、陶瓷螺栓；3、外殼上蓋；4、外殼套管，5、底座；6、壓電晶片；7、電極線；8、預(yù)緊件；9、金屬塊；10、絕緣片；11、防松墊圈；12、陶瓷棒。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步限定，但不限于此。

實(shí)施例1

一種新型高溫壓電振動(dòng)傳感器，如圖1所示，包括：

底座5；如圖4(a)、圖4(b)所示，底座5上端和下端都設(shè)有固定螺口，上端的固定螺口固定陶瓷棒12，下端的固定螺口固定壓電傳感器。

外殼，底座5上連接所述外殼，形成壓電振動(dòng)傳感器的密封內(nèi)腔；

固定在底座5上的陶瓷棒12；上、下兩端設(shè)計(jì)有螺紋，與底座5緊密固定；如圖7所示；

依次套放在陶瓷棒12上的多片壓電晶片6、金屬塊9、絕緣片10、穿有高溫引線1的預(yù)緊件8；

兩路電極線7，放置在壓電晶片6之間；

壓電晶片6為(XYw/45°)切YGdCOB晶片，YGdCOB晶片的化學(xué)式為Y_0.3Gd_0.7Ca₄O(BO₃)₃；

(XYw/45°)是指：壓電晶片6的厚度方向平行于物理學(xué)x軸，壓電晶片6長(zhǎng)度方向平行于物理學(xué)Y軸，再沿著壓電晶片6寬度方向(即物理學(xué)Z軸)逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)45°。如圖9所示。

此處設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)在于，(XYw/45°)切YGdCOB晶片的有效壓電常數(shù)為～5pC/N，室溫到1000℃范圍，壓電常數(shù)變化率低于5％，加工平整度誤差小于0.02mm，具有特別優(yōu)異的高溫壓電性能及溫度穩(wěn)定性，使得壓電振動(dòng)傳感器耐高溫高達(dá)600℃。

實(shí)施例2

根據(jù)實(shí)施例1所述的壓電振動(dòng)傳感器，其區(qū)別在于，

多片壓電晶片6成對(duì)套放在陶瓷棒12上，相鄰兩片壓電晶片6電極方向相反。如圖8(a)所示，壓電晶片受壓后電荷分布圖如圖8(b)所示，陰影指向右上表示上正下負(fù)，指向右下表示上負(fù)下正。一方面有利于提高了壓電振動(dòng)傳感器的靈敏度，靈敏度提高了12％，另一方面可以抵消或降低橫向電荷引起的傳感誤差。

電極線7的材質(zhì)為鎳金屬片或鍍鉑金的鎳金屬片或其他耐高溫的電極材料，金屬塊9的材質(zhì)為蒸鍍一層200nm厚的鉑金的鎢金屬。鎢金屬熱膨脹系數(shù)4～5之間，提高了振動(dòng)傳感器的靈敏度，鎢金屬上蒸鍍一層200nm厚的鉑金，防止高溫鎢塊的揮發(fā)。

電極線7包括電極帶及電極環(huán)，如圖5所示，電極帶的兩端為電極環(huán)，一路電極線7的一端電極環(huán)設(shè)置在壓電晶片6與底座5之間并套進(jìn)陶瓷棒12，一路電極線7的另一端電極環(huán)設(shè)置在壓電晶片6與金屬塊9之間并套進(jìn)陶瓷棒12；另一路電極線7的一端電極環(huán)設(shè)置在兩片壓電晶片6之間并套進(jìn)陶瓷棒12，另一路電極線7的另一端電極環(huán)設(shè)置在絕緣片10與防松墊圈11之間并套進(jìn)陶瓷棒12。

電極環(huán)7的內(nèi)徑、外徑均保持與壓電晶片6相同的尺寸，電極帶的長(zhǎng)度依據(jù)壓電晶片6的厚度和金屬塊9的厚度。

實(shí)施例3

根據(jù)實(shí)施例2所述的壓電振動(dòng)傳感器，其區(qū)別在于，

外殼包括：外殼套管4、外殼上蓋3、陶瓷螺栓2，陶瓷螺栓2外圍設(shè)計(jì)有與外殼上蓋3相匹配的螺紋，由此匹配連接外殼上蓋3，外殼上蓋3設(shè)計(jì)有外螺紋，能夠配套M5螺母使用，如圖3所示，由此外殼套管4連接所述底座5，陶瓷螺栓2中心帶孔，通過(guò)該孔引出高溫引線1。外殼套管4、外殼上蓋3、底座5均采用耐高溫的鎳合金鋼(Conel600或Conel600合金鋼)加工而成。

陶瓷螺栓2一方面可以將高溫引線1引出，另一方面可以隔絕高溫引線1與外殼上蓋3的接觸，除此之外，采用高溫?zé)o機(jī)膠填充孔后對(duì)整個(gè)器件起到密封作用。

絕緣片10與預(yù)緊件8之間設(shè)有防松墊圈11，防松墊圈11實(shí)際上由上下兩個(gè)部分組成，兩部分通過(guò)鋸齒槽咬合在一起，另外，上下兩部分的端面也設(shè)計(jì)有小型鋸齒槽，如圖6所示，防松墊圈11材質(zhì)為1Cr25Ti號(hào)鋼，可在小載荷情況下承受溫度1100℃，陶瓷螺栓2、陶瓷棒12的材質(zhì)均為純度95％的氧化鋁陶瓷。防松墊圈11功能特點(diǎn)：在發(fā)生松動(dòng)時(shí)，上下斷面的鋸齒產(chǎn)生與其它相鄰構(gòu)件之間的摩擦力，依靠該摩擦力產(chǎn)生自鎖效果，確保在強(qiáng)振動(dòng)下保持連接件的夾緊力，從而防止陶瓷棒12上其它構(gòu)件的松動(dòng)，提高器件的使用可靠性。

高溫引線1和陶瓷螺栓2的縫隙間，以及陶瓷棒12和底座5的縫隙間均填充有耐高溫1500℃的無(wú)機(jī)膠。此處設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)在于，提高了器件的密封性及牢固性。

高溫引線1的直徑為0.5～0.8mm，高溫引線1的材質(zhì)為鉑金，高溫引線1底端設(shè)有鉑金圓形鉑片，厚度為0.2mm，可通過(guò)激光焊接方式將其與高溫引線1連接。如圖2所示，高溫引線1采用耐高溫、不易被氧化、導(dǎo)電性好、柔韌度高的金屬，在劇烈振動(dòng)情況下也不易疲勞斷裂。

預(yù)緊件8上端的中間設(shè)有與高溫引線1同等直徑大小的孔。預(yù)緊件8采用耐高溫的鎳合金鋼(Conel600或Conel600合金鋼)加工而成。預(yù)緊件8的作用是防止在振動(dòng)環(huán)境下金屬塊9、絕緣片10、壓電晶片6的松脫。通過(guò)螺紋和陶瓷棒12緊密連接。使高溫引線1順利穿過(guò)，便于電荷信號(hào)引出。

上述壓電振動(dòng)傳感器的安裝方法，具體步驟包括：

(1)將陶瓷棒12帶有螺紋的一端蘸取稀的無(wú)機(jī)膠，旋轉(zhuǎn)進(jìn)入底座5上，保持陶瓷棒12與底座5垂直。將膠合后的陶瓷棒12和底座5放進(jìn)烘箱中在150℃保持10小時(shí)以上，待無(wú)機(jī)膠固化；

(2)無(wú)機(jī)膠固化后，把壓電晶片6和電極線7成對(duì)安裝進(jìn)陶瓷棒12中，注意將相同極性的壓電晶片6端面相對(duì)放置，壓電晶片6之間夾放電極線7，共有兩路，一路為正極，一路為負(fù)極。當(dāng)最后一片壓電晶片6裝進(jìn)陶瓷棒12中后，將該壓電晶片6上面的一路電極線7(通常選擇負(fù)極)用金屬塊9壓住，同時(shí)安放絕緣片10、另一路電極線7(通常為正極)被防松墊圈11固定住；

(3)將穿有高溫引線1的預(yù)緊件8旋進(jìn)陶瓷棒12中，在防松墊圈11的協(xié)同作用下，加固陶瓷棒12上的所有零部件；

(4)把外殼套管4固定在底座5上，將外殼上蓋3與外殼套管4通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺紋固定在一起，至此核心部件安裝完畢；

(5)將高溫引線1的外圍以及中心帶孔的陶瓷螺栓2的外螺紋涂稀的高溫?zé)o機(jī)膠，將高溫引線穿過(guò)陶瓷螺栓2，將陶瓷螺栓2旋進(jìn)外殼上蓋3中；

(6)將整個(gè)器件放進(jìn)烘箱中，在150℃保持10小時(shí)以上，將無(wú)機(jī)膠充分固化，并確保構(gòu)件高溫引線1、陶瓷螺栓2、外殼上蓋3之間，以及底座5與陶瓷棒12之間充分密封結(jié)合；

(7)將整個(gè)器件放在惰性氣氛箱中，充入惰性氣體并采用電阻焊將外殼上蓋3與外殼套管4，以及外殼套管4與底座5之間充分焊牢，完成器件封裝。