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瞬態(tài)溫度和熱流密度聯(lián)測(cè)傳感器及其制備方法與流程

文檔序號(hào):12655511閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種瞬態(tài)溫度和熱流密度聯(lián)測(cè)傳感器及其制備方法,包括陶瓷基底及設(shè)于陶瓷基底上的正、負(fù)極熱電偶,熱電偶連接層,熱阻層,正、負(fù)極熱電偶引線端,正、負(fù)極熱電堆引線端,正、負(fù)極熱電偶通過熱電偶連接層對(duì)接,一正極熱電偶和一負(fù)極熱電偶串聯(lián)成一對(duì)熱電偶,多對(duì)熱電偶首尾搭接成薄膜熱電堆,熱阻層覆蓋熱電堆冷結(jié)點(diǎn)上方;當(dāng)外部環(huán)境在傳感器上施加垂直方向熱流時(shí),薄膜熱電堆熱、冷結(jié)點(diǎn)存在溫度差,根據(jù)塞貝克效應(yīng)就有相應(yīng)電勢(shì)輸出,傳感器一對(duì)熱電偶熱結(jié)點(diǎn)的輸出與溫度有關(guān),熱電堆的輸出電勢(shì)與熱流密度相關(guān)。本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)對(duì)溫度和熱流密度的瞬態(tài)測(cè)量,具有響應(yīng)速度、測(cè)量溫度范圍大、測(cè)量精度高、對(duì)溫度和熱流密度同步測(cè)量等特點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員:李娟;張叢春;楊伸勇;丁桂甫
受保護(hù)的技術(shù)使用者:上海交通大學(xué)
文檔號(hào)碼:201611229624
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.27
技術(shù)公布日:2017.06.13

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