本發(fā)明屬于光阻霧化技術(shù)領(lǐng)域，具體地講，涉及一種光阻霧化處理設(shè)備及光阻霧化處理系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶體管-液晶顯示器)是目前在亮度、對(duì)比度、功耗、壽命、體積和重量等綜合性能均表現(xiàn)良好的顯示器，它的性能優(yōu)良、大規(guī)模生產(chǎn)特性好、自動(dòng)化程度高且發(fā)展空間廣闊，已經(jīng)逐漸占據(jù)了顯示器領(lǐng)域的主導(dǎo)地位。

在TFT-LCD中，液晶面板通常由Array基板(即薄膜晶體管陣列基板)、CF基板(即彩色濾光陣列基板)以及夾在二者之間的液晶構(gòu)成。

在各個(gè)基板的制程中，通常在玻璃基板上通過(guò)涂布、曝光、顯影、烘烤等得到設(shè)計(jì)的R、G、B、BM(BlackMatrix)、PS(Photo Spacer)光阻圖案。然而在制程中曾有曝光光罩出現(xiàn)霧化的現(xiàn)象，從而導(dǎo)致曝光后的光阻圖案產(chǎn)生變異，形狀和線寬(CD)出現(xiàn)異常。而導(dǎo)致曝光光罩霧化的原因是在進(jìn)行曝光時(shí)，光阻內(nèi)殘余溶劑將光起始劑碎裂物帶出，附著在曝光光罩上，從而導(dǎo)致曝光光罩霧化。

因此，在光阻材料評(píng)估時(shí)亟需一種光阻霧化處理設(shè)備對(duì)光阻材料進(jìn)行霧化，以評(píng)估光阻材料對(duì)曝光光罩的影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種光阻霧化處理設(shè)備，其包括：操控座臺(tái)、容置腔體、樣品盒、進(jìn)氣管、紫外燈管以及吸附管；所述容置腔體設(shè)置于所述操作座臺(tái)上；所述樣品盒設(shè)置于所述容置腔體中，所述樣品盒用于放置光阻樣品；所述進(jìn)氣管由所述操作座臺(tái)穿入所述容置腔體中，且所述進(jìn)氣管與所述樣品盒連通，所述進(jìn)氣管用于將惰性氣體通入所述樣品盒中；所述紫外燈管設(shè)置于所述容置腔體的內(nèi)表面上，所述紫外燈管用于對(duì)放置于所述樣品盒中的光阻樣品進(jìn)行紫外光曝光；所述吸附管與所述樣品盒連通，且所述吸附管穿出所述容置腔體，所述吸附管用于收集由所述惰性氣體吹出的經(jīng)紫外光曝光后的光阻樣品的碎裂物。

進(jìn)一步地，所述容置腔體包括四個(gè)側(cè)壁以及一個(gè)頂壁，所述四個(gè)側(cè)壁兩兩相對(duì)設(shè)置，所述頂壁封閉在所述四個(gè)側(cè)壁的一側(cè)，所述操作座臺(tái)封閉在所述四個(gè)側(cè)壁的另一側(cè)，以使所述操作座臺(tái)的頂表面面向所述頂壁。

進(jìn)一步地，所述四個(gè)側(cè)壁中的至少一個(gè)被設(shè)置為能夠打開或關(guān)閉。

進(jìn)一步地，所述紫外燈管設(shè)置于所述能夠打開或關(guān)閉的側(cè)壁的內(nèi)表面上。

進(jìn)一步地，所述進(jìn)氣管由外部穿入所述操作座臺(tái)中，并由所述操作座臺(tái)的頂表面穿出，從而穿入所述容置腔體中；所述吸附管由所述容置腔體的頂壁穿出；在所述進(jìn)氣管由所述操作座臺(tái)的頂表面穿出之后，利用螺母在所述操作座臺(tái)的頂表面上對(duì)所述進(jìn)氣管進(jìn)行緊固；在所述吸附管由所述容置腔體的頂壁穿出之后，利用螺母在所述頂壁的外表面上對(duì)所述吸附管進(jìn)行緊固。

進(jìn)一步地，所述樣品盒呈長(zhǎng)方體形，所述樣品盒包括：上壁、下壁、左側(cè)壁、右側(cè)壁、前側(cè)壁以及后側(cè)壁，所述進(jìn)氣管連接到所述下壁，所述吸附管連接到所述上壁；在所述進(jìn)氣管連接到所述下壁之后，利用螺母在所述下壁的外表面上緊固所述進(jìn)氣管；在所述吸附管連接到所述上壁之后，利用螺母在所述上壁的外表面上緊固所述吸附管。

進(jìn)一步地，所述左側(cè)壁或其部分和/或所述右側(cè)壁或其部分被設(shè)置為能夠打開或關(guān)閉。

進(jìn)一步地，所述光阻霧化處理設(shè)備還包括溫度探測(cè)器，所述溫度探測(cè)器設(shè)置于所述容置腔體中，以探測(cè)所述容置腔體中的溫度。

進(jìn)一步地，所述操控座臺(tái)包括：總氣壓指示表，用于指示惰性氣體源的壓力；電源開關(guān)，用于控制電源的打開或關(guān)閉；控制鍵盤，用于設(shè)定工作溫度、光阻樣品處理時(shí)間以及所述樣品盒中的氣體流量；溫度控制系統(tǒng)，用于將所述容置腔體中的溫度保持到所述工作溫度；顯示屏，用于顯示工作過(guò)程中的設(shè)定參數(shù)；啟動(dòng)開關(guān)，用于控制對(duì)所述樣品盒中的光阻樣品進(jìn)行處理的開始或停止。

本發(fā)明還提供了一種光阻霧化處理系統(tǒng)，其包括惰性氣體源以及上述的光阻霧化處理設(shè)備，所述光阻霧化處理設(shè)備的進(jìn)氣管與所述惰性氣體源連通。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明提供的一種光阻霧化處理設(shè)備以及光阻霧化處理系統(tǒng)能夠?qū)庾璨牧线M(jìn)行霧化處理，從而便于光阻材料的霧化表現(xiàn)的評(píng)估，以篩選出優(yōu)質(zhì)光阻材料，減少因光阻材料導(dǎo)致的損失。

附圖說(shuō)明

通過(guò)結(jié)合附圖進(jìn)行的以下描述，本發(fā)明的實(shí)施例的上述和其它方面、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚，附圖中：

圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的容置腔體的一側(cè)壁處于打開狀態(tài)的光阻霧化處理設(shè)備的示意圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的容置腔體的一側(cè)壁處于關(guān)閉狀態(tài)的光阻霧化處理設(shè)備的示意圖；

圖3是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的右側(cè)壁的右部分處于打開狀態(tài)的樣品盒的示意圖；

圖4是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的右側(cè)壁的右部分處于關(guān)閉狀態(tài)的且放置有光阻樣品的樣品盒的示意圖；

圖5是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的光阻霧化處理系統(tǒng)的示意圖。

具體實(shí)施方式

以下，將參照附圖來(lái)詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例。然而，可以以許多不同的形式來(lái)實(shí)施本發(fā)明，并且本發(fā)明不應(yīng)該被解釋為限制于這里闡述的具體實(shí)施例。相反，提供這些實(shí)施例是為了解釋本發(fā)明的原理及其實(shí)際應(yīng)用，從而使本領(lǐng)域的其他技術(shù)人員能夠理解本發(fā)明的各種實(shí)施例和適合于特定預(yù)期應(yīng)用的各種修改。

以下，諸如“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“頂”、“底”等詞語(yǔ)僅僅是為了便于描述實(shí)施例，并不是為了限制本發(fā)明。

圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的容置腔體的一側(cè)壁處于打開狀態(tài)的光阻霧化處理設(shè)備的示意圖。圖2是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的容置腔體的一側(cè)壁處于關(guān)閉狀態(tài)的光阻霧化處理設(shè)備的示意圖。

參照?qǐng)D1和圖2，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的光阻霧化處理設(shè)備100包括：操控座臺(tái)110、容置腔體120、樣品盒130、進(jìn)氣管140、紫外燈管150以及吸附管160；容置腔體120設(shè)置于操作座臺(tái)110上；樣品盒130設(shè)置于容置腔體120中，樣品盒130用于放置光阻樣品300；進(jìn)氣管140由操作座臺(tái)110穿入容置腔體120中，且進(jìn)氣管140與樣品盒130連通，進(jìn)氣管140用于將惰性氣體通入樣品盒130中；紫外燈管150設(shè)置于容置腔體120的內(nèi)表面上，紫外燈管150用于對(duì)放置于樣品盒130中的光阻樣品300進(jìn)行紫外光曝光；吸附管160與樣品盒130連通，且吸附管160穿出容置腔體120，吸附管160用于收集由惰性氣體吹出的經(jīng)紫外光曝光后的光阻樣品300的碎裂物300A。

具體而言，容置腔體120包括四個(gè)側(cè)壁121、122、123、124以及一個(gè)頂壁125。側(cè)壁121與側(cè)壁123相對(duì)設(shè)置，側(cè)壁122與側(cè)壁124相對(duì)設(shè)置，且側(cè)壁122連接側(cè)壁121和側(cè)壁123的一端，側(cè)壁124連接側(cè)壁121和側(cè)壁123的另一端，這樣，四個(gè)側(cè)壁121、122、123、124合圍后為兩端開放且中空的長(zhǎng)方體。頂壁125封閉在四個(gè)側(cè)壁121、122、123、124的一端，而操控座臺(tái)110封閉在四個(gè)側(cè)壁121、122、123、124的另一端，以使操作座臺(tái)110的頂表面110A面向頂壁125。也就是說(shuō)，容置腔體120借用操作座臺(tái)110作為其封閉四個(gè)側(cè)壁121、122、123、124的另一端的“底壁”。此外，四個(gè)側(cè)壁121、122、123、124可由透明材質(zhì)形成，但本發(fā)明并不限制于此。

當(dāng)然，需要說(shuō)明的是，容置腔體120也可以包括一個(gè)底壁，該底壁與頂壁125面對(duì)設(shè)置，從而該底壁封閉在四個(gè)側(cè)壁121、122、123、124的另一端。當(dāng)容置腔體120與操作座臺(tái)110安裝時(shí)，使容置腔體120的底壁與操作座臺(tái)110的頂表面110A貼合組裝即可。

進(jìn)一步地，為了便于安裝或者拆卸樣品盒130，優(yōu)選地，可將四個(gè)側(cè)壁121、122、123、124中的至少一個(gè)設(shè)置為能夠打開或者關(guān)閉。在本實(shí)施例中，將側(cè)壁121設(shè)置為能夠打開或者關(guān)閉。在圖1中，側(cè)壁121處于打開狀態(tài)；在圖2中，側(cè)壁121處于關(guān)閉狀態(tài)。此外，側(cè)壁121的外表面上可設(shè)置有把手126。

三根紫外燈管150設(shè)置于側(cè)壁121的內(nèi)表面上，但本發(fā)明并不限制于此。例如紫外燈管150可設(shè)置于側(cè)壁122、123、124、頂壁125以及頂表面110A中的任意一個(gè)的內(nèi)表面上，或者可在側(cè)壁122和/或側(cè)壁123和/或側(cè)壁124和/或頂壁125和/或頂表面110A上設(shè)置紫外燈管150。此外，紫外燈管150的數(shù)量也并不以三根為限，其數(shù)量可以根據(jù)實(shí)際需求而設(shè)定。

三個(gè)樣品盒130設(shè)置于容置腔體120中，但是本發(fā)明并不對(duì)樣品盒130的數(shù)量作限制。圖3是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的右側(cè)壁的右部分處于打開狀態(tài)的樣品盒的示意圖。圖4是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的右側(cè)壁的右部分處于關(guān)閉狀態(tài)的且放置有光阻樣品300的樣品盒的示意圖。在圖3和圖4中，示出了部分的進(jìn)氣管140和吸附管160。

參照?qǐng)D3和圖4，樣品盒130為一長(zhǎng)方體盒子，其包括：上壁131、下壁132、左側(cè)壁133、右側(cè)壁134、前側(cè)壁135以及后側(cè)壁136。

為了便于放取光阻樣品300，可將左側(cè)壁133、右側(cè)壁134、前側(cè)壁135以及后側(cè)壁136中的至少一個(gè)設(shè)置為能夠打開或關(guān)閉。進(jìn)一步地，被設(shè)置為能夠打開或者關(guān)閉的側(cè)壁，其可整體被設(shè)置為能夠打開或者關(guān)閉，也可以部分被設(shè)置為能夠打開或者關(guān)閉。在本實(shí)施例中，將右側(cè)壁134的右部分134A設(shè)置為能夠打開或者關(guān)閉，其中右側(cè)壁134的右部分134A的寬度需要略微大于光阻樣品300的厚度，便于光阻樣品300能夠自由進(jìn)出樣品盒130。

此外，當(dāng)將光阻樣品300放置于樣品盒130時(shí)，使光阻樣品300的光阻面向前側(cè)壁130。

繼續(xù)參照?qǐng)D1，進(jìn)氣管140由外部穿入操作座臺(tái)110中(其可參照?qǐng)D5所示)，并由操作座臺(tái)110的頂表面110A穿出，從而穿入容置腔體120中。在進(jìn)氣管140穿入容置腔體120中之后，可利用螺母181在操作座臺(tái)110的頂表面110A上緊固進(jìn)氣管140。應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是，在進(jìn)氣管140穿設(shè)的位置，均設(shè)置有相應(yīng)的接口，以便于進(jìn)氣管140的連接或者貫穿。

參照?qǐng)D3，穿入容置腔體120中進(jìn)氣管140連接到樣品盒130的下壁132，從而與樣品盒130內(nèi)連通。在穿入容置腔體120中進(jìn)氣管140連接到樣品盒130的下壁132之后，可利用螺母182在下壁132的外表面上緊固進(jìn)氣管140。

參照?qǐng)D4，吸附管160連接到樣品盒130的上壁131上，從而與樣品盒130內(nèi)連通。在吸附管160連接到樣品盒130的上壁131上之后，可利用螺母184在上壁131的外表面上緊固進(jìn)氣管140。應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是，在吸附管160穿設(shè)的位置，均設(shè)置有相應(yīng)的接口，以便于吸附管160的連接或者貫穿。

繼續(xù)參照?qǐng)D1和圖2，連接到樣品盒130的上壁131上的吸附管160由容置腔體120的頂壁125穿出，其中，由容置腔體120的頂壁125穿出的吸附管160收集碎裂物300A。在吸附管160由容置腔體120的頂壁125穿出之后，利用螺母183在頂壁125的外表面上對(duì)吸附管160進(jìn)行緊固。

此外，在放置有光阻樣品300的樣品盒130被安裝在容置腔體120之后，樣品盒130的前側(cè)壁135面向側(cè)壁121的內(nèi)表面，從而使紫外燈管150面向光阻樣品300。

進(jìn)一步地，為了感測(cè)容置腔體120中的溫度，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的光阻霧化處理設(shè)備100還包括溫度探測(cè)器170，該溫度探測(cè)器170設(shè)置于容置腔體120中，以探測(cè)容置腔體120中的溫度，從而使溫度控制系統(tǒng)能夠?qū)θ葜们惑w120中的溫度進(jìn)行及時(shí)調(diào)整，以保證容置腔體120中的溫度保持在設(shè)定的工作溫度。應(yīng)當(dāng)理解的是，溫度探測(cè)器170可以被省去。

操控座臺(tái)110包括：總氣壓指示表111，用于指示惰性氣體源(圖5中的200)的壓力；電源開關(guān)112，用于控制電源的打開或關(guān)閉；控制鍵盤113，用于設(shè)定工作溫度、光阻樣品300的處理時(shí)間以及樣品盒130中的氣體流量；溫度控制系統(tǒng)(未示出)，用于將容置腔體120中的溫度保持到設(shè)定的工作溫度；LCD顯示屏114，用于顯示工作過(guò)程中的設(shè)定參數(shù)；啟動(dòng)開關(guān)115，用于控制對(duì)樣品盒130中的光阻樣品300進(jìn)行處理的開始或停止。

圖5是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的光阻霧化處理系統(tǒng)的示意圖。

參照?qǐng)D5，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的光阻霧化處理系統(tǒng)包括：上述的光阻霧化處理設(shè)備100以及惰性氣體源200；其中，光阻霧化處理設(shè)備100的進(jìn)氣管140連接到惰性氣體源200，從而將惰性氣體源200中的惰性氣體(諸如氮?dú)?輸送到樣品盒130中。

以下將對(duì)利用根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的光阻霧化處理系統(tǒng)對(duì)光阻樣品進(jìn)行霧化處理的過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明。

首先，將光阻樣品300放置于樣品盒130中。這里，光阻樣品300為在玻璃基板上經(jīng)涂布-干燥-預(yù)烘烤得到光阻全膜樣品。

接著，打開側(cè)壁121，將放置有光阻樣品300的樣品盒130安裝到容置腔體120中，使樣品盒130分別與進(jìn)氣管140和吸附管160連通，且使光阻樣品300面向紫外燈管150。

接著，關(guān)閉側(cè)壁121。

接著，打開惰性氣體源200，且打開電源開關(guān)112。

接著，按實(shí)際需要設(shè)置工作溫度、樣品處理時(shí)間、以及樣品盒130流路的氣體流量。設(shè)置方法：F鍵為功能鍵，每按一次在溫度、時(shí)間以及各樣品盒流量流量之間切換；C為清除鍵，可刪除當(dāng)前參數(shù)；S為保存鍵，可保存設(shè)置的方法參數(shù)以供下次實(shí)驗(yàn)繼續(xù)使用。

接著，參數(shù)設(shè)置完畢之后，按下啟動(dòng)開關(guān)115，此時(shí)紫外燈管150、氣流和溫度開始工作，開始進(jìn)行樣品處理，將光阻樣品300中光起始劑碎裂物300A等能被氣流帶出的物質(zhì)收集在吸附管160中。

最后，按設(shè)定的時(shí)間執(zhí)行完畢后，光阻霧化處理系統(tǒng)自動(dòng)停止，紫外燈管150、氣流和溫度停止工作，并蜂鳴提示，關(guān)閉惰性氣體源200和電源開關(guān)112。

之后，取出吸附管160中的碎裂物300A，用熱脫附-氣相色譜儀或者熱脫附-氣質(zhì)聯(lián)用儀進(jìn)行光起始劑碎裂物300A的分析，以其含量的大小表征光阻樣品300的霧化表現(xiàn)，越小說(shuō)明越不容易引起曝光光罩霧化。

綜上所述，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，提供了一種光阻霧化處理設(shè)備以及光阻霧化處理系統(tǒng)，能夠?qū)庾璨牧线M(jìn)行霧化處理，從而便于光阻材料的霧化表現(xiàn)的評(píng)估，以篩選出優(yōu)質(zhì)光阻材料，減少因光阻材料導(dǎo)致的損失。

雖然已經(jīng)參照特定實(shí)施例示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解：在不脫離由權(quán)利要求及其等同物限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可在此進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)上的各種變化。