技術(shù)編號:12174137
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光阻霧化技術(shù)領(lǐng)域,具體地講,涉及一種光阻霧化處理設(shè)備及光阻霧化處理系統(tǒng)。背景技術(shù)TFT-LCD(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay,薄膜晶體管-液晶顯示器)是目前在亮度、對比度、功耗、壽命、體積和重量等綜合性能均表現(xiàn)良好的顯示器,它的性能優(yōu)良、大規(guī)模生產(chǎn)特性好、自動化程度高且發(fā)展空間廣闊,已經(jīng)逐漸占據(jù)了顯示器領(lǐng)域的主導(dǎo)地位。在TFT-LCD中,液晶面板通常由Array基板(即薄膜晶體管陣列基板)、CF基板(即彩色濾光陣列基板)以及夾在二者之間...
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