技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于光學(xué)領(lǐng)域，涉及一種高能激光系統(tǒng)大動態(tài)遠(yuǎn)場焦斑測量裝置，具體涉及一種基于數(shù)字微鏡的大動態(tài)激光遠(yuǎn)場焦斑測量系統(tǒng)及測量方法。該系統(tǒng)包括聚焦透鏡和DMD數(shù)字微鏡，經(jīng)過聚焦透鏡的光束被DMD數(shù)字微鏡反射后產(chǎn)生主瓣光路和旁瓣光路；沿主瓣光路的光線方向依次設(shè)置有主瓣成像鏡頭、主瓣衰減片和主瓣CCD探測器；沿旁瓣光路的光線方向依次設(shè)置有旁瓣成像鏡頭、旁瓣衰減片和旁瓣CCD探測器。本發(fā)明采用DMD器件實現(xiàn)遠(yuǎn)場焦斑主瓣和旁瓣的分離，使測量系統(tǒng)能夠針對不同的焦斑情況作自適應(yīng)調(diào)整。避免了遮擋小球的使用，可以極大提高測量系統(tǒng)的穩(wěn)定性和靈活性?？梢杂行p少調(diào)試過程，降低調(diào)試難度，節(jié)省調(diào)試時間，實現(xiàn)遠(yuǎn)場焦斑的自動監(jiān)測與調(diào)整。

技術(shù)研發(fā)人員：袁索超;李紅光;達(dá)爭尚
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所
文檔號碼：201610854324
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.27
技術(shù)公布日：2016.12.21