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一種乙烯?乙烯醇共聚物石英晶體芯片的制備方法與流程

文檔序號(hào):12746260閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種乙烯?乙烯醇共聚物石英晶體芯片的制備方法,包括:1)使用紫外燈照射結(jié)合十二烷基硫酸鈉溶液對(duì)二氧化硅基片進(jìn)行預(yù)處理;2)將乙烯?乙烯醇共聚物與有機(jī)溶劑按一定比例共混溶解,配置均質(zhì)乙烯?乙烯醇共聚物溶液;3)通過(guò)離心旋轉(zhuǎn)結(jié)合相分離技術(shù)將所得乙烯?乙烯醇共聚物溶液均勻涂覆于二氧化硅基片表面,之后將其置于真空恒溫環(huán)境中進(jìn)行熱處理,即可獲得乙烯?乙烯醇共聚物石英晶體芯片;4)最后通過(guò)簡(jiǎn)單的物化方法實(shí)現(xiàn)二氧化硅基片的多次循環(huán)使用。該方法操作簡(jiǎn)單,實(shí)用性強(qiáng),成功率高,實(shí)現(xiàn)了二氧化硅基片表面納米級(jí)厚度乙烯?乙烯醇共聚物的涂覆,獲得了性能穩(wěn)定的乙烯?乙烯醇共聚物石英晶體芯片。

技術(shù)研發(fā)人員:苗瑞;王磊;鄧東旭;王佳璇;呂永濤;朱苗;劉婷婷;王旭東
受保護(hù)的技術(shù)使用者:西安建筑科技大學(xué)
文檔號(hào)碼:201610838401
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.21
技術(shù)公布日:2017.01.25

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