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一種大口徑平面鏡拼接檢測對準(zhǔn)方法與流程

文檔序號:12465526閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種大口徑平面鏡拼接檢測對準(zhǔn)方法,其特征在于,包括以下步驟:

(1)對被檢測光學(xué)平面反射鏡進(jìn)行子孔徑規(guī)劃;

(2)在各子孔徑重疊區(qū)域粘貼靶標(biāo);

(3)執(zhí)行各規(guī)劃子孔徑的干涉檢測;

(4)在各子孔徑干涉檢測結(jié)果中,分別確定各子孔徑的靶標(biāo)中心坐標(biāo);

(5)以其中一個子孔徑的靶標(biāo)中心坐標(biāo)為基準(zhǔn),傳遞換算各子孔徑的靶標(biāo)中心坐標(biāo),進(jìn)而完成拼接對準(zhǔn);

(6)在完成拼接對準(zhǔn)后,對各子孔徑檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行拼接處理,得到被檢測鏡面的全口徑面形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑平面鏡拼接檢測對準(zhǔn)方法,其特征在于,所述步驟(4)的具體實(shí)現(xiàn)方式為:

在檢測結(jié)果中標(biāo)記出靶標(biāo)在水平X方向的最大與最小值分別為xmax與xmin,在豎直Y方向的最大與最小值分別為ymax與ymin,則該靶標(biāo)的中心像素坐標(biāo)為((xmax+xmin)/2,(ymax+ymin)/2)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的大口徑平面鏡拼接檢測對準(zhǔn)方法,其特征在于,所述步驟(5)的具體實(shí)現(xiàn)方式為:

令第一子孔徑與第二子孔徑有一個重疊區(qū)域,該區(qū)域內(nèi)存在一個靶標(biāo)S1,該靶標(biāo)在第一子孔徑內(nèi)的中心像素坐標(biāo)記為T12,在第二子孔徑內(nèi)的中心像素坐標(biāo)記為T21;第二子孔徑與第三子孔徑存在一個重疊區(qū)域同樣該區(qū)域內(nèi)存在一個靶標(biāo)S2,其在第二子孔徑內(nèi)的中心像素坐標(biāo)記為T23,在第三子孔徑內(nèi)的中心像素坐標(biāo)記為T32

分別記第一子孔徑、第二子孔徑、第三子孔徑的檢測結(jié)果為S1、S2、S3;

以第一子孔徑的檢測結(jié)果為基準(zhǔn),通過坐標(biāo)換算得到第二子孔徑對應(yīng)的檢測結(jié)果為S2-(T21-T12),通過坐標(biāo)換算得到第三子孔徑對應(yīng)的檢測結(jié)果為S3-(T32-T23+T12-T21);

對于多個子孔徑,按照上述相同方式完成各子孔徑間位置關(guān)系傳遞計算。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的大口徑平面鏡拼接檢測對準(zhǔn)方法,其特征在于,各子孔徑對被檢測光學(xué)平面反射鏡全口徑覆蓋且相鄰子孔徑間重疊面積不低于檢測子孔徑面積的25%。

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