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基于雪崩光電二極管的傳感器及探測器的制作方法

文檔序號:12747083閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基于雪崩光電二極管的傳感器,其特征在于,包括:

多個APD傳感器,所述多個APD傳感器以彼此平行的方式順序堆疊設(shè)置,

其中,所述多個APD傳感器包括單管APD傳感器或陣列APD傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器,其特征在于,所述單管APD傳感器包括APD裸片、印刷電路板和金屬底座,所述金屬底座具有容置區(qū)域,

其中,所述APD裸片設(shè)置在所述印刷電路板上,并且所述印刷電路板設(shè)置在所述金屬底座的容置區(qū)域中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器,其特征在于,所述APD裸片包括設(shè)置在其第一表面的陽極接觸和設(shè)置在其與所述第一表面相對的第二表面的陰極接觸,所述陽極接觸通過導(dǎo)電膠與所述印刷電路板上的陽極引腳連接,所述陰極接觸通過引線鍵合的方式與所述印刷電路板的陰極引腳連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器,其特征在于,所述APD裸片的下表面包括與所述印刷電路板耦接的接觸部分,所述印刷電路板和所述金屬底座的與除所述接觸部分之外的所述APD裸片的下表面對應(yīng)的部分被去除。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器,其特征在于,所述金屬底座的所述容置區(qū)域的兩側(cè)設(shè)置有固定孔,所述固定孔用于將所述多個APD傳感器固定在一起。

6.根據(jù)權(quán)利要求2至5中任一項(xiàng)所述的傳感器,所述APD裸片包括感光主體,所述感光主體包括吸收層并且所述感光主體為具有p+πpπn+的摻雜分布的吸收場控倍增分離結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器,其特征在于,所述吸收層的厚度占所述感光主體的總厚度的90%以上。

8.一種基于雪崩光電二極管的探測器,其特征在于,包括:

如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的傳感器;

多通道讀出電路,所述多通道讀出電路與所述傳感器電耦接,用于讀出所述傳感器輸出的電流信號。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探測器,其特征在于,所述多通道讀出電路包括電流轉(zhuǎn)電壓放大模塊,所述電流轉(zhuǎn)電壓放大模塊用于接收來自所述傳感器的所述電流信號,對所述電流信號進(jìn)行放大、轉(zhuǎn)電壓處理得到電壓信號,并且將所述電壓信號放大并輸出。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的探測器,其特征在于,所述多通道讀出電路還包括基線恢復(fù)模塊,所述基線恢復(fù)模塊用于接收由所述電流轉(zhuǎn)電壓放大模塊輸出的信號,并且根據(jù)所接收到的信號與參考電壓的比較結(jié)果向所述電流轉(zhuǎn)電壓放大模塊輸出調(diào)節(jié)電流信號。

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