1.一種顆粒物傳感器，布置在排氣系統(tǒng)的排氣管中并被配置為感測排氣中所包含的顆粒物，所述顆粒物傳感器包括：
從底部按順序堆疊的第一基板、第二基板和第三基板，在一個端部形成有感測單元，在另一端部形成有信號處理器，其中所述感測單元包括：
基準電極，形成在所述第一基板的一個表面上并具有恒定的電容值；
溫度傳感器和加熱電極，所述溫度傳感器形成在所述第二基板的一個表面上并感測溫度，所述加熱電極與所述溫度傳感器鄰近布置；和
主電極，形成在所述第三基板的一個表面上并具有隨顆粒物而變化的電容值。
2.根據(jù)權利要求1所述的顆粒物傳感器，其中，所述信號處理器輸出所述基準電極的恒定電容值與所述主電極的變化電容值之間的差值。
3.根據(jù)權利要求1所述的顆粒物傳感器，其中，所述主電極還包括包圍其上部的絕緣層。
4.根據(jù)權利要求1所述的顆粒物傳感器，其中，所述溫度傳感器形成為包圍所述加熱電極的外表面。
5.根據(jù)權利要求1所述的顆粒物傳感器，其中，所述溫度傳感器與所述加熱電極形成在所述基準電極與所述主電極之間，與所述基準電極和所述主電極的距離相同。
6.根據(jù)權利要求1所述的顆粒物傳感器，其中，所述加熱電極燃燒在所述主電極上形成的絕緣層上累積的顆粒物，以去除所述顆粒物。
7.根據(jù)權利要求1所述的顆粒物傳感器，其中，所述第一基板以比所述第二基板和所述第三基板厚的厚度形成。
8.根據(jù)權利要求1所述的微粒傳感器，其中，所述第一基板至所述第三基板由陶瓷基板和硅基板中的一種形成。
9.一種測量顆粒物的方法，包括以下步驟：
通過基準電極測量第一電容值；
通過主電極測量第二電容值；
通過信號處理器接收所述第一電容值和所述第二電容值；以及
通過使用輸入至所述信號處理器的所述第一電容值和第二電容值生成最終輸出電壓。
10.根據(jù)權利要求9所述的方法，其中，在通過主電極測量第二電容值的步驟中，所述第二電容值隨累積到在主電極上形成的絕緣層的顆粒物而改變。
11.根據(jù)權利要求9所述的方法，其中，生成最終輸出電壓的步驟包括：
通過使用所述第一電容值的第一電容變化值、因噪聲引起的電容值和施加電壓中的至少一個來生成第一輸出電壓；
通過使用所述第二電容值的第二電容變化值、因噪聲引起的電容值和施加電壓中的至少一個來生成第二輸出電壓；以及
根據(jù)所述第一輸出電壓與所述第二輸出電壓之間的差值來生成最終輸出電壓。
12.根據(jù)權利要求9所述的方法，還包括以下步驟：
通過位于所述基準電極與所述主電極之間的加熱電極燃燒在所述主電極上的絕緣層累積的顆粒物。