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磁傳感器的制作方法

文檔序號(hào):11806035閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種磁傳感器,其特征在于,具備:

第1磁檢測元件組以及第2磁檢測元件組,分別具備多個(gè)將固定磁性層和自由磁性層隔著非磁性材料層進(jìn)行了層疊的磁阻效應(yīng)元件;和

第1控制部以及第2控制部,分別對(duì)該第1磁檢測元件組以及該第2磁檢測元件組各自的所述磁阻效應(yīng)元件探測磁場而得到的探測信號(hào)進(jìn)行處理,

所述固定磁性層是將第1磁性層和第2磁性層隔著非磁性中間層進(jìn)行層疊且將所述第1磁性層和所述第2磁性層在相反方向平行地磁化固定的自釘扎型,

所述第1磁檢測元件組以及所述第2磁檢測元件組中的至少兩個(gè)所述磁阻效應(yīng)元件被釘扎的磁化方向不同,所述第1磁檢測元件組的多個(gè)所述磁阻效應(yīng)元件和所述第2磁檢測元件組的多個(gè)所述磁阻效應(yīng)元件被配置成所述磁化方向呈對(duì)稱。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁傳感器,其特征在于,

所述第1磁檢測元件組和所述第2磁檢測元件組形成在一個(gè)元件基板上,

所述第1磁檢測元件組的多個(gè)所述磁阻效應(yīng)元件和所述第2磁檢測元件組的多個(gè)所述磁阻效應(yīng)元件被配置成相對(duì)于所述元件基板上的基準(zhǔn)點(diǎn)所述磁化方向呈點(diǎn)對(duì)稱。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磁傳感器,其特征在于,

用一個(gè)復(fù)合封裝體密封所述第1磁檢測元件組、所述第2磁檢測元件組、所述第1控制部以及所述第2控制部,

夾著所述第1磁檢測元件組以及所述第2磁檢測元件組而配置所述第1控制部和所述第2控制部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁傳感器,其特征在于,

用一個(gè)單獨(dú)封裝體密封所述第1磁檢測元件組以及所述第1控制部,

所述第1磁檢測元件組具有:第1傳感器體,配置在該單獨(dú)封裝體的一個(gè)端部;和

第2傳感器體,具有與該第1傳感器體相同的結(jié)構(gòu),

將密封在該第2傳感器體內(nèi)的所述第1磁檢測元件組設(shè)為所述第2磁檢測元件組,并且將密封在該第2傳感器體內(nèi)的所述第1控制部設(shè)為所述第2控制部,

隔著基準(zhǔn)線對(duì)置地配置所述第1傳感器體的所述一個(gè)端部與所述第2傳感器體的所述一個(gè)端部,并且

所述第1磁檢測元件組的多個(gè)所述磁阻效應(yīng)元件的所述磁化方向和所述第2磁檢測元件組的多個(gè)所述磁阻效應(yīng)元件的所述磁化方向被磁化成相對(duì)于所述基準(zhǔn)線呈線對(duì)稱。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磁傳感器,其特征在于,

所述第1磁檢測元件組以及所述第2磁檢測元件組中的所述磁阻效應(yīng)元件各自的探測磁場的感磁面被配置在所述單獨(dú)封裝體的厚度方向的中心位置上。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的磁傳感器,其特征在于,

所述磁傳感器具有:突設(shè)部,從所述單獨(dú)封裝體的另一個(gè)端部朝向平面方向的外側(cè)設(shè)置該突設(shè)部。

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