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一種氣體感測器及其制作方法與流程

文檔序號:12713315閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種氣體感測器,其特征在于,包含有:

一基板;

一設(shè)置于該基板上的加熱層;

一設(shè)置于該加熱層上的絕緣層;以及

多個(gè)排列且設(shè)置于該絕緣層上的檢測單元,該檢測單元分別包括至少一檢測電極、一圍繞該檢測電極的阻隔部以及一反應(yīng)感測膜,該檢測電極包括一第一電極及一第二電極,該第一電極包括一第一條狀電極以及一自該第一條狀電極延伸的第一指狀電極,該第二電極包括一第二條狀電極以及一自該第二條狀電極延伸的第二指狀電極,該第一指狀電極和該第二指狀電極彼此交替排列,該反應(yīng)感測膜設(shè)置于該阻隔部內(nèi)的一容置空間并和該檢測電極接觸;

其中,該反應(yīng)感測膜和一待測氣體接觸而進(jìn)行一電化學(xué)反應(yīng),使該檢測電極產(chǎn)生一對應(yīng)該待測氣體的識別信號。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體感測器,其特征在于,該基板的材料擇自于玻璃、銦錫氧化物及聚對苯二甲酸乙二酯所組成的群組。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體感測器,其特征在于,該加熱層接受一電流而加熱至一介于30℃至70℃之間的溫度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體感測器,其特征在于,該加熱層的材料為銦錫氧化物。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體感測器,其特征在于,該絕緣層的材料為聚對苯二甲酸乙二酯。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體感測器,其特征在于,該檢測電極的材料擇自于銦錫氧化物、銅、鎳、鉻、鐵、鎢、磷、鈷及銀所組成的群組。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體感測器,其特征在于,該阻隔部包括多個(gè)遠(yuǎn)離該絕緣層而向上延伸的阻隔壁,該阻隔壁圍繞出該容置空間。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體感測器,其特征在于,該檢測電極的該第一條狀電極與該第二條狀電極沿一第一軸向延伸且平行設(shè)置,該第一指狀電極沿一與該第一軸向相異的第二軸向自該第一條狀電極朝該第二條狀電極延伸,該第二指狀電極沿該第二軸向自該第二條狀電極朝該第一條狀電極延伸,該第一指狀電極與該第二指狀電極呈平行排列設(shè)置。

9.一種氣體感測器的制作方法,其特征在于,包含下列步驟:

提供一基板;

于該基板上形成一加熱層;

于該加熱層上形成一絕緣層;

于該絕緣層上形成至少一檢測電極,該檢測電極包括一第一電極及一第二電極,該第一電極包括一第一條狀電極以及一自該第一條狀電極延伸的第一指狀電極,該第二電極包括一第二條狀電極以及一自該第二條狀電極延伸的第二指狀電極,該第一指狀電極和該第二指狀電極彼此交替排列;

于該絕緣層上形成一阻隔部,該阻隔部圍繞該檢測電極,且于該檢測電極上形成一容置空間;以及

將一高分子材料填充至該阻隔部內(nèi)的該容置空間并且形成一反應(yīng)感測膜,而得到一氣體感測器。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣體感測器的制作方法,其特征在于,該基板材質(zhì)擇自于玻璃、銦錫氧化物及聚對苯二甲酸乙二酯所組成的群組。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣體感測器的制作方法,其特征在于,該加熱層接受一電流而加熱至一介于30℃至70℃之間的溫度。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣體感測器的制作方法,其特征在于,該加熱層的材料為銦錫氧化物。

13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣體感測器的制作方法,其特征在于,該絕緣層的材料為聚對苯二甲酸乙二酯。

14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣體感測器的制作方法,其特征在于,該檢測電極的材料擇自于銦錫氧化物、銅、鎳、鉻、鐵、鎢、磷、鈷及銀所組成的群組。

15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣體感測器的制作方法,其特征在于,該阻隔部包括多個(gè)遠(yuǎn)離該絕緣層而向上延伸的阻隔壁,該阻隔壁圍繞出該容置空間。

16.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣體感測器的制作方法,其特征在于,該檢測電極的該第一條狀電極與該第二條狀電極沿一第一軸向延伸且平行設(shè)置,該第一指狀電極沿一與該第一軸向相異的第二軸向自該第一條狀電極朝該第二條狀電極延伸,該第二指狀電極沿該第二軸向自該第二條狀電極朝該第一條狀電極延伸,該第一指狀電極與該第二指狀電極呈平行排列設(shè)置。

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