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一種X射線測量設(shè)備的圖像重建方法、結(jié)構(gòu)物的制造方法、X射線測量設(shè)備的圖像重建程序以及X射線測量設(shè)備與流程

文檔序號:11287364閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
該圖像重建方法包括:通過旋轉(zhuǎn)被測定物以及/或者改變X射線的照射方向,在多個不同的前述照射方向,將前述X射線照射前述被測定物,檢測在前述多個不同照射方向上穿透前述被測定物的X射線,并且生成多個檢測數(shù)據(jù),該檢測數(shù)據(jù)有關(guān)X射線穿透前述被測定物的強(qiáng)度;從前述多個不同的照射方向給推定結(jié)構(gòu)物,即基于前述被測定物的形狀信息推定的形狀,照射前述X射線時(shí),推定X射線按前述多個不同的照射方向穿透的強(qiáng)度,并生成多個推定數(shù)據(jù);對于前述多個檢測數(shù)據(jù),使用前述X射線的照射方向相互對應(yīng)的前述檢測數(shù)據(jù)與前述推定數(shù)據(jù),從前述檢測數(shù)據(jù)提取差異數(shù)據(jù),該差異數(shù)據(jù)表示前述推定數(shù)據(jù)與前述檢測數(shù)據(jù)之間的差異。

技術(shù)研發(fā)人員:山田篤志
受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會社尼康
技術(shù)研發(fā)日:2015.02.09
技術(shù)公布日:2017.09.26
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