本發(fā)明涉及用以在線移送兩個以上的分析樣品并借由一臺分析裝置進行分析的系統(tǒng)。尤其，本發(fā)明涉及適合于借由感應耦合等離子體或微波等離子體的分析系統(tǒng)。

背景技術：

半導體制造步驟中，各種處理液、化學藥品等的工廠中的質(zhì)量管理或排液管理中，存在著欲分析溶液中的微量金屬的濃度等的需求。此外，河川的水質(zhì)管理、土壤污染等的環(huán)境分析中，微量元素的分析也是必要的。該微量元素的分析中，分析裝置可使用感應耦合等離子體質(zhì)譜分析裝置或感應耦合等離子體發(fā)光分光分析裝置等利用感應耦合等離子體(icp：inductivelycoupledplasma)的分析裝置(以下，視情況記載為icp分析裝置)，或是利用微波等離子體(mp：microwaveplasma)的分析裝置(以下記載為mp分析裝置)。此等icp分析裝置或mp分析裝置，多設置在研究所或?qū)嶒炇业鹊姆治鲈O施，一般是將工廠等現(xiàn)場所采集的分析樣品送入至研究所等來分析微量元素等。

此等借由icp分析裝置等的元素分析，由于通常不在現(xiàn)場直接進行，而是介由人力來進行分析樣品的送入，所以至得到分析結(jié)果為止，會產(chǎn)生時間差。因此，即使從分析結(jié)果檢測出異常時，對制造產(chǎn)線等現(xiàn)場的對應也產(chǎn)生延遲，而有無法完全排除在其間制造出不良品等缺失的產(chǎn)生的問題。此外，由于分析樣品的采集是由人力來進行，除了可分析次數(shù)存在著限制外，并且因制造產(chǎn)線所使用的酸、堿、有機溶劑等種類的不同，作業(yè)者的安全性也可能產(chǎn)生問題。

在該背景下，期待一種可從現(xiàn)場至icp分析裝置或mp分析裝置為止，在線移送分析樣品的分析系統(tǒng)。此點，雖然裝置的種類與icp分析裝置等有所不同，但在專利文獻1中，提出一種對于液相層析分析裝置，可定期或連續(xù)地將制造步驟中的樣品溶液取樣的在線移送裝置。此系統(tǒng)借由流路切換閥的設置，可省略大型的驅(qū)動機構(gòu)。

在如此地在線移送分析樣品的系統(tǒng)中，較理想的是在取樣分析樣品的現(xiàn)場的每1處設置一臺分析裝置。然而，icp分析裝置或mp分析裝置，可設置在1處設施的臺數(shù)存在著限制，難以導入與取樣現(xiàn)場數(shù)目相同臺數(shù)的分析裝置。此是因icp分析裝置等為相對大型的精密機器，設置空間或空調(diào)環(huán)境等有所限制，可設置場所受限，且裝置價格也昂貴之故。從以上情況來看，使用icp分析裝置或mp分析裝置的分析系統(tǒng)中，期待構(gòu)成為可借由一臺或少數(shù)臺icp分析裝置等來分析從多個現(xiàn)場所取樣的分析樣品。

在此，依據(jù)icp分析裝置等的分析系統(tǒng)，一般而言，如圖1所示，在借由霧化器n使液體狀態(tài)的樣品溶液s霧化后，在噴霧室c內(nèi)捕集粒徑較大的霧，僅將粒徑較小(平均粒徑約5μm左右)的霧狀分析樣品導入至等離子體炬p后，提供質(zhì)譜分析或分光分析。該分析系統(tǒng)中，當分析從多個現(xiàn)場所采集的種類不同的樣品時，最簡單的是，可考慮隨時更換供給至霧化器的樣品溶液(更換供給用管等)。然而，此時在分析完1種樣品溶液后切換至其他樣品溶液前，必須充分地洗凈霧化器、噴霧室等的內(nèi)部。當噴霧室等的內(nèi)部中，不同分析樣品彼此混合時，無法得到正確的分析結(jié)果。此外，樣品彼此的液性不同時，容易產(chǎn)生析出物(例如當酸性溶液與堿性溶液混合時，會析出鹽)。

相對于上述噴霧室內(nèi)的洗凈，在專利文獻2中，揭示一種將樣品溶液用的導入部與洗凈液用的導入部連接于一個噴霧室的分析系統(tǒng)。該系統(tǒng)中，借由設置兩個液導入部，在分析兩種以上的分析樣品時，可降低噴霧室內(nèi)的洗凈時間。

現(xiàn)有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特許第3815322號說明書；

專利文獻2：日本特開2004-286604號公報。

技術實現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的課題

關于上述現(xiàn)有技術，專利文獻1的系統(tǒng)，適用六向閥(閥)，專利文獻2的系統(tǒng)，則適用蠕動泵。如此，先前的系統(tǒng)，在分析樣品的供給路徑中，為了多個流路的切換或樣品的平順導入，而使用“泵”或“閥”。然而，此等泵或閥，存在著具有容易滯留分析樣品的失效容體部分的問題。當分析多個分析樣品時，在失效容體內(nèi)部殘存分析樣品時，先前進行分析的分析樣品會微量的混入于接續(xù)進行測定的分析樣品，對檢測值造成干擾而容易使分析結(jié)果產(chǎn)生誤差。此現(xiàn)象稱為“記憶效應”。此記憶效應，如icp分析裝置或mp分析裝置般的分析ppt等級的微量樣品時，即使是微量的樣品混入，也容易對測定結(jié)果造成極大影響，而成為更顯著的問題。此外，在測定濃度高(高基質(zhì))的樣品后分析濃度低的樣品時，當產(chǎn)生記憶效應時，測定結(jié)果也容易產(chǎn)生誤差。另外，以上的記憶效應，除了泵或閥之外，在分析樣品的流路中具備各種具有失效容體部分的零件時，也可能產(chǎn)生。

此外，專利文獻1的系統(tǒng)中，由于在線移送“液體狀態(tài)”的分析樣品，所以也有分析樣品接觸于移送中的配管而產(chǎn)生樣品損耗或污染的風險。具體而言，樣品損耗，是由于在解離常數(shù)高的溶液中，金屬不易成為離子狀態(tài)，使該元素吸附于移送的配管的內(nèi)壁的細孔而產(chǎn)生。尤其當分析樣品為堿溶液時，容易引起此金屬元素的吸附。此外，當分析樣品的配管為樹脂制時，分析樣品中的微粒(測定對象物)被擷取至配管表面的細孔內(nèi)，也會產(chǎn)生損耗。此外，與以上內(nèi)容相反，來自配管的構(gòu)成材料或配管內(nèi)壁的非吸附物的未意料到的金屬元素或有機成分等，也可能從所接觸的配管內(nèi)壁混入分析樣品而產(chǎn)生污染。

在此，在icp分析或mp分析中，當以少數(shù)臺分析裝置分析來自多個現(xiàn)場的分析樣品時，有時現(xiàn)場與分析裝置遠離而使移送距離增長。此時，在液體狀態(tài)的分析樣品的移送中，在長距離的移送下，不僅有上述產(chǎn)生分析樣品的損耗或污染的風險，并且因壓力損耗等而使可移送的流速存在著限制。分析樣品的流速，雖可借由縮小樣品移送管的內(nèi)徑而被部分程度地提高，但此時壓力損耗增大，而須使用高壓泵。高壓泵的應用，也成為分析樣品污染的因素，故不適合于icp分析或mp分析裝置般的微量元素分析。

此外，專利文獻2的系統(tǒng)中，雖可縮短噴霧室的洗凈時間，但洗凈步驟本身無法省略，所以在從多個現(xiàn)場移送不同種類的分析樣品進行分析時，無法即刻進行分析樣品種類的切換。

因此，本發(fā)明提供一種分析系統(tǒng)，其為即使是與分析裝置遠離的場所的分析樣品，也可在線移送的系統(tǒng)，以降低分析樣品的導入路徑上的記憶效應為前提，同時可借由一臺或少數(shù)臺分析裝置來分析從兩個以上的現(xiàn)場所供給的分析樣品。此外，還提供一種分析系統(tǒng)，其于在線移送中，不易因與移送中的配管接觸而產(chǎn)生分析樣品的損耗或污染。

用以解決課題的手段

在以上的背景下，本案發(fā)明者等是對于在分析樣品的移送路徑上不采用泵或閥等具有失效容體部分的構(gòu)成，同時在分析多個分析樣品時，也不易使樣品彼此混入的分析系統(tǒng)進行精心探討。

此外，在上述探討中，考慮到移送液體的分析樣品時的風險，作為該移送方法，先將從現(xiàn)場所采集的液體的分析樣品霧化，然后將霧狀的分析樣品在線移送至icp分析裝置或mp分析裝置，并以此分析系統(tǒng)為基礎。霧狀的樣品，與液狀的樣品相比，可增大移送速度，即使是長距離，也可在短時間內(nèi)移送。因此，欲長距離移送分析樣品時也可適用。除此之外，對于在借由一臺或少數(shù)臺分析裝置(icp分析裝置或mp分析裝置)來分析在線移送的多個分析樣品時，防止分析樣品彼此的混入也進行精心探討。

根據(jù)以上的探討的本發(fā)明，關于一種分析系統(tǒng)，其具備：由將分析樣品霧化的霧化器、借由粒徑來選別霧化的分析樣品的噴霧室、以及從噴霧室至等離子體炬為止對分析樣品進行在線移送的樣品移送路徑所構(gòu)成的樣品分別移送裝置；以及由將在線移送的分析樣品送入至等離子體焰中的等離子體炬、以及應用感應耦合等離子體或微波等離子體的分析裝置所構(gòu)成的共通分析裝置；其中，該分析系統(tǒng)具備兩個以上的樣品分別移送裝置，并且樣品分別移送裝置的各樣品移送路徑與共通分析裝置的等離子體炬連接；各樣品移送路徑中，具有：從噴霧室至等離子體炬為止移送分析樣品的主流路、將補充氣體(makeupgas)供給至主流路的補充氣體供給流路、以及設置在補充氣體供給流路與噴霧室之間將補充氣體和/或分析樣品從主流路排出的排放流路；主流路在分析樣品的移送路徑上不具有泵及閥的構(gòu)成；等離子體炬具有導入霧化的分析樣品的樣品導入管；排放流路的內(nèi)徑(dd)與等離子體炬的樣品導入管的入口部分的內(nèi)徑(dt)相同(dd＝dt)，或是比dt大(dd＞dt)。

根據(jù)上述本發(fā)明，即使采用不使用泵及閥等的構(gòu)成時，多個分析樣品彼此也不易混入。對于執(zhí)行共通分析階段中的樣品移送路徑與未執(zhí)行的樣品移送路徑，也可借由調(diào)整補充氣體供給量來抑制樣品彼此的混入。

此外，本發(fā)明的分析系統(tǒng)，對于每個分析樣品的供給源設置樣品分別移送裝置，并使霧化的多個分析樣品通過各別的樣品移送路徑在線移送至共通分析裝置。霧狀的分析樣品，可以約0.5至1.5l/min的流速來移送，即使在供給源與分析裝置的設置場所之間，例如約有100m的距離時，也可以約0.5至1.5l/分鐘的速度來移送分析樣品并分析。相對于此，當直接以液體狀態(tài)來移送分析樣品時，考慮到配管內(nèi)的壓力上升，必須將移送速度降低為數(shù)百分之一。霧狀(氣體狀)的樣品與液狀的樣品，一般而言，密度約為數(shù)百倍的差異。

以下詳細說明本發(fā)明的分析系統(tǒng)的各構(gòu)成。

本發(fā)明的分析系統(tǒng)，具備兩個以上的樣品分別移送裝置，樣品分別移送裝置由霧化器、噴霧室、以及樣品移送路徑所構(gòu)成。樣品分別移送裝置，可配合分析樣品的供給源的數(shù)目而設置任意數(shù)目。此外，各樣品分別移送裝置所具備的霧化器或噴霧室的種類可為相同，或是配合所移送的分析樣品的種類來適當?shù)剡x擇不同者。

另外，以下的說明中，詳細說明具有一臺分析裝置的分析系統(tǒng)，但在可設置兩臺以上的分析裝置的現(xiàn)場，借由設置多個本發(fā)明的分析系統(tǒng)并增加樣品移送路徑的數(shù)目，能夠簡便地增加可在線移送的分析樣品的數(shù)目。

樣品分別移送裝置中，將從供給源以液體狀態(tài)所供給的分析樣品霧化的霧化器，同軸型(同心型)與正交型(交叉型)的任一種均可適用，較優(yōu)選為同軸型。此外，關于材質(zhì)也無特別限制，較優(yōu)選為依循供給源的分析樣品的性狀，選自石英制、pfa制等材質(zhì)。

借由粒徑來選別上述霧化的分析樣品的噴霧室，霧的選別能力高的斯科特型噴霧室(scottspraychamber)、以及等離子體的導入良好且靈敏度高的旋風型噴霧室的任一種均可適用。材質(zhì)也無特別限制，可適用pyrex(注冊商標)制、石英制、聚丙烯制、pfa制等，較優(yōu)選為依循供給源的分析樣品的性狀來選別。

為了將霧化的樣品進一步形成更細粒徑，樣品分別移送裝置較優(yōu)選為具備去除溶劑裝置。此時，上述噴霧室配置在去除溶劑裝置內(nèi)。去除溶劑裝置，一般設置有將噴霧室加熱及冷卻的機構(gòu)。借由加熱噴霧室，可使分析樣品中的溶劑蒸發(fā)，降低霧化的樣品的粒徑，濃縮成為分析對象的樣品成分。借由去除溶劑裝置所濃縮的分析樣品，可在不使樣品成分沉降的狀態(tài)下增長移送距離，例如可在約0.5至1.5l/min的流速來移送。

將在噴霧室進行選別后的霧狀的分析樣品往分析裝置在線移送的樣品移送路徑，具有主流路、補充氣體供給流路、以及排放流路。在線移送兩個以上的分析樣品的各樣品移送路徑，與一個等離子體炬連接，可借由一臺分析裝置來分析多個分析樣品。如上述般，主流路，由于不具有泵或閥等，所以可防止記憶效應的產(chǎn)生，而防止分析樣品彼此的混入。主流路的長度，可因應從供給源至分析裝置為止的距離而設定為任意的長度。配管的內(nèi)徑(直徑)，例如可適用約3至6mm的配管。

排放流路，設置在補充氣體供給流路與噴霧室之間，可將主流路中流通的分析樣品或補充氣體排出。排放流路，較優(yōu)選為具有可開閉的閥。本發(fā)明的分析系統(tǒng)，由兩個以上的樣品分別移送裝置與一個共通分析裝置所構(gòu)成時，為了可借由一臺分析裝置來依次分析多個分析樣品，可為依次將不同的分析樣品供給至等離子體炬的構(gòu)成。也就是，在依據(jù)本發(fā)明的分析系統(tǒng)進行分析時，兩個以上的樣品移送路徑中，在從一個樣品移送路徑將分析樣品供給至等離子體炬之間，必須具有不將剩余的分析樣品導入至等離子體炬，且可排出至路徑外的機構(gòu)。因此，本發(fā)明的分析系統(tǒng)中，因應往等離子體炬的供給狀況，為了將分析樣品及補充氣體排出，而在各樣品移送路徑設置排放流路。排放流路，對于一個以上的樣品移送路徑，較優(yōu)選也具有縮小流路空間的縮緊部。設置縮緊部時，如后述般，有容易防止分析樣品彼此混入的傾向。

補充氣體供給流路，在兩個以上的樣品移送路徑中，是對各主流路供給適當?shù)难a充氣體。補充氣體，與通常的icp分析等相同，是為了將導入至等離子體炬的分析樣品調(diào)整為最適靈敏度，借由補充氣體的供給來調(diào)整分析樣品的濃度所使用，并且如以下所詳述般，也可發(fā)揮防止分析樣品彼此混入的功能。配管的內(nèi)徑(直徑)，較優(yōu)選約1.5至4mm。此外，形成可供給氬氣或氬氣與氧氣的混合氣體作為補充氣體的構(gòu)成。

以上的樣品分別移送裝置，為對應于分析樣品的供給源的數(shù)目而設置多個，相對于此，共通分析裝置，在本發(fā)明的分析系統(tǒng)中僅設置一個。共通分析裝置，是由一個等離子體炬與一臺分析裝置所構(gòu)成。各樣品移送路徑與等離子體炬連接，可從樣品分別移送裝置往共通分析裝置移送分析樣品。

共通分析裝置中的等離子體炬，具有導入霧化的分析樣品與補充氣體的樣品導入管。等離子體炬，可適用3重管或4重管等一般所知的，一體型噴炬、可分離噴炬射出部的分離型噴炬(可拆卸式噴炬)的任一種均可適用。一般的形狀，是在設置在大致中央的樣品導入管的周圍，具備有等離子體形成用氣體管、冷卻用氣體管等。與主流路連接的樣品導入管，一般而言，導入等離子體的出口附近的內(nèi)徑約1.0至2.5mm。借由縮小出口附近的內(nèi)徑，可有效率地導入等離子體。

以上的等離子體炬，是與應用感應耦合等離子體的分析裝置(icp分析裝置)或是應用微波等離子體的分析裝置(mp分析裝置)連接，而能夠進行分析樣品的分析。icp分析裝置，可適用感應耦合等離子體質(zhì)量分析裝置或感應耦合等離子體發(fā)光分光分析裝置，較優(yōu)選為感應耦合等離子體質(zhì)量分析裝置。此外，微波等離子體分析裝置，可適用微波等離子體原子發(fā)光分光分析裝置(mp-aes)。關于icp分析裝置或mp分析裝置，其構(gòu)成等并無特別限定，可適用任意者。

在此，如上述般，本發(fā)明的分析系統(tǒng)，由于可依次將不同的分析樣品供給至一個等離子體炬，所以對于樣品移送路徑的分析樣品，較優(yōu)選為構(gòu)成為分析中的樣品可容易流動至等離子體炬，同時未分析的樣品往與等離子體炬相反的排放流路側(cè)流動。此是為了防止等離子體炬周邊的分析樣品彼此混合之故。在此，如前述般，本發(fā)明在分析樣品的移送路徑中，為排除成為記憶效應的產(chǎn)生因素的泵等的使用，因而難以產(chǎn)生往等離子體炬?zhèn)鹊姆e極流動。根據(jù)此觀點，本發(fā)明的分析系統(tǒng)中，如下所述，為了調(diào)整分析樣品往等離子體炬?zhèn)鹊牧鲃优c往排放流路的流動，而規(guī)定兩者的關系。

具體而言，本發(fā)明的分析系統(tǒng)中，相對于等離子體炬的樣品導入管的等離子體導入管附近的內(nèi)徑(dt)，將排放流路的內(nèi)徑(dd)設為同等以上的大小。根據(jù)上述構(gòu)成，在主流路中流動的分析樣品或補充氣體，與配管阻力高的等離子體炬的樣品導入管方向相比，有容易往配管阻力低的排放流路流動的傾向。另一方面，未供給至等離子體炬的樣品，有容易積極地往排放流路流動的傾向，因而容易防止分析樣品彼此的混入。

借由以上的分析系統(tǒng)，可在線移送分析樣品而得到分析結(jié)果，但因分析樣品種類的不同，有時須進行稀釋或標準樣品的添加等對分析樣品的事前處理。其中，關于標準樣品的添加，本發(fā)明的分析系統(tǒng)中，較優(yōu)選具有：將標準樣品添加于以霧化器進行霧化前的分析樣品的標準樣品添加裝置。借由該標準樣品添加裝置，相對于一定量的分析樣品，添加一定量的已知濃度的標準樣品，借此可依據(jù)后述標準添加法進行分析樣品的定量。在此，標準樣品添加裝置，與主流路相同，較優(yōu)選為在進行分析樣品的定量的流路上不具有可能在失效容體產(chǎn)生記憶效應的泵或閥等的構(gòu)成。

此外，本發(fā)明的分析系統(tǒng)中，也可具備：稀釋以霧化器進行霧化前的分析樣品的樣品稀釋裝置。樣品稀釋裝置可適用任意構(gòu)成者，但較優(yōu)選為不具有可能于失效容體產(chǎn)生記憶效應的泵或閥等的構(gòu)成。

以上所說明的本發(fā)明的分析系統(tǒng)，可適用于以下分析方法。也就是可適用于一種分析方法，其包含：以霧化器將分析樣品霧化，在噴霧室中借由粒徑來選別霧化的分析樣品后，從噴霧室至等離子體炬為止，借由樣品移送路徑對分析樣品進行在線移送的樣品別移送階段；以及借由等離子體炬將在線移送的分析樣品送入至等離子體焰中，并借由分析裝置對前述分析樣品進行感應耦合等離子體分析或微波等離子體分析的共通分析階段；其中，在樣品別移送階段中，從兩個以上的樣品移送路徑分別對各分析樣品進行在線移送后，將任一個分析樣品送液至等離子體炬，并將各分析樣品交互地提供至共通分析階段；在線移送是從噴霧室至等離子體炬為止，借由主流路來移送分析樣品，通過補充氣體供給流路將補充氣體供給至主流路，并從排放流路將補充氣體和/或分析樣品排出；在將執(zhí)行共通分析階段中的分析樣品的樣品移送路徑設為作用路徑、將未執(zhí)行共通分析階段中的分析樣品的樣品移送路徑設為待用路徑時，在待用路徑中，在補充氣體供給流路與等離子體炬?zhèn)鹊穆窂蕉瞬恐g，僅供給補充氣體。

如上述般，本發(fā)明的分析方法，對于送液至等離子體炬的未執(zhí)行共通分析階段的分析樣品的樣品移送路徑(待用路徑)，借由將等離子體炬?zhèn)仍O為僅供給補充氣體的狀態(tài)，僅使欲分析的分析樣品(作用路徑的分析樣品)容易流動至等離子體炬。具體而言，在待用路徑的補充氣體供給流路與等離子體炬?zhèn)鹊穆窂蕉瞬?待用路徑與作用路徑的匯流地點)之間，設為僅供給補充氣體，而不供給待用路徑的分析樣品。借由適當?shù)卣{(diào)整待用路徑及作用路徑的補充氣體供給量，可如上述般地供給待用路徑的補充氣體流動。

在此說明，在本發(fā)明的分析方法中，可借由上述補充氣體的供給而防止分析樣品彼此的混入。本發(fā)明的分析方法中，作用路徑的分析樣品與作用路徑的補充氣體會合而被供給至等離子體炬。此時，待用路徑的補充氣體，其中一部分被供給至等離子體炬?zhèn)?，同時大部分往樣品供給源側(cè)流動，并從排放流路排出。待用路徑中，如此，補充氣體從補充氣體供給流路往排放流路流動。因此，待用路徑的分析樣品從排放流路排出，而不會往補充氣體供給流路側(cè)流動。

此外，本發(fā)明的分析方法中，當適用上述排放流路的內(nèi)徑(dd)與等離子體炬的樣品導入管的的入口部分的內(nèi)徑(dt)相同(dd＝dt)或是比dt大(dd＞dt)的分析系統(tǒng)時，更容易控制上述補充氣體流動。補充氣體容易往壓力低的排放流路側(cè)流動，如上述般可容易實現(xiàn)分析樣品彼此的混入防止。

此外，本發(fā)明的分析方法中，較優(yōu)選的，還將標準樣品添加于以霧化器進行霧化前的分析樣品，標準樣品較優(yōu)選借由標準添加法來添加。標準添加法中，是將相異量的標準樣品添加于元素濃度等為未知的一定量的分析樣品而制作檢量線用的樣品，并從所添加的標準樣品的濃度與分析裝置的信號強度的關系中，進行元素濃度等的定量，可校正分析裝置等的靈敏度變化而得到正確的分析結(jié)果。另外，相對于標準添加法，校正分析裝置等的靈敏度變化的方法，內(nèi)標準法也為人所知，但此方法是將與測定元素相似且為測定對象外的可分離測定的內(nèi)標準物質(zhì)添加于標準樣品及未知樣品，來制作內(nèi)標準物質(zhì)與標準樣品的信號強度比與濃度的檢量線，難以適用于在線供給的分析樣品的分析。

發(fā)明的效果

本發(fā)明的分析系統(tǒng)中，根據(jù)在線移送霧化的分析樣品所得的分析結(jié)果，可實現(xiàn)迅速的現(xiàn)場對應。此外，由于借由一臺分析裝置來分析從兩個以上的供給源所供給的分析樣品，所以容易適用作為具備icp分析裝置或mp分析裝置的分析系統(tǒng)。此外，在移送路徑中，多個分析樣品彼此不易混入，可得到正確的分析結(jié)果。

附圖說明

圖1為表示先前的樣品溶液的導入例的概要圖。

圖2為表示實施方式的分析系統(tǒng)的概要圖。

圖3為表示實施方式的分析方法的圖。

主要組件符號說明

s樣品溶液

n霧化器

c噴霧室

p等離子體炬

d排放管

ar氬氣

m補充氣體

la作用路徑

ls待用路徑

j匯流地點。

具體實施方式

以下說明本發(fā)明的實施方式。

以圖2所示的分析系統(tǒng)，在線移送從不同的3處所取樣的分析樣品，并借由icp分析裝置來分析。此分析系統(tǒng)，可將下述所示的3種樣品溶液s，經(jīng)由各自獨立的霧化器n、噴霧室c、及樣品移送路徑，送液至共通的等離子體炬p。各樣品移送路徑，具備排放管d及補充氣體m的路徑。排放流路的內(nèi)徑(dd)，相對于等離子體炬的樣品導入管的等離子體導入側(cè)附近的內(nèi)徑(dt)，為dd＞dt。此外，排放流路具有縮緊部。

樣品溶液s，是將樣品1構(gòu)成為1ppb的rh溶液，樣品2為1ppb的y溶液，樣品3為1ppb的in溶液。對此等樣品溶液s進行分析。圖3(a)、(b)中，為顯示切換作用路徑la與待用路徑ls時的概略圖。對于未執(zhí)行共通分析階段的分析樣品的樣品移送路徑(待用路徑ls)，于補充氣體供給流路與等離子體炬?zhèn)鹊穆窂蕉瞬?待用路徑與作用路徑的匯流地點j)之間is，設為僅供給補充氣體，而不供給待用路徑ls的分析樣品并進行分析。借由以上方法，測定切換分析樣品時信號達到穩(wěn)定的所需時間。

從以上的結(jié)果中，可得知借由上述分析系統(tǒng)，于一邊切換3種分析樣品一邊測定時，于切換后的15秒以內(nèi)，信號從1ppb降低至10ppt以下，然后經(jīng)過約15秒，切換后的樣品的信號于1ppb達到穩(wěn)定。如此，根據(jù)以上的分析系統(tǒng)，可在短時間內(nèi)切換多種分析樣品的供給，而借由一個分析裝置進行分析。

產(chǎn)業(yè)上的可應用性

本發(fā)明的分析系統(tǒng)，在各種工廠中的質(zhì)量管理、河川等的環(huán)境分析中，適合于在線分析微量元素的情形。尤其可借由一臺分析裝置來分析從兩個以上的供給源所供給的分析樣品，適合于依據(jù)icp分析或mp分析所進行的微量元素分析。