技術總結
一個實施例涉及一種用于對在目標襯底上的有缺陷裸片中檢測到的缺陷進行自動化復檢的方法。所述方法包含：使用次級電子顯微鏡SEM執(zhí)行所述缺陷的自動化復檢以便獲得所述缺陷的電子束圖像；執(zhí)行基于如根據所述電子束圖像確定的所述缺陷的形態(tài)而將所述缺陷自動化分類成若干類型；選擇特定類型的缺陷以用于自動化能量分散式x射線EDX復檢；及對所述特定類型的所述缺陷執(zhí)行所述自動化EDX復檢。另外，揭示用于獲得準確參考以便改善EDX結果的有用性的自動化技術。此外，揭示基于所述EDX結果將所述缺陷分類的自動化方法，所述自動化方法提供組合形態(tài)信息與元素信息兩者的最終帕累托。還揭示其它實施例、方面及特征。

技術研發(fā)人員：H·辛哈;D·斯皮瓦克;H·旭;H·蕭;R·博特羅
受保護的技術使用者：科磊股份有限公司
文檔號碼：201580055501
技術研發(fā)日：2015.10.27
技術公布日：2017.05.31