技術(shù)總結(jié)
一種用于校準測試腔體的方法，所述測試腔體包圍內(nèi)部容積(20)，被設(shè)計成包括至少一個柔性腔壁部分(14、16)的薄膜腔(12)，并且被以氣體傳導方式連接到壓力傳感器(30)、連接到真空泵(26)、還通過校準閥(34)連接到包圍校準容積(37)的校準腔體(36)；所述方法包括以下步驟：抽空所述薄膜腔(12)；測量所述薄膜腔(12)內(nèi)的壓力差；在所述抽空操作已經(jīng)完成后，在測量壓力變化的同時以氣體傳導方式將所述校準容積(37)連接到所述薄膜腔(12)的內(nèi)部容積(20)；其中在到達所述薄膜腔(12)的所述連接操作之前，所述校準腔體(36)中的壓力大于所述薄膜腔(12)中的壓力。一種相應(yīng)的裝置也被公開。

技術(shù)研發(fā)人員：西爾維奧·德克爾
受保護的技術(shù)使用者：英?？涤邢挢熑喂?br/>文檔號碼：201580050850
技術(shù)研發(fā)日：2015.09.22
技術(shù)公布日：2017.05.24