1.一種數(shù)據(jù)處理裝置,對由像素檢測器測定到的X射線強度數(shù)據(jù)進(jìn)行校正,該數(shù)據(jù)處理裝置的特征在于,具備:
特性存儲部,存儲特定的檢測器的各像素的特性;
校正表格生成部,將作為利用上述特定的檢測器進(jìn)行測定時的條件來輸入的測定條件以及表示上述各像素的特性的值應(yīng)用于表示上述各像素處的計數(shù)值的近似表達(dá)式,使用上述近似表達(dá)式的計算結(jié)果,生成針對上述特定的檢測器的校正表格;和
校正部,使用所生成的上述校正表格,對由上述特定的檢測器測定到的X射線強度數(shù)據(jù)進(jìn)行校正。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)處理裝置,其特征在于,
上述校正表格生成部使用將表示原本的X射線照射下的計數(shù)量的數(shù)學(xué)表達(dá)式和表示電荷共享作用下的計數(shù)量的數(shù)學(xué)表達(dá)式相加后得到的數(shù)學(xué)表達(dá)式,作為表示上述各像素處的計數(shù)值的近似表達(dá)式。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的數(shù)據(jù)處理裝置,其特征在于,
上述校正表格生成部使用將表示噪聲影響下的計數(shù)量的數(shù)學(xué)表達(dá)式和表示噪聲以外影響下的計數(shù)量的數(shù)學(xué)表達(dá)式相加后得到的數(shù)學(xué)表達(dá)式,作為表示上述原本的X射線照射下的計數(shù)量的近似表達(dá)式。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項所述的數(shù)據(jù)處理裝置,其特征在于,
上述校正表格生成部對各像素使用表示上述各像素處的計數(shù)值的近似表達(dá)式的計算結(jié)果來算出用于一致性校正或者失真校正的校正系數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項所述的數(shù)據(jù)處理裝置,其特征在于,
上述校正表格生成部使用表示上述各像素處的計數(shù)值的近似表達(dá)式的計算結(jié)果以及計數(shù)值的閾值來確定不良像素,算出用于彌補上述不良像素的校正系數(shù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項所述的數(shù)據(jù)處理裝置,其特征在于,
所輸入的測定時的上述測定條件中包含測定裝置周邊的溫度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項所述的數(shù)據(jù)處理裝置,其特征在于,
所輸入的測定時的上述測定條件中包含在測定中使用的X射線的射線源的種類。
8.一種求取權(quán)利要求1~7中任一項所述的數(shù)據(jù)處理裝置中存儲的上述各像素的特性的方法,其特征在于,包括以下步驟:
改變特定的測定條件對上述特定的檢測器一致照射X射線,記錄各像素的檢測值的步驟;和
根據(jù)所記錄的各像素的上述檢測值,算出各像素的特性的步驟。
9.一種對由像素檢測器測定到的X射線強度數(shù)據(jù)進(jìn)行校正的數(shù)據(jù)處理的方法,其特征在于,包括以下步驟:
將作為利用特定的檢測器進(jìn)行測定時的條件來輸入的測定條件以及預(yù)先存儲的表示特定的檢測器的各像素的特性的值應(yīng)用于表示上述各像素處的計數(shù)值的近似表達(dá)式,使用表示上述各像素處的計數(shù)值的近似表達(dá)式的計算結(jié)果,生成針對上述特定的檢測器的校正表格的步驟;和
使用所生成的上述校正表格,對由上述特定的檢測器測定到的X射線強度數(shù)據(jù)進(jìn)行校正的步驟。
10.一種對由像素檢測器測定到的X射線強度數(shù)據(jù)進(jìn)行校正的數(shù)據(jù)處理的程序,其特征在于,使計算機執(zhí)行以下處理:
將作為利用特定的檢測器進(jìn)行測定時的條件來輸入的測定條件以及預(yù)先存儲的表示特定的檢測器的各像素的特性的值應(yīng)用于表示上述各像素處的計數(shù)值的近似表達(dá)式,使用表示上述各像素處的計數(shù)值的近似表達(dá)式的計算結(jié)果,生成針對上述特定的檢測器的校正表格的處理;和
使用所生成的上述校正表格,對由上述特定的檢測器測定到的X射線強度數(shù)據(jù)進(jìn)行校正的處理。