技術(shù)總結(jié)
一種質(zhì)量傳遞率控制布置以及方法，其中產(chǎn)生含有載氣與處理前驅(qū)物氣體的處理前驅(qū)物混和物。聲學(xué)地感測所述處理前驅(qū)物混和物中存在的處理前驅(qū)物的量，以產(chǎn)生傳感器輸出。提供稀釋氣體，且所述處理前驅(qū)物混和物以及所述稀釋氣體單獨(dú)地被輸送到實(shí)現(xiàn)所述稀釋氣體與所述處理前驅(qū)物混合物的稀釋混和物的稀釋點(diǎn)。響應(yīng)于所述傳感器輸出自動(dòng)控制所述載氣與所述稀釋氣體的相對流率，使得所述稀釋點(diǎn)處的所述稀釋混和物具有所述前驅(qū)物氣體的所規(guī)定質(zhì)量傳遞率。

技術(shù)研發(fā)人員：雷·洛格;唐·西羅塔;卡西克·卡爾卡拉;艾瑞克·亞莫;克里斯托弗·J·莫拉特;阿林達(dá)姆·辛哈洛伊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：威科儀器有限公司
文檔號碼：201580043479
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.10
技術(shù)公布日：2017.05.31