技術(shù)總結(jié)
提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)高速化、抗噪性的提高以及高精度化的靜電電容測量裝置。靜電電容測量裝置(10)具備：橋用電容器(12)，其在測量對象的靜電電容(Cn)的另一端側(cè)與測量對象的靜電電容(Cn)串聯(lián)連接；以及充放電用開關(guān)元件(SW10)，其在測量對象的靜電電容(Cn)的另一端側(cè)與測量對象的靜電電容(Cn)串聯(lián)連接，并且與橋用電容器(12)并聯(lián)連接。測量對象的靜電電容(Cn)通過充放電用開關(guān)元件(SW10)成為閉合狀態(tài)而被放電，通過充放電用開關(guān)元件(SW10)成為打開狀態(tài)而進(jìn)行充電。在充電步驟時，測量器(14)基于測量對象的靜電電容(Cn)的另一端側(cè)的電位(Vout)，來獲取測量對象的靜電電容(Cn)的當(dāng)量值。

技術(shù)研發(fā)人員：柴田哲好;前田一之助;齋藤雄紀(jì)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：住友理工株式會社
文檔號碼：201580029994
技術(shù)研發(fā)日：2015.01.13
技術(shù)公布日：2017.02.22