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壓差傳感器的制作方法

文檔序號(hào):11889566閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
一種壓差傳感器(1),包括:具有測(cè)量膜(10)和在其間布置測(cè)量膜的兩個(gè)平臺(tái)(20、30)以及換能器(40)的壓差測(cè)量單元(2);以及彈性?shī)A持設(shè)備(50),所述彈性?shī)A持設(shè)備具有兩個(gè)夾持區(qū)域(53),所述夾持區(qū)域每個(gè)都作用在背離所述測(cè)量膜(10)的所述平臺(tái)(20、30)的相應(yīng)后側(cè)上(26、36),其中所述夾持設(shè)備(50)具有至少一個(gè)彈性元件(56、58),所述夾持區(qū)域(52、54)通過(guò)所述至少一個(gè)彈性元件(56、58)機(jī)械聯(lián)接,以便以軸向夾持力夾持所述壓差測(cè)量單元(2),其中所述夾持區(qū)域(52、54)是剛性的,其中所述夾持設(shè)備(50)包括具有兩個(gè)夾持體(60、62)的夾具,每個(gè)夾持體都具有夾持區(qū)域(52、54)之一,其中至少一個(gè)所述夾持體具有彈性元件,所述夾持體在應(yīng)力下彼此連接,以便在所述壓差測(cè)量單元(2)上施加夾持力,其中所述兩個(gè)夾持體(60、62)具有包括所述夾持區(qū)域(52、54)的中心形狀保持段(64、66),其中彈性段在至少一個(gè)夾持體,尤其是在兩個(gè)夾持體的所述形狀保持段(64、66)上鄰接,所述彈性段形成所述彈性元件(56、58)。

技術(shù)研發(fā)人員:英·圖安·塔姆;彼得·克勒費(fèi)爾;拉斐爾·泰伊朋;本杰明·萊姆克
受保護(hù)的技術(shù)使用者:恩德萊斯和豪瑟爾兩合公司
文檔號(hào)碼:201580017055
技術(shù)研發(fā)日:2015.03.24
技術(shù)公布日:2016.11.16

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