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壓差傳感器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11889566

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本發(fā)明涉及一種壓差傳感器,尤其是一種具有對靜態(tài)過載的保護(hù)的壓差傳感器。背景技術(shù)壓差傳感器通常被最優(yōu)化以測量存在大的靜壓力p1、p2時(shí)的小壓差p1-p2。在這種情況下,重要的是達(dá)到敏感性和耐過載性的正確平衡。因而,例如,|p1-p2|/p1<1%能夠適用于壓差|p1-p2|的測量范圍。當(dāng)在過程安裝中缺失壓力p1、p2之一時(shí),壓差傳感器被加載測量范圍的100倍。已知能夠抵抗這些過載的壓差換能器。對敏感性壓差測量單元的有效保護(hù)在于將過載膜與壓差傳感器液壓并聯(lián)地連接,其中通過液壓路徑向壓差測量單元...
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