技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種暗場(chǎng)照明裝置及表面缺陷檢測(cè)裝置，其中，所述暗場(chǎng)照明裝置包括光源、光傳導(dǎo)勻化結(jié)構(gòu)、固定件及裝置固定架，所述光傳導(dǎo)勻化結(jié)構(gòu)包括入射端、傳導(dǎo)段和若干出射端，所述光源發(fā)出的光入射到所述入射端端面，經(jīng)所述傳導(dǎo)段后從若干所述出射端傾斜于待測(cè)試平面射出，若干所述出射端構(gòu)成環(huán)形，并通過所述固定件固定在所述裝置固定架上，所述光傳導(dǎo)勻化結(jié)構(gòu)為一體式注塑結(jié)構(gòu)。本發(fā)明采用的光傳導(dǎo)勻化結(jié)構(gòu)為一體式注塑結(jié)構(gòu)，光源發(fā)出的光在其中進(jìn)行傳導(dǎo)時(shí)發(fā)生全反射，各個(gè)方向的全反射對(duì)光進(jìn)行勻化，提高了暗場(chǎng)照明裝置的照明均勻性，同時(shí)，一體式注塑結(jié)構(gòu)具有接近100％的填充率，一體式注塑結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和裝配。

技術(shù)研發(fā)人員：梁海亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.30
技術(shù)公布日：2017.07.07