技術編號：12822438
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種暗場照明裝置及表面缺陷檢測裝置，應用于半導體行業(yè)。背景技術暗場照明技術廣泛應用于儀器視覺領域，如表面缺陷檢測領域，暗場照明是指照明光束以極大的入射角投射到試樣表面上，如果試樣表面是一個拋光鏡面，則從鏡面上反射的光線以極大的反射角反射出去，而不能進入物鏡成像，在目鏡中只能看到一片漆黑；如果試樣表面存在缺陷特征，則從缺陷特征處漫反射的光線有一部分可進入物鏡成像，這些缺陷特征呈明亮的像映襯在黑暗的視場內，最終可以在目鏡中被觀測到。環(huán)形暗場照明裝置提供均勻的照明光，用于檢測試樣表面的凹陷、...
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