技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)一種光學(xué)感測(cè)模塊，通過(guò)感測(cè)光束感測(cè)待測(cè)物的特性，其包括承載基板、透光蓋體、側(cè)壁、光柵以及光學(xué)感測(cè)器。透光蓋體上配置反射面，反射面具有透光開(kāi)口。透光開(kāi)口暴露出部分透光蓋體。側(cè)壁配置于承載基板的周圍，且位于承載基板與透光蓋體之間。光柵配置于承載基板上，且光柵的位置對(duì)應(yīng)于透光開(kāi)口。光學(xué)感測(cè)器配置于承載基板上，且位于光柵旁，其中承載基板、側(cè)壁以及透光蓋體形成真空腔室，且光柵與光學(xué)感測(cè)器配置于真空腔室內(nèi)。

技術(shù)研發(fā)人員：王欽宏;柯正達(dá);楊省樞
受保護(hù)的技術(shù)使用者：財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院
文檔號(hào)碼：201510958313
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.18
技術(shù)公布日：2017.06.06