技術總結
本發(fā)明公開一種具有納米腔的集成生物感測器及其制作方法，該生物感測器包含有一基底，其上設有一光感測區(qū)。在基底上設有一第一介電層、一擴散阻擋層、一第二介電層。第二介電層中設有一溝槽凹陷結構，其內設有一濾光材料層，被一上蓋層封蓋住。上蓋層上設有一第一鈍化層以及一納米腔結構層，其中于納米腔結構層中，設有一納米腔。在納米腔的側壁及底部設有一第二鈍化層。

技術研發(fā)人員：鐘澤偉;周宗輝;林哲宏;呂紹煒;林曉珮
受保護的技術使用者：力晶科技股份有限公司
文檔號碼：201510472789
技術研發(fā)日：2015.08.05
技術公布日：2017.01.25