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用于磁場(chǎng)感測(cè)的穿隧磁阻裝置的制作方法

文檔序號(hào):11825245閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種用于磁場(chǎng)感測(cè)的穿隧磁阻裝置,其特征在于,包括:

第一穿隧磁阻感測(cè)器,由具有固定層及自由層的第一磁性穿隧接面元件及第二磁性穿隧接面元件并聯(lián)而成;

第二穿隧磁阻感測(cè)器,由具有固定層及自由層的第三磁性穿隧接面元件及第四磁性穿隧接面元件并聯(lián)而成;

第三穿隧磁阻感測(cè)器,由具有固定層及自由層的第五磁性穿隧接面元件及第六磁性穿隧接面元件并聯(lián)而成;以及

第四穿隧磁阻感測(cè)器,由具有固定層及自由層的第七磁性穿隧接面元件及第八磁性穿隧接面元件并聯(lián)而成;

其中,該第一磁性穿隧接面元件及該第二磁性穿隧接面元件的所述固定層具有處于第一固定方向上的固定磁矩;

該第一磁性穿隧接面元件及該第二磁性穿隧接面元件的所述自由層具有分別平行和反平行于第一易軸的第一自由磁矩和第二自由磁矩;

其中,該第一穿隧磁阻感測(cè)器與該第四穿隧磁阻感測(cè)器的第一端連接至一第一電壓節(jié)點(diǎn);該第三穿隧磁阻感測(cè)器與該第二穿隧磁阻感測(cè)器的第一端連接至一第二電壓節(jié)點(diǎn);該第一穿隧磁阻感測(cè)器與該第三穿隧磁阻感測(cè)器的第二端連接一起,該第二穿隧磁阻感測(cè)器與該第四穿隧磁阻感測(cè)器的第二端連接一起;

該第三磁性穿隧接面元件及該第四磁性穿隧接面元件的所述固定層具有處于該第一固定方向上的固定磁矩;該第三磁性穿隧接面元件及該第四磁性穿隧接面元件的所述自由層具有分別平行和反平行于該第一易軸的第三自由磁矩和第四自由磁矩;

其中,該第一自由磁矩與該第一固定磁矩間有第一角度α,該第三自由磁矩與該第三固定磁矩間有該第一角度α;該第二自由磁矩與該第二固定磁矩間有第二角度π-α,該第四自由磁矩與該第四固定磁矩間有該第二角度π-α;α不等于零。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于磁場(chǎng)感測(cè)的穿隧磁阻裝置,其特征在于,該第五磁性穿隧接面元件至該第八磁性穿隧接面元件的所述固定層具有處于 該第一固定方向上的固定磁矩;

該第五磁性穿隧接面元件及該第七磁性穿隧接面元件的所述自由層具有與第二易軸平行的第五自由磁矩和第七自由磁矩,該第六磁性穿隧接面元件及該第八磁性穿隧接面元件的所述自由層具有與該第二易軸反平行的第六自由磁矩和第八自由磁矩;

該第二易軸平行該第一固定方向,該第一易軸與該第二易軸互不平行。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于磁場(chǎng)感測(cè)的穿隧磁阻裝置,其特征在于,該第五磁性穿隧接面元件至該第八磁性穿隧接面元件的所述固定層具有處于第二固定方向上的固定磁矩;

該第五磁性穿隧接面元件及該第七磁性穿隧接面元件的所述自由層具有與該第一易軸平行的第五自由磁矩和第七自由磁矩,該第六磁性穿隧接面元件及該第八磁性穿隧接面元件的所述自由層具有與該第一易軸反平行的第六自由磁矩和第八自由磁矩;

該第二固定方向平行該第一易軸。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的用于磁場(chǎng)感測(cè)的穿隧磁阻裝置,其特征在于,還包括屏蔽裝置分別屏蔽該第三穿隧磁阻感測(cè)器和該第四穿隧磁阻感測(cè)器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于磁場(chǎng)感測(cè)的穿隧磁阻裝置,其特征在于,該第五磁性穿隧接面元件至該第八磁性穿隧接面元件的所述固定層具有處于該第一固定方向上的固定磁矩;

該第五磁性穿隧接面元件及該第六磁性穿隧接面元件的所述自由層具有分別平行和反平行于第二易軸的第五自由磁矩和第六自由磁矩,該第七磁性穿隧接面元件及該第八磁性穿隧接面元件的所述自由層具有分別平行和反平行于該第二易軸的第七自由磁矩和第八自由磁矩;

該第二易軸與該第一易軸互相垂直。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于磁場(chǎng)感測(cè)的穿隧磁阻裝置,其特征在于,該第五磁性穿隧接面元件至該第八磁性穿隧接面元件的所述固定層具有處于第二固定方向上的固定磁矩;

該第五磁性穿隧接面元件及該第六磁性穿隧接面元件的所述自由層具有分別平行和反平行于該第一易軸的第五自由磁矩和第六自由磁矩,該第七磁性 穿隧接面元件及該第八磁性穿隧接面元件的所述自由層具有分別平行和反平行于該第一易軸的第七自由磁矩和第八自由磁矩;

該第一固定方向和該第二固定方向互相垂直。

7.根據(jù)權(quán)利要求2或5所述的用于磁場(chǎng)感測(cè)的穿隧磁阻裝置,其特征在于,該第一磁性穿隧接面元件至第八磁性穿隧接面元件是以單次退火方式處理以決定該第一固定方向。

8.根據(jù)權(quán)利要求3或6所述的用于磁場(chǎng)感測(cè)的穿隧磁阻裝置,其特征在于,該第一磁性穿隧接面元件至第八磁性穿隧接面元件是以多軸向退火方式處理以決定該第一固定方向及該第二固定方向。

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