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氧化鎢氧化釩異質(zhì)結(jié)納米線陣列在探測(cè)二氧化氮中的應(yīng)用的制作方法

文檔序號(hào):11824024閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供氧化鎢/氧化釩異質(zhì)結(jié)納米線陣列在探測(cè)二氧化氮中的應(yīng)用,包括沉積鎢薄膜材料層、氧化鎢納米線的結(jié)晶生長(zhǎng)、氧化鎢納米線的退火處理、退火后的氧化鎢納米線表面鍍釩、進(jìn)行釩的退火熱處理以及電極的制作。本發(fā)明的有益效果是形貌結(jié)構(gòu)為一維納米線陣列,具有很高的比表面積,能夠充分發(fā)揮異質(zhì)結(jié)的優(yōu)異性,異質(zhì)結(jié)直接的特殊能帶結(jié)構(gòu)能有效的降低氣敏傳感器的工作溫度、提高傳感器的靈敏度與響應(yīng)速度。制作工藝成熟、使用方便、價(jià)格低廉,有望在氣敏傳感器領(lǐng)域獲得推廣應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員:秦玉香;柳楊;張曉娟;謝威威;胡明
受保護(hù)的技術(shù)使用者:天津大學(xué)
文檔號(hào)碼:201510196475
技術(shù)研發(fā)日:2015.04.23
技術(shù)公布日:2016.11.23

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