技術特征：

技術總結
在具有波長色散元件(123)、光檢測器(124a～124c)、以及收納它們的腔室(121)的分光器中，設置有：排氣管(128)，其用于將腔室(121)內(nèi)部的氣體排出；氣體供給源(150)，其填充有被壓縮至大氣壓以上的惰性氣體；冷卻單元(151b、152b、153b)，其通過將惰性氣體從氣體供給源(150)導入至腔室(121)內(nèi)并使該惰性氣體膨脹來使腔室(121)內(nèi)的溫度降低；溫度傳感器(127)，其檢測腔室(121)內(nèi)的溫度；以及制御手段(140)，其控制冷卻單元(151b、152b、153b)，以使由溫度傳感器(127)檢測到的溫度成為目標溫度。由此，能夠以低于現(xiàn)有技術的溫度對分光器進行溫調(diào)，并能夠減輕由光檢測器的暗電流導致的背景的影響。

技術研發(fā)人員：小林央祐
受保護的技術使用者：株式會社島津制作所
技術研發(fā)日：2014.10.14
技術公布日：2017.08.18