流量自動監(jiān)控裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種流量自動監(jiān)控裝置，包括流量傳感器、信號放大器、信號收集處理單元、電磁閥和互鎖報警裝置；流量傳感器用于感應(yīng)流量計內(nèi)浮子的高度；信號放大器用于放大流量傳感器信號；電磁閥用于為氣動閥提供藥液吐出信號，并為信號收集處理單元提供流量偵測啟動信號；信號收集處理單元用于監(jiān)控流量傳感器和電磁閥的信號，在檢測到流量異常時，觸發(fā)互鎖報警裝置；互鎖報警裝置包括報警燈和互鎖開關(guān)電路，用于在收到報警信號后，發(fā)出報警聲，并停止硅片處理。本實用新型通過在流量計上加裝光電傳感器，監(jiān)控流量計內(nèi)浮子的高度，實現(xiàn)了對流量計流量的自動監(jiān)控；同時在流量不足時自動報警，強制設(shè)備停止硅片處理，有效保障了產(chǎn)品的工藝品質(zhì)。
【專利說明】流量自動監(jiān)控裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別是涉及光刻區(qū)涂膠顯影裝置中所用藥液的流量監(jiān)控。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在半導體制造領(lǐng)域，光刻區(qū)的涂膠顯影裝置中，大量使用光刻膠溶劑對硅片進行去邊、背面清洗及對硅片表面進行潤濕等處理。涂膠顯影裝置自身針對部分藥液有流量監(jiān)控功能，但如要追加其它藥液的流量監(jiān)控功能，需要修改涂膠顯影裝置本體的軟件設(shè)置，費用比較昂貴(例如，對硅片表面進行潤濕處理，由于是新開發(fā)的工藝，沒有藥液流量監(jiān)控功能配置)。如果部分藥液的流量計沒有進行實時有效的監(jiān)控，會影響產(chǎn)品的工藝品質(zhì)。如去邊的流量太小，無法完全去除硅片周邊的光刻膠，并會產(chǎn)生毛刺或光刻膠殘留等不良。又如對硅片表面進行潤濕的流量不充分，會導致光刻膠不能完全覆蓋到硅片表面，產(chǎn)生不良涂層。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種流量自動監(jiān)控裝置，它可以自動有效地監(jiān)控藥液流量計內(nèi)浮子的變化，實現(xiàn)自動監(jiān)控流量的功能。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的流量自動監(jiān)控裝置，包括流量傳感器、信號放大器、信號收集處理單元、電磁閥和互鎖報警裝置；其中:
[0005]流量傳感器，加裝在藥液流量計上，用于感應(yīng)流量計內(nèi)浮子的高度；
[0006]信號放大器，與流量傳感器連接，用于放大流量傳感器輸出的信號；
[0007]電磁閥，連接在涂膠顯影設(shè)備主機與氣動閥之間，并與信號收集處理單元連接，用于為氣動閥提供藥液吐出信號，并為信號收集處理單元提供流量偵測啟動信號；
[0008]信號收集處理單元，連接在信號放大器與涂膠顯影設(shè)備主機之間，用于監(jiān)控流量傳感器的信號和電磁閥的信號，并進行計算比對，判定藥液流量是否正常，并在檢測到流量異常時，觸發(fā)互鎖報警裝置；
[0009]互鎖報警裝置，安裝在涂膠顯影設(shè)備主機上，包括報警燈和互鎖開關(guān)電路，報警燈用于發(fā)出報警聲，互鎖開關(guān)電路用于在收到流量異常報警信號后，停止硅片處理。
[0010]本實用新型通過在流量計上加裝光電傳感器，感應(yīng)流量計內(nèi)浮子的高度變化，實現(xiàn)了對藥液流量計流量的自動有效監(jiān)控，同時，在流量不足時的自動報警，強制設(shè)備停止硅片處理，有效地保障了產(chǎn)品的工藝品質(zhì)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是流量自動監(jiān)控裝置的配置圖。
[0012]圖2是信號收集處理單元的內(nèi)部電氣組件配置圖。
[0013]圖3是互鎖報警裝置外觀圖?！揪唧w實施方式】
[0014]為對本實用新型的技術(shù)內(nèi)容、特點與功效有更具體的了解，現(xiàn)結(jié)合圖示的實施方式，詳述如下:
[0015]本實施例的流量自動監(jiān)控裝置參見圖1所示，外接于涂膠顯影裝置，包括有流量傳感器、信號放大器、信號收集處理單元、電磁閥和互鎖報警裝置。
[0016]所述流量傳感器為光電傳感器，加裝在藥液流量計上，用于感應(yīng)流量計內(nèi)浮子的上下動作。
[0017]所述信號放大器與流量傳感器連接，用于放大流量傳感器輸出的信號。
[0018]所述電磁閥連接在涂膠顯影設(shè)備主機與氣動閥之間，并與信號收集處理單元連接，用于為氣動閥提供藥液吐出信號，并為信號收集處理單元提供流量偵測啟動信號。
[0019]所述信號收集處理單元連接在信號放大器與涂膠顯影設(shè)備主機之間，包括兩個監(jiān)控單元、控制模塊、直流開關(guān)電源、面板顯示模塊和報警輸出模塊。兩個監(jiān)控單元分別用于監(jiān)控電磁閥的信號(監(jiān)控單元I)和流量傳感器的信號(監(jiān)控單元2)。所述控制模塊用于對監(jiān)控單元監(jiān)控到的電磁閥和流量傳感器的信號進行計算比對，判定藥液流量是否正常。所述直流開關(guān)電源用于為所述控制模塊供電。所述面板顯示模塊用于顯示所述控制模塊對藥液流量正常與否的判定結(jié)果。所述報警輸出模塊用于在所述控制模塊判定藥液流量異常時，向涂膠顯影設(shè)備輸出報警信號。
[0020]所述互鎖報警裝置包括報警燈和互鎖開關(guān)電路。所述報警燈用于在收到所述信號收集處理單元的報警信號后，發(fā)出蜂鳴聲報警。所述互鎖開關(guān)電路用于在收到所述信號收集處理單元的報警信號后，停止硅片處理程序。
[0021]以下對上述流量自動監(jiān)控裝置的工作方式進行詳細地說明:
[0022]啟動涂膠顯影設(shè)備,設(shè)備主機向電磁閥輸出藥液吐出信號，電磁閥一方面向氣動閥提供藥液吐出信號，另一方面向信號收集處理單元提供流量偵測啟動信號，觸發(fā)信號收集處理單元開始監(jiān)控電磁閥和流量計的信號。
[0023]氣動閥收到藥液吐出信號，開始將藥液吸入管道，藥液流經(jīng)流量計，帶動流量計內(nèi)的浮子上、下動作。加裝在流量計上的流量傳感器不斷地檢測流量計內(nèi)浮子的高度。當在一定的藥液吐出時間內(nèi)，流量傳感器檢知到流量計內(nèi)浮子上升到了預(yù)先所設(shè)定的高度，則輸出信號。信號放大器對流量傳感器輸出的信號加以放大后，傳輸給信號收集處理單元。信號收集處理單元收到流量傳感器的信號，將流量判定為正常。反之，若在一定的藥液吐出時間內(nèi)，流量傳感器未檢知到流量計內(nèi)的浮子上升到了預(yù)先所設(shè)定的高度，則流量傳感器不輸出信號，信號收集處理單元未收到流量傳感器的信號，將流量判定為異常，并將流量異常信號輸出給涂膠顯影設(shè)備上的互鎖報警裝置，觸發(fā)互鎖開關(guān)電路，使涂膠顯影設(shè)備強制停止硅片處理，同時報警燈發(fā)出報警蜂鳴聲。
【權(quán)利要求】
1.流量自動監(jiān)控裝置，其特征在于，包括流量傳感器、信號放大器、信號收集處理單元、電磁閥和互鎖報警裝置；其中: 流量傳感器，加裝在藥液流量計上，用于感應(yīng)流量計內(nèi)浮子的高度； 信號放大器，與流量傳感器連接，用于放大流量傳感器輸出的信號； 電磁閥，連接在涂膠顯影設(shè)備主機與氣動閥之間，并與信號收集處理單元連接，用于為氣動閥提供藥液吐出信號，并為信號收集處理單元提供流量偵測啟動信號； 信號收集處理單元，連接在信號放大器與涂膠顯影設(shè)備主機之間，用于監(jiān)控流量傳感器的信號和電磁閥的信號，并進行計算比對，判定藥液流量是否正常，并在檢測到流量異常時，觸發(fā)互鎖報警裝置； 互鎖報警裝置，安裝在涂膠顯影設(shè)備主機上，包括報警燈和互鎖開關(guān)電路，報警燈用于發(fā)出報警聲，互鎖開關(guān)電路用于在收到流量異常報警信號后，停止硅片處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述流量傳感器為光電傳感器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述信號收集處理單元包括兩個監(jiān)控單元、控制模塊、直流開關(guān)電源、面板顯示模塊和報警輸出模塊；兩個監(jiān)控單元分別用于監(jiān)控電磁閥的信號和流量傳感器的信號；控制模塊用于對監(jiān)控單元監(jiān)控到的電磁閥和流量傳感器的信號進行計算比對，判定藥液流量是否正常；直流開關(guān)電源用于為控制模塊供電；面板顯示模塊用于顯示控制模塊對藥液流量正常與否的判定結(jié)果；報警輸出模塊用于在控制模塊判定藥液流量異常時，向涂膠顯影設(shè)備輸出報警信號。
【文檔編號】G01F15/06GK203773368SQ201320749702
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2013年11月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月25日
【發(fā)明者】徐哲峰, 陳伯良, 施建 申請人:上海華虹宏力半導體制造有限公司