透射電子顯微鏡樣品的固定裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種透射顯微鏡樣品的固定裝置，其包括金屬片，彈性件以及緊固件。金屬件由相連的薄片部件和中空的環(huán)狀固定部件構(gòu)成；其中薄片端部用于固定所述金屬網(wǎng)，環(huán)狀固定部?jī)?nèi)壁具有環(huán)形臺(tái)階；彈性件設(shè)于環(huán)形臺(tái)階上；緊固件包括第一固定元件和第二固定元件，所述第一固定元件通過(guò)彈性件將所述環(huán)狀固定部件固定在第二固定元件上。本發(fā)明避免了緊固件的第一固定元件與金屬片的直接接觸，改善了金屬片受力變形的問(wèn)題。
【專利說(shuō)明】透射電子顯微鏡樣品的固定裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種透射電子顯微鏡樣品的固定裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著IC (Integrated circuit)產(chǎn)業(yè)發(fā)展,TEM(透射電子顯微鏡)已經(jīng)演變成一個(gè)不可以缺少的分析研究工具。器件的尺寸越來(lái)越小，隨之而來(lái)的影響器件性能的Defect(缺陷)也會(huì)相應(yīng)越來(lái)越小，從而對(duì)分析工具解析度的要求自然就會(huì)越來(lái)越高。而TEM機(jī)臺(tái)本身所具備的解析度以及精確度高的優(yōu)點(diǎn)讓其在FA (失效分析)以及制程監(jiān)控等方面的作用也越來(lái)越明顯。
[0003]在對(duì)TEM樣品進(jìn)行拍攝前，需要將載有TEM樣品的銅網(wǎng)放入樣品桿，然后再固定裝置把銅網(wǎng)固定在樣品桿上。圖1和圖2所示為現(xiàn)有技術(shù)中的透射電子顯微鏡樣品固定裝置，其包括銅片I和固定件2，固定件可為相匹配螺紋緊固件，如螺絲和內(nèi)螺紋柱。銅片I為厚度均勻的薄片，其一端為環(huán)形，通過(guò)將螺栓旋入內(nèi)螺紋柱鎖定銅片1，銅片的另一端同樣為環(huán)形，其壓制在銅網(wǎng)邊緣(圖中未示)上，以固定銅網(wǎng)。由于螺絲和銅片I的使用頻率比較高，從而螺絲容易由于磨損出現(xiàn)滑絲的現(xiàn)象，銅片I也會(huì)由于經(jīng)常性被螺絲帽擠壓時(shí)的硬性接觸而出現(xiàn)變形。如果載有樣品的銅網(wǎng)沒(méi)有很好地被固定在樣品桿上，那么拍攝過(guò)程中樣品可能會(huì)丟失，造成經(jīng)濟(jì)損失的同時(shí)也會(huì)帶來(lái)時(shí)間的無(wú)端浪費(fèi)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的主要目的旨在提供一種透射顯微鏡樣品的固定裝置，其簡(jiǎn)化了懸臂梁結(jié)構(gòu)的制造工藝，與現(xiàn)有CMOS工藝完全兼容。
[0005]為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種透射顯微鏡樣品的固定裝置，所述樣品放置于金屬網(wǎng)上，所述固定裝置用于固定所述金屬網(wǎng)，其具體包含:金屬片，其由相連的薄片部件和中空的環(huán)狀固定部件構(gòu)成；其中所述薄片端部用于固定所述金屬網(wǎng)，所述環(huán)狀固定部?jī)?nèi)壁具有環(huán)形臺(tái)階；彈性件，設(shè)于所述環(huán)形臺(tái)階上；以及緊固件，包括第一固定元件和第二固定元件，所述第一固定元件通過(guò)所述彈性件將所述環(huán)狀固定部件固定在所述第二固定元件上。
[0006]優(yōu)選地，所述緊固件未螺紋緊固件，所述第一固定元件為螺絲，所述第二固定元件為內(nèi)螺紋柱。
[0007]優(yōu)選地，所述金屬片為銅片，所述彈性件為橡膠。
[0008]優(yōu)選地，所述環(huán)形臺(tái)階的高度與所述薄片部件的高度相同。
[0009]優(yōu)選地，所述環(huán)狀固定部件的高度大于所述薄片部件的高度。
[0010]優(yōu)選地，所述薄片部件的高度與所述環(huán)狀固定部件高度的比為1:2?1:3。
[0011]優(yōu)選地，所述彈性件的上表面與所述環(huán)狀固定部的上表面平齊或突出于所述環(huán)狀固定部的上表面。[0012]本發(fā)明的有益效果在于，通過(guò)采用內(nèi)壁具有環(huán)形臺(tái)階的金屬片，以及在臺(tái)階上嵌入彈性件，避免了緊固件的第一固定元件與金屬片的直接接觸，不僅改善了金屬片受力變形的情況，也使得金屬片不會(huì)在固定過(guò)程中發(fā)生位移變化，從而達(dá)到穩(wěn)固固定承載樣品的金屬網(wǎng)，降低樣品因金屬網(wǎng)固定不佳而脫落報(bào)廢的概率，更進(jìn)一步地還可增加金屬片和緊固件的使用壽命。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)的透射顯微鏡樣品的固定裝置的立體圖；
[0014]圖2所示為圖1所示的透射顯微鏡樣品的固定裝置的俯視圖；
[0015]圖3所示為本發(fā)明一實(shí)施例透射顯微鏡樣品的固定裝置的立體圖；
[0016]圖4所示為本發(fā)明一實(shí)施例透射顯微鏡樣品的固定裝置的剖視圖；
[0017]圖5所示為本發(fā)明一實(shí)施例透射顯微鏡樣品的固定裝置的第一固元件未旋入時(shí)的不意圖；
[0018]圖6所示為本發(fā)明一實(shí)施例透射顯微鏡樣品的固定裝置第一固定元件未旋入時(shí)的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說(shuō)明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0020]下面將結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的透射顯微鏡樣品的固定裝置進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。本發(fā)明的固定裝置是用于固定進(jìn)行TEM檢測(cè)的待測(cè)樣品。通常來(lái)說(shuō)，銅網(wǎng)上具有碳膜，而待測(cè)樣品粘附在碳膜上，將載有待測(cè)樣品的銅網(wǎng)放置于樣品桿中進(jìn)行TEM檢測(cè)。而本發(fā)明的固定裝置通過(guò)將承載待測(cè)樣品的銅網(wǎng)固定在樣品桿上實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行固定。
[0021]為了更好地說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，請(qǐng)參考圖3至圖6，透射顯微鏡樣品的固定裝置包括金屬片10，緊固件20以及彈性件30。
[0022]緊固件20包括相配合的第一固定元件和第二固定元件。在本實(shí)施例中，緊固件20為螺紋緊固件，第一固定元件為螺絲，第二固定元件為內(nèi)螺紋柱。緊固件20也可以是標(biāo)準(zhǔn)或非標(biāo)準(zhǔn)其他類型的緊固件，本發(fā)明并不加以限制。
[0023]金屬片10由相連的中空的環(huán)形固定部件11和片狀的薄片部件12構(gòu)成，環(huán)形固定部件11通過(guò)緊固件20固定，薄片部件12的端部用于壓制銅網(wǎng)(圖中未示)的邊緣將其固定。本實(shí)施例中金屬片10為銅片。請(qǐng)進(jìn)一步參考圖4，在本發(fā)明中，環(huán)形固定部件11的內(nèi)壁具有一環(huán)形臺(tái)階13，該環(huán)形臺(tái)階13上填充有彈性件30。彈性件30是由彈性材料形成，在本實(shí)施例中為橡膠。第一固定元件螺絲的螺絲帽接觸并壓緊彈性件30，從而將銅片10鎖固在內(nèi)螺紋柱上(螺絲帽和內(nèi)螺紋柱之間)。由于螺絲帽是壓在彈性件30而非銅片的環(huán)形固定部件11上，且彈性件30提供了力緩沖作用，避免了銅片10因與螺絲帽的直接硬性接觸而發(fā)生變形，也避免了銅片10因與螺絲帽直接接觸而在螺絲擰緊過(guò)程中發(fā)生位移導(dǎo)致銅片薄片狀的端部也產(chǎn)生位置變化進(jìn)而影響到銅網(wǎng)及其承載的待測(cè)樣品。此外利用彈性件30也可進(jìn)一步改善因螺紋磨損所引起的滑牙現(xiàn)象。環(huán)形臺(tái)階的高度可以和薄片部件12的高度相同，彈性件的上表面可稍突出于環(huán)狀固定部件11的上表面或與該上表面平齊。
[0024]較佳的，如圖4所示，在本實(shí)施例中，銅片的環(huán)形固定部件11的高度要大于薄片部件12的高度，其突出于薄片部件11。相較于現(xiàn)有技術(shù)銅片為厚度均勻的薄片狀，本實(shí)施例通過(guò)增大環(huán)形固定部件11的高度提供了更好的受力性能，在固定過(guò)程中螺絲的擰緊動(dòng)作不會(huì)影響到銅片的薄片部件端部銅網(wǎng)的固定。較佳的，薄片部件12的高度與環(huán)狀固定部件11高度的比為1:2?1:3。
[0025]綜上所述，本發(fā)明所提出的透射顯微鏡樣品的固定裝置通過(guò)內(nèi)壁具有環(huán)形臺(tái)階的金屬片和嵌入臺(tái)階上的彈性件相配合，避免了第一固定元件與金屬片的直接接觸，不僅改善了金屬片受力變形的情況，也使得金屬片不會(huì)在固定過(guò)程中發(fā)生位移變化，從而達(dá)到穩(wěn)固固定承載樣品的銅網(wǎng)，降低樣品因銅網(wǎng)固定不佳而脫落報(bào)廢的概率，更進(jìn)一步地還可增加金屬片和緊固件的使用壽命。
[0026]雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然所述諸多實(shí)施例僅為了便于說(shuō)明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動(dòng)與潤(rùn)飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書(shū)所述為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種透射顯微鏡樣品的固定裝置，所述樣品放置于金屬網(wǎng)上，所述固定裝置用于固定所述金屬網(wǎng)，其特征在于，包括: 金屬片，其由相連的薄片部件和中空的環(huán)狀固定部件構(gòu)成；其中所述薄片部件的端部用于固定所述金屬網(wǎng)，所述環(huán)狀固定部?jī)?nèi)壁具有環(huán)形臺(tái)階； 彈性件，設(shè)于所述環(huán)形臺(tái)階上；以及 緊固件，包括第一固定元件和第二固定元件，所述第一固定元件通過(guò)所述彈性件將所述環(huán)狀固定部件固定在所述第二固定元件上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射顯微鏡樣品的固定裝置，其特征在于，所述緊固件未螺紋緊固件，所述第一固定元件為螺絲，所述第二固定元件為內(nèi)螺紋柱。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射顯微鏡樣品的固定裝置，其特征在于，所述金屬片為銅片，所述彈性件為橡膠。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射顯微鏡樣品的固定裝置，其特征在于，所述環(huán)形臺(tái)階的高度與所述薄片部件的高度相同。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射顯微鏡樣品的固定裝置，其特征在于，所述環(huán)狀固定部件的高度大于所述薄片部件的高度。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的透射顯微鏡樣品的固定裝置，其特征在于，所述薄片部件的高度與所述環(huán)狀固定部件高度的比為1:2?1:3。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射顯微鏡樣品的固定裝置，其特征在于，所述彈性件的上表面與所述環(huán)狀固定部的上表面平齊或突出于所述環(huán)狀固定部的上表面。
【文檔編號(hào)】G01N1/36GK103645138SQ201310631447
【公開(kāi)日】2014年3月19日 申請(qǐng)日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】孫鳳勤, 陳強(qiáng), 高林, 高金德 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司