X射線檢查裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明的X射線檢查裝置包括：設(shè)在相互相向配置的X射線產(chǎn)生裝置與X射線檢測(cè)器之間、且對(duì)被檢查物W進(jìn)行載置的載置臺(tái)；使載置臺(tái)在包含X射線光軸方向的三個(gè)軸方向上移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)；取得被檢查物的一部分區(qū)域的X射線透視圖像的X射線透視圖像取得部；從X射線光軸方向?qū)Ρ粰z查物的整個(gè)區(qū)域的外觀圖像進(jìn)行攝影的光學(xué)照相機(jī)；將外觀圖像顯示在顯示器上的外觀圖像顯示控制部；以及通過(guò)指定外觀圖像上的想要的位置，使移動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)，以取得包含該想要的位置的X射線透視圖像的移動(dòng)機(jī)構(gòu)控制部，通過(guò)輸入被檢查物的高度，外觀圖像顯示控制部根據(jù)高度使載置臺(tái)在X射線光軸方向上移動(dòng)之后，使光學(xué)照相機(jī)對(duì)外觀圖像進(jìn)行攝影。
【專(zhuān)利說(shuō)明】X射線檢查裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及X射線檢查裝置，尤其，涉及使用對(duì)各種エ業(yè)產(chǎn)品等被檢查物進(jìn)行X射線照射而得到的X射線透視圖像，對(duì)被檢查物內(nèi)部有無(wú)缺陷等進(jìn)行非破壞性檢查的X射線檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在對(duì)各種エ業(yè)產(chǎn)品的內(nèi)部有無(wú)缺陷等進(jìn)行非破壞性檢查的X射線檢查裝置中，一般地，具有在X射線產(chǎn)生裝置與X射線檢測(cè)器之間配置有將被檢查物進(jìn)行載置的載置臺(tái)的結(jié)構(gòu)。通常，載置臺(tái)能夠在包含X射線光軸方向(連接X(jué)射線產(chǎn)生裝置與X射線檢測(cè)器的方向、Z方向)的三維方向(XYZ方向)上移動(dòng)。通過(guò)使該載置臺(tái)在X射線光軸方向(Z方向)上移動(dòng)而使透視倍率產(chǎn)生變化，通過(guò)在與其正交的平面(XY平面)上移動(dòng)可以使視場(chǎng)中心產(chǎn)生變化。也有代替載置臺(tái)，使X射線產(chǎn)生裝置和X射線檢測(cè)器與載置臺(tái)一起移動(dòng)的裝置。
[0003]在用于對(duì)電路基板(被檢查物)上所安裝的部件和焊錫球等進(jìn)行檢查的X射線檢查裝置中，通常，將電路基板上的細(xì)節(jié)放大透視后進(jìn)行觀察。為此，當(dāng)前透視的部位是位于電路基板上的何處將變得難以進(jìn)行判別。因此，已知有以下的技術(shù)(中心移動(dòng)功能):用較低倍率(寬視場(chǎng))對(duì)被檢查物的X射線透視圖像進(jìn)行攝影并存儲(chǔ)好，將該X射線透視圖像在顯示器上顯示，通過(guò)在該X射線透視圖像上指定應(yīng)該放大透視的位置和大小尺寸(想要的區(qū)域)，來(lái)使載置臺(tái)自動(dòng)地移動(dòng)并將X射線透視圖像進(jìn)行顯示(例如，參見(jiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。
[0004]另外，在用于這種用途的X射線檢查裝置中，由于采用了用于得到高放大率的X射線透視圖像的裝置結(jié)構(gòu)，因而無(wú)法得到被檢查物的整個(gè)區(qū)域(低倍率)的X射線透視圖像，為此，便有了設(shè)置用于對(duì)載置臺(tái)上的被檢查物的整個(gè)區(qū)域進(jìn)行攝影的光學(xué)照相機(jī)的技術(shù)(例如，參見(jiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。
[0005]圖4為示出設(shè)有光學(xué)照相機(jī)的X射線檢查裝置的結(jié)構(gòu)的模塊圖。另外，圖2為由X射線檢查裝置所顯示的圖像的一例。此外，將連接X(jué)射線產(chǎn)生裝置和X射線檢測(cè)器的方向作為Z方向,將與Z方向垂直的ー個(gè)方向作為X方向,將與Z方向和X方向垂直的方向作為Y方向。
[0006]X射線檢查裝置110包括:對(duì)被檢查物W進(jìn)行載置的載置臺(tái)3 ;使載置臺(tái)3在XYZ方向上移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)4 ；X射線產(chǎn)生裝置I ;X射線檢測(cè)器2 ;用于對(duì)被檢查物W的整個(gè)區(qū)域的外觀圖像進(jìn)行攝影的光學(xué)照相機(jī)5 ;以及對(duì)X射線檢查裝置I整體進(jìn)行控制的控制系統(tǒng)120?？刂葡到y(tǒng)120由通用的計(jì)算機(jī)裝置構(gòu)成，將其硬件模塊化后進(jìn)行說(shuō)明的話，由CPU121、鍵盤(pán)和鼠標(biāo)等輸入裝置22、液晶面板等顯示器23、和存儲(chǔ)器124構(gòu)成。
[0007]另外，如果對(duì)CPU121所處理的功能進(jìn)行模塊化來(lái)說(shuō)明的話，其具有從X射線檢測(cè)器2取得X射線透視圖像并在顯示器23上進(jìn)行顯示的X射線透視圖像取得部21a、從光學(xué)照相機(jī)5取得外觀圖像并在顯示器23上進(jìn)行顯示的外觀圖像顯示控制部121b以及使移動(dòng)機(jī)構(gòu)4驅(qū)動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)控制部121c。
[0008]根據(jù)這種X射線檢查裝置110，如圖2所示，顯示器23中，在右側(cè)區(qū)域顯示目前正在透視的X射線透視圖像T，且在左側(cè)區(qū)域顯示外觀圖像C。
[0009]并且，操作者將通過(guò)光學(xué)照相機(jī)5從與X射線的透視方向大致相同方向(-Z方向)對(duì)被檢查物W進(jìn)行攝影所得到的外觀圖像C作為地圖那樣地來(lái)使用，通過(guò)在該外觀圖像C上重疊顯示各個(gè)時(shí)刻的透視位置，或者，用輸入裝置22在外觀圖像C上指定應(yīng)該放大顯示的位置，使載置臺(tái)3自動(dòng)地移動(dòng)并使X射線透視圖像T進(jìn)行顯示(外觀導(dǎo)航功能)。
[0010]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0011]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0012]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2001-255286號(hào)公報(bào)
[0013]專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2006-343193號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]發(fā)明要解決的課題
[0015]但是，在上述那樣的X射線檢查裝置110中，當(dāng)對(duì)高度h較高的被檢查物W1進(jìn)行檢查時(shí)，外觀導(dǎo)航功能有時(shí)不能很好地發(fā)揮作用。另外，有時(shí)無(wú)法取得被檢查物W1的整個(gè)區(qū)域的外觀圖像C。
[0016]用于解決課題的手段
[0017]因此， 申請(qǐng)人:就外觀導(dǎo)航功能不能很好地發(fā)揮作用的原因進(jìn)行了探討。在X射線檢查裝置110中，將被檢查物W載置到載置臺(tái)3上之后，載置臺(tái)3將會(huì)移動(dòng)到規(guī)定的位置(X0, Y0, Z0)上，光學(xué)照相機(jī)5將會(huì)對(duì)外觀圖像C進(jìn)行攝影。一般地，在X射線檢查裝置110中，多為對(duì)電路基板等高度h較低的被檢查物W2進(jìn)行檢查。為此，用于光學(xué)照相機(jī)5對(duì)外觀圖像C進(jìn)行攝影的規(guī)定的位置(Xtl, Y0, Z0)以高度h較低的被檢查物W2為基準(zhǔn)而被設(shè)定。
[0018]在此，圖5的(a)是高度h2較低的被檢查物W2配置于規(guī)定的位置(Xtl, Ytl, Ztl)之際，對(duì)外觀圖像C進(jìn)行攝影時(shí)的圖；圖5的(b)是高度h較高的被檢查物W1配置于規(guī)定的位置(X0, Y0, Z0)之際，對(duì)外觀圖像C進(jìn)行攝影時(shí)的圖。
[0019]在對(duì)高度Ii1較高的被檢查物W1的外觀圖像C進(jìn)行攝影的情況下，被檢查物W1的整個(gè)區(qū)域?qū)o(wú)法映出。
[0020]此外，如果設(shè)定規(guī)定的位置(X’，Y’，Z’)，以使高度Ii1較高的被檢查物W1的整個(gè)區(qū)域被映出的話，則在對(duì)高度h2較低的被檢查物W2的外觀圖像C進(jìn)行攝影的情況下，被檢查物W2的整個(gè)區(qū)域的尺寸將變小，對(duì)外觀圖像C上的位置進(jìn)行指定將變得困難。
[0021]另外，圖6的(a)是在高度h2較低的被檢查物W2被配置在某位置(X1, Y1, Z1)之際取得X射線透視圖像T時(shí)的圖；圖6的(b)是在高度Ii1較高的被檢查物W1被配置在某位置(X1, Y1, Z1)之際取得X射線透視圖像T時(shí)的圖。
[0022]對(duì)于X射線透視圖像T，為了計(jì)算用于使被檢查物W中的想要的觀察位置移動(dòng)至X射線透視圖像T的中心的距離x1、x2，則有必要知道想觀察的位置(星號(hào))離載置臺(tái)3表面的高度hp h2。因此，在取得X射線透視圖像T之際，有時(shí)需輸入想觀察的位置(星號(hào))離載置臺(tái)3表面的高度
[0023]但是，在使用外觀圖像C的外觀導(dǎo)航功能的情況下，在使被檢查物W中的想要的觀察位置向X射線透視圖像T的中心移動(dòng)的時(shí)候，完全沒(méi)有考慮離載置臺(tái)3的上表面的高度
h2o[0024]因此，發(fā)現(xiàn)了利用被檢查物W的高度I^h2來(lái)進(jìn)行調(diào)整用于光學(xué)照相機(jī)5對(duì)外觀圖像C進(jìn)行攝影的載置臺(tái)3的位置(X，Y，Z)。
[0025]即，本發(fā)明的X射線檢查裝置包括:載置臺(tái)，其被設(shè)在相互相向配置的X射線產(chǎn)生裝置與X射線檢測(cè)器之間，對(duì)被檢查物進(jìn)行載置；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述載置臺(tái)在包含X射線光軸方向的至少三個(gè)軸方向上移動(dòng)；x射線透視圖像取得部，其取得所述被檢查物的一部分區(qū)域的X射線透視圖像；光學(xué)照相機(jī)，其用于從X射線光軸方向?qū)λ霰粰z查物的整個(gè)區(qū)域的外觀圖像進(jìn)行攝影；外觀圖像顯示控制部，其將所述外觀圖像顯示在顯示器上；移動(dòng)機(jī)構(gòu)控制部，其通過(guò)指定所述外觀圖像上的想要的位置，使所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)，以便取得包含該想要的位置的X射線透視圖像，其特征在干，通過(guò)輸入所述被檢查物的高度，所述外觀圖像顯示控制部根據(jù)該高度使載置臺(tái)在X射線光軸方向上移動(dòng)之后，使所述光學(xué)照相機(jī)對(duì)外觀圖像進(jìn)行攝影。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的X射線檢查裝置，首先，設(shè)定被檢查物W的高度h。其結(jié)果，在對(duì)高度hx較高的被檢查物W1的外觀圖像C進(jìn)行攝影的情況下，外觀圖像顯示控制部使載置臺(tái)位于從規(guī)定的位置(Xtl, Y0, Ztl)在X射線光軸方向上僅移動(dòng)高度hi的位置(Xtl, Y0, Vh1)之后，再讓光學(xué)照相機(jī)對(duì)外觀圖像C進(jìn)行攝影。據(jù)此，被檢查物W1的整個(gè)區(qū)域?qū)⒈挥吵?。反之，在?duì)高度h2較低的被檢查物W2的外觀圖像C進(jìn)行攝影的情況下，外觀圖像顯示控制部使載置臺(tái)位于從規(guī)定的位置(Xtl, Y0, Z0)在X射線光軸方向上僅移動(dòng)高度h2的位置(Xtl, Y0, Ztl-1i2)之后，再讓光學(xué)照相機(jī)對(duì)外觀圖像C進(jìn)行攝影。據(jù)此，被檢查物W2的整個(gè)區(qū)域的尺寸就不會(huì)變小。也就是說(shuō)，根據(jù)被檢查物W的高度h，使對(duì)外觀圖像C進(jìn)行攝影的載置臺(tái)的位置(X，Y，Z)位于恰當(dāng)?shù)奈恢谩?br> [0027]而且，因?yàn)橛吃谕庥^圖像C上的被檢查物W的表面離載置臺(tái)的高度h為已知的，所以通過(guò)在外觀圖像(被檢查物W的表面)C上對(duì)應(yīng)該放大顯示的透視位置進(jìn)行指定，在使載置臺(tái)移動(dòng)的時(shí)候，也能夠正確地計(jì)算用于使其移動(dòng)的距離X、y。也就是說(shuō)，外觀導(dǎo)航功能將會(huì)很好地發(fā)揮作用。
[0028]發(fā)明的效果
[0029]如上所述，根據(jù)本發(fā)明的X射線檢查裝置，即便是各種高度h的被檢查物W也能夠?qū)Ρ粰z查物W的整個(gè)區(qū)域的外觀圖像C進(jìn)行攝影。而且，將會(huì)出色地發(fā)揮外觀導(dǎo)航功能。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0030]圖1是示出本發(fā)明的ー實(shí)施方式的X射線檢查裝置的結(jié)構(gòu)的模塊圖。
[0031]圖2是由X射線檢查裝置所顯示的圖像的一例。
[0032]圖3是進(jìn)行外觀圖像攝影時(shí)的圖。
[0033]圖4是示出設(shè)有光學(xué)照相機(jī)的X射線檢查裝置的結(jié)構(gòu)的模塊圖。
[0034]圖5是進(jìn)行外觀圖像攝影時(shí)的圖。
[0035]圖6是取得X射線透視圖像時(shí)的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0036]以下，利用附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，本發(fā)明并不限于以下說(shuō)明的實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的主g的范圍內(nèi)包含各種形態(tài)。[0037]圖1為示出本發(fā)明的ー實(shí)施方式的X射線檢查裝置的結(jié)構(gòu)的模塊圖。此外，關(guān)于與X射線檢查裝置110相同之處，附上相同的符號(hào)。
[0038]X射線檢查裝置10包括:對(duì)被檢查物W進(jìn)行載置的載置臺(tái)3 ;使載置臺(tái)3在XYZ方向上移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)4 ；X射線產(chǎn)生裝置I ;X射線檢測(cè)器2 ;用于對(duì)被檢查物W的整個(gè)區(qū)域的外觀圖像進(jìn)行攝影的光學(xué)照相機(jī)5 ;以及對(duì)X射線檢查裝置I整體進(jìn)行控制的控制系統(tǒng)20。
[0039]X射線產(chǎn)生裝置I向鉛垂上方(Z方向)產(chǎn)生帶有錐形束狀的延展的X射線，在X射線產(chǎn)生裝置I的上方相向配置有ニ維(XY平面)的X射線檢測(cè)器2。
[0040]載置臺(tái)3配置在X射線產(chǎn)生裝置I與X射線檢測(cè)器2之間，其上表面上載置有被檢查物W。據(jù)此，由X射線產(chǎn)生裝置I產(chǎn)生的X射線透過(guò)載置臺(tái)3上的被檢查物W后射入X射線檢測(cè)器2并被檢測(cè)出，其檢測(cè)輸出(X射線透視圖像T)將會(huì)被實(shí)時(shí)(規(guī)定的時(shí)間間隔)地輸送至控制系統(tǒng)20并在顯示器23上顯示。
[0041]另外，載置臺(tái)3能夠在X方向、Y方向及Z方向合計(jì)三個(gè)軸方向上移動(dòng)。據(jù)此，通過(guò)使載置臺(tái)3在XY方向上移動(dòng)，來(lái)進(jìn)行視場(chǎng)中心的調(diào)整，且通過(guò)使載置臺(tái)3在Z方向上移動(dòng)，來(lái)進(jìn)行測(cè)量倍率的調(diào)整。另外，在該載置臺(tái)3上也可以裝上使試劑以Z軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及其他驅(qū)動(dòng)軸等。
[0042]光學(xué)照相機(jī)5是用來(lái)從-Z方向?qū)d置臺(tái)3上的被檢查物W的整個(gè)區(qū)域進(jìn)行攝影的，其被配置在載置臺(tái)3的上方(Z方向)，與X射線檢測(cè)器2相鄰。來(lái)自光學(xué)照相機(jī)5的攝影輸出(外觀圖像C)按規(guī)定的攝影時(shí)機(jī)被輸送至控制系統(tǒng)20并被存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器24中并在顯示器23上進(jìn)行顯示。
[0043]控制系統(tǒng)20由通用的計(jì)算機(jī)裝置構(gòu)成，對(duì)其硬件模塊化后進(jìn)行說(shuō)明的話，由CPU21、鍵盤(pán)及鼠標(biāo)等輸入裝置22、液晶面板等顯示器23、和存儲(chǔ)器24構(gòu)成。
[0044]如圖2所示，顯示器23中，在右側(cè)區(qū)域顯示有目前正在透視的X射線透視圖像T，且在左側(cè)區(qū)域顯示外觀圖像C。
[0045]輸入裝置22用來(lái)進(jìn)行如下操作:由操作者輸入被檢查物W的高度h，或讓光學(xué)照相機(jī)5對(duì)外觀圖像C進(jìn)行攝影，或ー邊對(duì)X射線透視圖像T進(jìn)行觀察一邊使載置臺(tái)3在XYZ方向上移動(dòng)，或在顯示器23上所顯示的X射線透視圖像T上對(duì)應(yīng)該放大透視的位置與大小尺寸(想要的區(qū)域)進(jìn)行指定，或在顯示器23上所顯示的外觀圖像C上對(duì)應(yīng)該放大透視的位置(想要的位置)進(jìn)行指定。
[0046]在此，如果對(duì)CPU21所處理的功能進(jìn)行模塊化來(lái)說(shuō)明的話，具有從X射線檢測(cè)器2取得X射線透視圖像T并在顯示器23上進(jìn)行顯示的X射線透視圖像取得部21a、從光學(xué)照相機(jī)5取得外觀圖像C并在顯示器23上進(jìn)行顯示的外觀圖像顯示控制部21b、以及使移動(dòng)機(jī)構(gòu)4驅(qū)動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)控制部21c。另外，在存儲(chǔ)器24中形成有預(yù)先存儲(chǔ)有載置臺(tái)3的規(guī)定位置(Xtl, Ytl, Ztl)的規(guī)定位置存儲(chǔ)區(qū)域24a和用于存儲(chǔ)被檢查物W的高度h的高度存儲(chǔ)區(qū)域 24b。
[0047]X射線透視圖像取得部21a從X射線檢測(cè)器2取得被檢查物W的一部分區(qū)域的X射線透視圖像T，并進(jìn)行在顯示器23的右側(cè)區(qū)域中實(shí)時(shí)顯示X射線透視圖像T的控制。據(jù)此，操作者對(duì)X射線透視圖像T進(jìn)行觀察，并對(duì)被檢查物W內(nèi)部有無(wú)缺陷等進(jìn)行檢查。
[0048]外觀圖像顯示控制部21b在接收到來(lái)自輸入裝置22的輸入信號(hào)“外觀圖像攝影”之際，根據(jù)高度存儲(chǔ)區(qū)域24b內(nèi)所設(shè)定的被檢查物W的高度h，使載置臺(tái)3移動(dòng)之后，再?gòu)墓鈱W(xué)照相機(jī)5取得外觀圖像C，并進(jìn)行將外觀圖像C顯示于顯示器23的左側(cè)區(qū)域的控制。圖3的(a)是在高度h2較低的被檢查物W2配置在位置(Xtl, Y0, Z0-h2)之際對(duì)外觀圖像C進(jìn)行攝影時(shí)的圖；圖3的(b)是在高度Ii1較高的被檢查物W1配置在位置(Xtl, Y0, Vh1)之際對(duì)外觀圖像C進(jìn)行攝影時(shí)的圖。
[0049]操作者在對(duì)高度Ii1為較高的被檢查物W1的外觀圖像進(jìn)行攝影的時(shí)候，在高度存儲(chǔ)區(qū)域24b預(yù)先設(shè)定好被檢查物W的高度匕。并且，操作者用輸入裝置22將輸入信號(hào)“外觀圖像攝影”進(jìn)行輸入。于是，外觀圖像顯示控制部21b在使載置臺(tái)3位于從規(guī)定的位置(X。，Y0, Z0)朝下僅移動(dòng)了高度Ii1的位置(Xtl, Y0, Vh1)之后，再讓光學(xué)照相機(jī)5對(duì)外觀圖像C進(jìn)行攝影(參見(jiàn)圖3的(b))。據(jù)此，被檢查物W1的整個(gè)區(qū)域被映出。
[0050]另外，操作者在對(duì)高度h2為較低的被檢查物W2的外觀圖像進(jìn)行攝影的時(shí)候，在高度存儲(chǔ)區(qū)域24b內(nèi)預(yù)先設(shè)定好被檢查物W的高度h2。并且，操作者用輸入裝置22將輸入信號(hào)“外觀圖像攝影”進(jìn)行輸入。于是，外觀圖像顯示控制部21b在使載置臺(tái)3位于從規(guī)定的位置(Xtl, Ytl, Ztl)朝下僅移動(dòng)高度h2的位置(Xtl, Ytl, Ztl-1i2)之后，再讓光學(xué)照相機(jī)5對(duì)外觀圖像進(jìn)行攝影(參見(jiàn)圖3的(a))。據(jù)此，被檢查物W2的整個(gè)區(qū)域的尺寸將不會(huì)變小。
[0051]移動(dòng)機(jī)構(gòu)控制部21c通過(guò)用輸入裝置22來(lái)指定顯示器23上所顯示的X射線透視圖像T上的想要的區(qū)域，進(jìn)行使載置臺(tái)3在XYZ方向上移動(dòng)的控制(中心移動(dòng)功能)，以取得想要的區(qū)域的X射線透視圖像T。
[0052]另外，移動(dòng)機(jī)構(gòu)控制部21c通過(guò)用輸入裝置22來(lái)指定顯示器23上所顯示的外觀圖像C上的想要的位置，進(jìn)行使載置臺(tái)3在XY方向上移動(dòng)的控制(外觀導(dǎo)航功能)以取得想要的位置成為中心的X射線透視圖像T。此時(shí)，因?yàn)橥庥^圖像C中映出的被檢查物W的表面離載置臺(tái)3的高度h被設(shè)定在高度存儲(chǔ)區(qū)域24b內(nèi)，所以移動(dòng)機(jī)構(gòu)控制部21c可以用高度h來(lái)計(jì)算用于取得外觀圖像C上被指定的想要的位置成為中心的X射線透視圖像T的距離x、y，并使載置臺(tái)3移動(dòng)。據(jù)此，外觀導(dǎo)航功能將很好地發(fā)揮作用。
[0053]如上所述，根據(jù)本發(fā)明的X射線檢查裝置10，即使是各種高度h的被檢查物W，也能夠?qū)Ρ粰z查物W的整個(gè)區(qū)域的外觀圖像C進(jìn)行攝影。而且，因?yàn)橛酶叨萮來(lái)計(jì)算用于取得外觀圖像C上被指定的想要的位置成為中心的X射線透視圖像T的距離X、y，所以外觀導(dǎo)航功能將很好地發(fā)揮作用。
[0054]<其他實(shí)施方式>
[0055]( I)在上述X射線檢查裝置I中，雖然為在對(duì)被檢查物W的外觀圖像C進(jìn)行攝影之前，將被檢查物W的高度Ii1在高度存儲(chǔ)區(qū)域24b內(nèi)設(shè)定好的結(jié)構(gòu)，但也可以是在對(duì)相同高度h的被檢查物W相繼進(jìn)行檢查的時(shí)候，省略在高度存儲(chǔ)區(qū)域24b內(nèi)設(shè)定被檢查物W的高度Ii1的エ序的結(jié)構(gòu)。
[0056](2)在上述X射線檢查裝置I中，在使用加固增高夾具的情況下，也可以是在高度存儲(chǔ)區(qū)域24b設(shè)定好被檢查物W的高度Ii1與加固增高夾具的高度h’的結(jié)構(gòu)。
[0057]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0058]本發(fā)明可用于采用對(duì)各種エ業(yè)產(chǎn)品等被檢查物進(jìn)行X射線照射后得到的X射線透視圖像，對(duì)被檢查物內(nèi)部有無(wú)缺陷等進(jìn)行非破壞性檢查的X射線檢查裝置等。
[0059]符號(hào)的說(shuō)明[0060]I:X射線產(chǎn)生裝置
[0061]2:X射線檢測(cè)器
[0062]3:載置臺(tái)
[0063]4:移動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0064]5:光學(xué)照相機(jī)
[0065]10:X射線檢查裝置
[0066]21a:X射線透視圖像取得部
[0067]21b:外觀圖像顯示控制部
[0068]21c:移動(dòng)機(jī)構(gòu)控制部
[0069]22:輸入裝置
[0070]23:顯示器
[0071]24:存儲(chǔ)器。
【權(quán)利要求】
1.ー種X射線檢查裝置，包括: 載置臺(tái)，其被設(shè)在相互相向配置的X射線產(chǎn)生裝置與X射線檢測(cè)器之間，對(duì)被檢查物進(jìn)行載置； 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述載置臺(tái)在包含X射線光軸方向的至少三個(gè)軸方向上移動(dòng)； X射線透視圖像取得部，其取得所述被檢查物的一部分區(qū)域的X射線透視圖像； 光學(xué)照相機(jī)，其用于從X射線光軸方向?qū)λ霰粰z查物的整個(gè)區(qū)域的外觀圖像進(jìn)行攝影; 外觀圖像顯示控制部，其將所述外觀圖像顯示在顯示器上； 移動(dòng)機(jī)構(gòu)控制部，其通過(guò)指定所述外觀圖像上的想要的位置，使所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)，以便取得包含該想要的位置的X射線透視圖像，其特征在干， 通過(guò)輸入所述被檢查物的高度，所述外觀圖像顯示控制部根據(jù)該高度使載置臺(tái)在X射線光軸方向上移動(dòng)之后，使所述光學(xué)照相機(jī)對(duì)外觀圖像進(jìn)行攝影。
【文檔編號(hào)】G01N23/04GK103487448SQ201310058896
【公開(kāi)日】2014年1月1日 申請(qǐng)日期:2013年2月25日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月11日
【發(fā)明者】巖尾快彥 申請(qǐng)人:株式會(huì)社島津制作所