檢漏裝置和用于借助檢漏裝置來(lái)檢驗(yàn)對(duì)象密封性的方法
【專利摘要】檢漏裝置具有測(cè)試室（10），測(cè)試室與抽真空泵裝置（14）連接用于抽真待測(cè)試空。此外，測(cè)試室（10）經(jīng)由測(cè)試氣體管路（20）與測(cè)試氣體泵裝置（18）連接。測(cè)試氣體泵裝置（18）在其主入口（28）處與測(cè)試氣體檢測(cè)器（30）連接，使得能夠按逆流原理對(duì)測(cè)試氣體進(jìn)行檢測(cè)。在測(cè)試氣體管路（20）中設(shè)置有閥裝置（38）。該閥裝置具有測(cè)試氣體室（44）用于緩存從測(cè)試室（10）中提取的測(cè)試氣體。
【專利說(shuō)明】檢漏裝置和用于借助檢漏裝置來(lái)檢驗(yàn)對(duì)象密封性的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種檢漏裝置以及一種用于借助于檢漏裝置來(lái)檢驗(yàn)對(duì)象密封性的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]已知的逆流檢漏裝置，如例如在EP I 585 951中所描述的那樣，使用渦輪分子泵來(lái)檢漏。待測(cè)試的對(duì)象或者在其中設(shè)置有待測(cè)試的對(duì)象的測(cè)試室經(jīng)由測(cè)試氣體管路與預(yù)真空泵連接。此外，測(cè)試氣體管路與渦輪分子泵的兩個(gè)或更多個(gè)中間入口連接。此外，預(yù)真空泵與渦輪分子泵的出口連接。在渦輪分子泵的入口處設(shè)置有測(cè)試氣體檢測(cè)器、特別是設(shè)置在通過(guò)渦輪分子泵抽真空的室中。由此能夠使用測(cè)試氣體檢測(cè)器，所述測(cè)試氣體檢測(cè)器具有非常高的敏感度。對(duì)特別是氦氣的測(cè)試氣體的檢測(cè)通過(guò)如下方式進(jìn)行，即測(cè)試氣體能夠逆著渦輪分子泵的主流動(dòng)方向在渦輪分子泵內(nèi)部向其入口流動(dòng)并且通過(guò)測(cè)試氣體檢測(cè)器來(lái)檢測(cè)。
[0003]在EP I 585 951中，用于粗檢對(duì)象的測(cè)試氣體管路與渦輪分子泵的出口區(qū)域連接。由于測(cè)試氣體管路與渦輪分子泵的出口區(qū)域連接，所以測(cè)試氣體的逆流路徑或者回流路徑在渦輪分子泵內(nèi)部比較長(zhǎng)。在測(cè)試氣體管路中以及在測(cè)試室或者待測(cè)試的對(duì)象中的壓力較低時(shí)，才能夠進(jìn)行測(cè)試氣體管路與渦輪分子泵的中間區(qū)域的連接，以至于逆流路徑縮短。當(dāng)測(cè)試氣體管路中的壓力在不考慮小偏差情況下對(duì)應(yīng)于渦輪分子泵的中間區(qū)域中的壓力時(shí)，測(cè)試氣體才可以進(jìn)入渦輪分子泵的中間區(qū)域。測(cè)試氣體管路與另一個(gè)中間入口的連接(通過(guò)該連接進(jìn)一步縮短逆流路徑）因此在后續(xù)的時(shí)刻即當(dāng)實(shí)現(xiàn)對(duì)檢驗(yàn)壓力的進(jìn)一步下降時(shí)才又是可能的。由于特別是在開始檢驗(yàn)時(shí)對(duì)象的逆流路徑或者回流路徑長(zhǎng)，所以檢驗(yàn)時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間較長(zhǎng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于，提出一種檢漏裝置以及一種用于檢驗(yàn)對(duì)象密封性的相應(yīng)的方法，通過(guò)所述撿漏裝置能夠降減小檢驗(yàn)時(shí)間。
[0005]根據(jù)本發(fā)明通過(guò)具有權(quán)利要求I的特征的檢漏裝置或者通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于借助于檢漏裝置來(lái)檢驗(yàn)對(duì)象密封性的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)所述目的的解決。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的檢漏裝置具有測(cè)試室，在所述測(cè)試室中設(shè)置有待測(cè)試的對(duì)象?？商孢x地，也可直接測(cè)試對(duì)象。抽真空泵裝置與測(cè)試室或者對(duì)象連接用于抽真空。抽真空泵裝置具有預(yù)真空泵，以至于測(cè)試室或者對(duì)象能夠被抽真空直至到低的壓力。在測(cè)試室或待檢驗(yàn)的對(duì)象中，在此情況下實(shí)現(xiàn)如下壓力，所述壓力對(duì)應(yīng)于背景信號(hào)到泄漏值的至少一個(gè)單倍的距離。測(cè)試氣體管路與抽真空泵裝置無(wú)關(guān)地與測(cè)試室或者對(duì)象連接?？商孢x地，該測(cè)試氣體管路也能夠與設(shè)置在測(cè)試室或?qū)ο笈c抽真空泵裝置之間的管路連接，使得不必使兩個(gè)管路與測(cè)試室連接。這特別是在與對(duì)象的直接連接的情況下是有利的，因?yàn)榇撕髢H一個(gè)管路必須與對(duì)象連接，所述管路隨后分支為通向抽真空泵裝置的管路和測(cè)試氣體管路。[0007]測(cè)試氣體管路與測(cè)試氣體泵裝置的中間入口連接。測(cè)試氣體泵裝置在特別優(yōu)選的實(shí)施形式中是渦輪分子泵必要時(shí)與Hohlweck級(jí)連接。在這里，為了實(shí)現(xiàn)低壓力，渦輪分子泵或者Hohlweck-級(jí)的出口與預(yù)真空泵連接。測(cè)試氣體檢測(cè)器與測(cè)試氣體泵裝置的主入口，也就是說(shuō)，特別是與渦輪分子泵的主入口連接。對(duì)測(cè)試氣體的檢測(cè)按逆流原理進(jìn)行。這意味著，測(cè)試氣體一方面通過(guò)中間入口流入并且沿主輸送路徑的方向向測(cè)試氣體泵裝置的出口輸送。測(cè)試氣體的小部分逆著主輸送方向沿著逆流路徑從中間入口流向主入口，并且因此能夠被測(cè)試氣體檢測(cè)器檢測(cè)。
[0008]根據(jù)本發(fā)明，在測(cè)試氣體管路中設(shè)置有具有測(cè)試氣體室的閥裝置。因此可能的是，來(lái)自于測(cè)試室或?qū)ο蟮臏y(cè)試氣體被緩存在測(cè)試氣體室中。被緩存的測(cè)試氣體隨后經(jīng)由中間入口被輸送給測(cè)試氣體泵裝置，并且沿著逆流路徑流向測(cè)試氣體檢測(cè)器。本發(fā)明的主要優(yōu)點(diǎn)在于，測(cè)試氣體泵裝置與抽真空泵裝置無(wú)關(guān)地運(yùn)行。因此可能的是，在測(cè)試氣體泵裝置中已實(shí)現(xiàn)相對(duì)低的壓力，而在測(cè)試室本身中尚無(wú)相應(yīng)的低壓力必須處于主導(dǎo)。由于可在測(cè)試氣體泵裝置的區(qū)域中實(shí)現(xiàn)的低壓力，可能的是，將測(cè)試氣體泵裝置的中間入口設(shè)置在主入口附近，使得逆流路徑是短的。這引起檢驗(yàn)時(shí)間顯著地減小。顯著減小尤其由于與測(cè)試室或者對(duì)象的體積相比在測(cè)試氣體室中顯著更小的體積而是可能的。處于測(cè)試氣體室中的測(cè)試氣體因此可以具有與測(cè)試氣體泵裝置中的壓力相比明顯更高的壓力，而不會(huì)由此妨礙測(cè)試氣體泵裝置的功能性、特別是渦輪分子泵的功能性。情況如此是因?yàn)橹挥猩倭繙y(cè)試氣體經(jīng)由中間入口被輸送給測(cè)試氣體泵裝置。
[0009]在第一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施形式中，閥裝置具有兩個(gè)閥，在所述閥之間設(shè)置有測(cè)試氣體室。為了以來(lái)自于測(cè)試室或?qū)ο蟮臏y(cè)試氣體填充測(cè)試氣體室，開啟沿流動(dòng)方向設(shè)置在測(cè)試氣體室之前的第一閥，使得測(cè)試氣體流入測(cè)試氣體室中。在按時(shí)間后續(xù)的步驟中，必要時(shí)與在測(cè)試氣體泵裝置的區(qū)域中處于主導(dǎo)的壓力有關(guān)地開啟第二閥，使得少量測(cè)試氣體從測(cè)試氣體室向測(cè)試氣體泵裝置的中間入口流動(dòng)。在開始檢查密封性時(shí)，因此少量測(cè)試氣體能夠被輸送給測(cè)試氣體泵裝置，所述測(cè)試氣體泵裝置已經(jīng)被抽真空到非常低的壓力上。因此可實(shí)現(xiàn)從中間入口到測(cè)試氣體檢測(cè)器的短的逆流路徑。
[0010]在這個(gè)檢驗(yàn)期間，可以借助于抽真空泵裝置進(jìn)一步降低測(cè)試室或者對(duì)象中的壓力。隨后通過(guò)再次開啟第一閥的方式從測(cè)試室或者對(duì)象中提取測(cè)試氣體的另一個(gè)樣品，使得測(cè)試氣體在第二閥關(guān)閉時(shí)流入測(cè)試氣體室中。接著，再次關(guān)閉第一閥而開啟第二閥，使得測(cè)試氣體向測(cè)試氣體泵裝置流動(dòng)并且因此向測(cè)試氣體檢測(cè)器流動(dòng)。因此以簡(jiǎn)單的方式可能的是，分級(jí)地檢驗(yàn)對(duì)象的密封性。本發(fā)明的另一優(yōu)點(diǎn)在于，僅少量測(cè)試氣體被輸送給測(cè)試氣體泵裝置并且就這點(diǎn)而言，在出現(xiàn)泄漏時(shí)也只有少量測(cè)試氣體必須在檢驗(yàn)接下來(lái)的對(duì)象之前從測(cè)試氣體泵裝置中排出。就此而言，根據(jù)本發(fā)明的檢漏裝置也在最短時(shí)間內(nèi)又準(zhǔn)備用于檢測(cè)接下來(lái)的對(duì)象。
[0011]在優(yōu)選的實(shí)施形式中，閥裝置與控制裝置連接。在具有兩個(gè)獨(dú)立的閥的閥裝置的第一優(yōu)選實(shí)施形式中，在這里借助于控制裝置對(duì)閥進(jìn)行相應(yīng)的控制，其中開啟第一閥而關(guān)閉第二閥用于將測(cè)試氣體輸送給測(cè)試氣體室，并且相應(yīng)地為了將測(cè)試氣體輸送給測(cè)試氣體泵裝置，開啟第二閥并且關(guān)閉第一閥。通過(guò)所述控制因此保證了，在任何時(shí)刻都不開啟這兩個(gè)閥，因?yàn)橛纱舜罅繙y(cè)試氣體在可能相對(duì)高的壓力下會(huì)在中間入口處流入測(cè)試氣體泵裝置中。這會(huì)導(dǎo)致測(cè)試氣體泵裝置的損傷，特別是在其是渦輪分子泵的情況下。[0012]此外，通過(guò)控制裝置優(yōu)選保證了，當(dāng)?shù)谝婚y關(guān)閉時(shí)，第二閥才開啟。
[0013]在本發(fā)明的另一種優(yōu)選的實(shí)施形式中，閥裝置具有帶有集成的測(cè)試氣體室的唯一的閥。該閥能夠構(gòu)成為，可通過(guò)推移一種雙活塞，開啟或者關(guān)閉所述閥的入口或者出口。對(duì)該閥的控制優(yōu)選又借助于控制裝置來(lái)進(jìn)行，所述控制裝置實(shí)施對(duì)雙活塞的推移，類似于開啟和關(guān)閉具有兩個(gè)閥的閥裝置的第一閥和第二閥。
[0014]此外，本發(fā)明涉及一種用于借助于檢漏裝置來(lái)檢驗(yàn)對(duì)象密封性的方法，其中在一種特別優(yōu)選的實(shí)施形式中，使用上文中所描述的檢漏裝置來(lái)執(zhí)行所述方法。按照根據(jù)本發(fā)明的方法，測(cè)試氣體從測(cè)試室或者直接從待檢驗(yàn)的對(duì)象中被提取到測(cè)試氣體室中。接著，中斷在測(cè)試氣體室與測(cè)試室或?qū)ο笾g的連接。被提取的測(cè)試氣體隨后從測(cè)試氣體室被輸送給測(cè)試氣體泵裝置。測(cè)試氣體泵裝置具有測(cè)試氣體檢測(cè)器或與測(cè)試氣體檢測(cè)器連接并且按逆流原理執(zhí)行對(duì)測(cè)試氣體的檢測(cè)。對(duì)此測(cè)試氣體優(yōu)選經(jīng)由測(cè)試氣體泵裝置的中間入口被輸送給測(cè)試氣體泵裝置并且從測(cè)試氣體泵裝置沿主流動(dòng)方向朝向測(cè)試氣體泵裝置的出口的方向，特別是朝向渦輪分子泵的出口的方向被泵送。一部分測(cè)試氣體逆著主流動(dòng)方向沿著逆流路徑從中間入口流向測(cè)試氣體泵裝置的主入口，其中測(cè)試氣體檢測(cè)器設(shè)置在主入口的區(qū)域中。根據(jù)本發(fā)明的方法同樣具有在上文中參照根據(jù)本發(fā)明的檢漏裝置所描述的優(yōu)點(diǎn)。
[0015]優(yōu)選在達(dá)到在測(cè)試氣體泵裝置中、特別是在測(cè)試氣體泵裝置的中間入口的區(qū)域中處于主導(dǎo)的預(yù)給定的壓力級(jí)時(shí)，才從測(cè)試氣體室中提取測(cè)試氣體。特別地，測(cè)試氣體在不同時(shí)刻在測(cè)試室中的或?qū)ο笾械膲毫Σ煌那闆r下相繼地從測(cè)試室或直接從對(duì)象中被提取并且被輸送給測(cè)試氣體室。相應(yīng)于根據(jù)本發(fā)明的檢漏裝置在中間入口處的壓力相應(yīng)低時(shí)從測(cè)試氣體室進(jìn)行測(cè)試氣體輸送，使得能夠?qū)崿F(xiàn)短的逆流路徑并且因此能夠?qū)崿F(xiàn)短的檢驗(yàn)時(shí)間。
[0016]對(duì)測(cè)試室或?qū)ο蟪檎婵諆?yōu)選借助于抽真空泵裝置來(lái)進(jìn)行，所述抽真空泵裝置至少在功能上和機(jī)械上與測(cè)試氣體泵裝置無(wú)關(guān)。僅經(jīng)由控制裝置能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)抽真空泵裝置以及測(cè)試氣體泵裝置的控制技術(shù)的結(jié)合。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]以下根據(jù)優(yōu)選的實(shí)施方式參考附圖詳細(xì)地闡述本發(fā)明。
[0018]在附圖中：
[0019]圖I至3示出了根據(jù)本發(fā)明的檢漏裝置的不同優(yōu)選實(shí)施形式的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]在測(cè)試室10中設(shè)置有待測(cè)試密封性的對(duì)象。測(cè)試室10經(jīng)由抽真空管路12與泵14連接。代替設(shè)置在其中設(shè)置有待測(cè)試的對(duì)象的抽真空室10，也可以將對(duì)象直接立即抽真空。在抽真空管路12中設(shè)置有可調(diào)節(jié)的抽真空閥16。為了檢測(cè)密封性，測(cè)試室10或者待檢驗(yàn)的對(duì)象經(jīng)由測(cè)試氣體管路20與測(cè)試氣體泵裝置18連接?？商孢x地，如通過(guò)虛管路22所描述，測(cè)試氣體管路20也可以在流動(dòng)方向上在抽真空閥16之后與抽真空管路12連接。
[0021]測(cè)試氣體20與測(cè)試氣體泵裝置18的在所描述的實(shí)施例中構(gòu)成為渦輪分子泵的泵26的中間入口 24連接。測(cè)試氣體檢測(cè)器30與渦輪分子泵的主入口 28連接。渦輪分子泵的出口 32在中間連接閥34的情況下與預(yù)真空泵36連接。[0022]根據(jù)本發(fā)明，閥裝置38設(shè)置在測(cè)試氣體管路20中。在附圖I所描述的第一實(shí)施例中，閥裝置具有第一可調(diào)節(jié)的閥40和在流動(dòng)方向上設(shè)置在第一可調(diào)節(jié)的閥下游的第二個(gè)同樣可調(diào)節(jié)的閥42。測(cè)試氣體室44設(shè)置在這兩個(gè)閥40，42之間。不僅這兩個(gè)可調(diào)節(jié)的閥40，42而且測(cè)試氣體檢測(cè)器30與控制裝置46連接。在這里，在控制裝置46到測(cè)試氣體檢測(cè)器30的連接管路中此外設(shè)置有壓力測(cè)量裝置48。此外也可以經(jīng)由控制裝置46對(duì)抽真空閥16進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0023]此外，校準(zhǔn)裝置37優(yōu)選直接在中間入口 24之前設(shè)置在測(cè)試氣體管路20中。
[0024]為了分析待測(cè)試的對(duì)象的密封性，借助于測(cè)試氣體泵裝置18在測(cè)試氣體檢測(cè)器30的區(qū)域中產(chǎn)生非常低的壓力。同樣，借助于抽真空泵裝置14在所描述的實(shí)施例中將測(cè)試室10抽真空或者直接將待測(cè)試的對(duì)象抽真空，其中在這里在開始檢測(cè)時(shí)，也就是說(shuō)，在粗檢漏中，較高的壓力處于主導(dǎo)。為了粗查，隨后開啟閥40，使得少量測(cè)試氣體流入到測(cè)試氣體室44中。隨后，閥40關(guān)閉而閥42開啟。測(cè)試氣體從測(cè)試氣體室44中通過(guò)中間入口 24流入到渦輪分子泵26中。通過(guò)渦輪分子泵26和預(yù)真空泵36，測(cè)試氣體在主流動(dòng)路徑上朝向出口 50的方向被泵送。逆著主流動(dòng)路徑或主流動(dòng)方向，較少量測(cè)試氣體按逆流原理從中間入口 24朝向渦輪分子泵的主入口 28的方向流動(dòng)并且隨后到達(dá)測(cè)試氣體檢測(cè)器30。只要測(cè)試氣體檢測(cè)器檢測(cè)到測(cè)試氣體例如氦氣，那么產(chǎn)生相應(yīng)的信號(hào)并且所述檢驗(yàn)結(jié)束，因?yàn)橐呀?jīng)在粗查中確定了待檢測(cè)的對(duì)象無(wú)密封性。
[0025]如果在分析步驟中測(cè)試氣體檢測(cè)器30仍未檢測(cè)到測(cè)試氣體，那么測(cè)試氣體泵裝置18再次被置于初始的低壓力。同時(shí)，也降低測(cè)試室10中的或者待檢測(cè)的對(duì)象中的壓力，其中現(xiàn)在達(dá)到較低壓力。在接下來(lái)的檢測(cè)步驟中，隨后又首先開啟閥40，使得氣體流入到測(cè)試氣體室44中。接著，又關(guān)閉閥40而開啟閥42，以便隨后如在上文中所描述的那樣又將在測(cè)試氣體室44中存在的氣體引導(dǎo)穿過(guò)渦輪分子泵26并且至測(cè)試氣體檢測(cè)器30。相應(yīng)于第一方法步驟，借助于測(cè)試氣體檢測(cè)器30又進(jìn)行檢測(cè)并且當(dāng)可能檢測(cè)到不密封時(shí)相應(yīng)地輸出信號(hào)。
[0026]該步驟隨后能夠在測(cè)試室10中的壓力不斷降低的情況下重復(fù)多次，使得密封性檢驗(yàn)越來(lái)越精細(xì)。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的檢漏裝置的主要優(yōu)點(diǎn)在于，始終僅少量測(cè)試氣體(測(cè)試氣體室44的體積）必須由測(cè)試氣體泵裝置18泵送。這具有如下優(yōu)點(diǎn)，即能夠?qū)崿F(xiàn)將測(cè)試氣體導(dǎo)入在中間入口 24上，所述中間入口設(shè)置在主入口 28附近并且已經(jīng)位于非常低的壓力水平上。這又具有如下優(yōu)點(diǎn)，即測(cè)試氣體到測(cè)試氣體檢測(cè)器30必須經(jīng)過(guò)的逆流路徑是短的，使得能夠進(jìn)行快速的檢測(cè)。此外始終必要的是，只要在之前的檢驗(yàn)中確定不密封，在檢測(cè)新的對(duì)象之前清潔測(cè)試氣體泵裝置18。存在于系統(tǒng)中的氦氣必須被完全抽出。因?yàn)楦鶕?jù)本發(fā)明，僅少量測(cè)試氣體被輸送給系統(tǒng)，所以能夠非?？焖俚貓?zhí)行相應(yīng)的清潔。因此明顯改善了撿漏裝置的經(jīng)濟(jì)性。
[0028]在下文中所描述的實(shí)施例（圖2和圖3)中，用相同的附圖標(biāo)記表示類似的部件。
[0029]在圖2中所描述的實(shí)施例與在圖I中所描述的實(shí)施例的區(qū)別僅在于閥裝置38的構(gòu)型。閥裝置38在該實(shí)施例中具有唯一的閥52，所述閥構(gòu)成為具有集成的測(cè)試氣體室的閥。閥52具有入口 54以及出口 56。在開啟閥入口 53時(shí)，測(cè)試氣體通過(guò)測(cè)試氣體管路22流入到集成的測(cè)試氣體室44中。存在于測(cè)試氣體室44中的氣體能夠在關(guān)閉入口 54之后通過(guò)出口 56再次離開該閥，并且如在上文中所描述的那樣，到達(dá)測(cè)試氣體泵裝置18。閥52的開啟和關(guān)閉通過(guò)推移雙活塞45來(lái)實(shí)現(xiàn)。這借助于彈簧47以及相應(yīng)地被激勵(lì)的電磁鐵49來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0030]對(duì)象的密封性檢驗(yàn)類似于根據(jù)圖I所描述的檢驗(yàn)來(lái)進(jìn)行。
[0031]在圖3中所描述的實(shí)施例基本上相應(yīng)于圖2的實(shí)施例并且同樣具有閥52，所述閥具有集成的體積。唯一的區(qū)別在于，為了將測(cè)試室10抽真空，抽真空管路12與測(cè)試氣體泵裝置18的預(yù)真空泵36連接。預(yù)真空泵36因此用作為抽真空泵裝置，用于將測(cè)試室10或者待檢測(cè)的對(duì)象抽真空。單獨(dú)的泵14如在圖I和圖2中的實(shí)施例中所描述的那樣，在這里可以取消。
[0032]當(dāng)然，在圖I中所描述的閥裝置38也可以用于在圖3中所描述的實(shí)施例。
【權(quán)利要求】
1.一種檢漏裝置，具有： 測(cè)試室（10)和/或待測(cè)試的對(duì)象，所述測(cè)試室或所述待測(cè)試的對(duì)象與抽真空泵裝置(14，36)連接用于抽真空， 與所述測(cè)試室和/或所述待測(cè)試的對(duì)象和測(cè)試氣體泵裝置（18)的中間入口（24)連接的測(cè)試氣體管路（22)， 設(shè)置在所述測(cè)試氣體泵裝置（18)的主入口（28)處的測(cè)試氣體檢測(cè)器（30)，其中所述測(cè)試氣體泵裝置（18)具有至少一個(gè)轉(zhuǎn)子元件，使得主流動(dòng)路徑被定義為從所述主入口(28)沿著所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子元件到出口（32)，并且其中逆流路徑從所述中間入口（24)延伸至所述主入口（28)，以及 設(shè)置在所述測(cè)試氣體管路（20)中的閥裝置（38)，所述閥裝置具有測(cè)試氣體室（44)，所述測(cè)試氣體室用于緩存從所述測(cè)試室（10)或者待測(cè)試的對(duì)象中提取的、待輸送給所述測(cè)試氣體泵裝置（18)的測(cè)試氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢漏裝置，其特征在于，所述閥裝置（38)在流動(dòng)方向上在所述測(cè)試氣體室（44)之前具有第一閥（40)并且在流動(dòng)方向上在所述測(cè)試氣體室（44)之后具有第二閥（42)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢漏裝置，其特征在于，所述閥裝置（38)與控制裝置(46)連接，所述控制裝置開啟所述第一閥（40)，用于從所述測(cè)試室（10)和/或所述待測(cè)試的對(duì)象中提取測(cè)試氣體，而開啟所述第二閥（42)，用于將所述測(cè)試氣體輸送給所述測(cè)試氣體泵裝置（18)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的 檢漏裝置，其特征在于，通過(guò)所述控制裝置（46)保證所述第二閥（42)在所述第一閥（40)關(guān)閉之后才開啟。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢漏裝置，其特征在于，所述閥裝置（38)具有唯一的閥（52)，所述唯一的閥具有集成的測(cè)試氣體室（44 )。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢漏裝置，其特征在于，通過(guò)推移雙活塞（45)，所述閥（52)的入口（54)或者出口（56)能開啟或能關(guān)閉。
7.一種用于借助于檢漏裝置來(lái)檢驗(yàn)對(duì)象的密封性的方法，所述檢漏裝置特別是在權(quán)利要求I至6的任一項(xiàng)中所描述的檢漏裝置，其中從測(cè)試室（10)和/或待測(cè)試的對(duì)象中將測(cè)試氣體提取到測(cè)試氣體室（44)中， 中斷所述測(cè)試氣體室（44)與所述測(cè)試室（10)或待檢測(cè)的對(duì)象之間的連接，以及 將提取的測(cè)試氣體由所述測(cè)試氣體室（44)輸送給測(cè)試氣體泵裝置（18)，其中所述測(cè)試氣體經(jīng)由中間入口（24)被輸送給所述測(cè)試氣體泵裝置（18)用于按逆流原理來(lái)測(cè)量，并且所述測(cè)試氣體部分逆著主流動(dòng)路徑流向所述測(cè)試氣體泵裝置（18)的主入口（28)，在所述主入口處設(shè)置有測(cè)試氣體檢測(cè)器（30 )。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中在達(dá)到在所述測(cè)試氣體泵裝置（18)中處于主導(dǎo)的預(yù)給定的壓力級(jí)時(shí)才將來(lái)自于所述測(cè)試氣體室（44)的測(cè)試氣體輸送給所述測(cè)試氣體泵裝置（18)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中在不同壓力級(jí)情況下相繼從所述測(cè)試室（10)和/或所述待測(cè)試的對(duì)象中提取測(cè)試氣體并且將所述測(cè)試氣體輸送給所述測(cè)試氣體泵裝置(18)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7至9中的任一項(xiàng)所述的方法，其中借助于抽真空泵裝置（14)與所述測(cè)試氣體泵裝置（18 )無(wú)關(guān)地將所述測(cè)試室（10)和/或所述待檢驗(yàn)的對(duì)象抽真空。
【文檔編號(hào)】G01M3/20GK103649709SQ201280034953
【公開日】2014年3月19日 申請(qǐng)日期:2012年5月18日 優(yōu)先權(quán)日:2011年7月14日
【發(fā)明者】格哈德·威廉·沃爾特, 京特·霍爾斯坦, 克里斯蒂安·拜爾 申請(qǐng)人:厄利孔萊博爾德真空技術(shù)有限責(zé)任公司