檢查方法
【專利摘要】為了檢查基板，首先在基板上設(shè)定測定區(qū)域，獲得測定區(qū)域相關(guān)基準(zhǔn)數(shù)據(jù)。接著，按顏色獲得測定區(qū)域相關(guān)測定數(shù)據(jù)，針對測定區(qū)域，利用所獲得的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)及各顏色測定數(shù)據(jù)，設(shè)定照明條件。然后，針對測定區(qū)域設(shè)定特征對象，比較對應(yīng)于特征對象的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與對應(yīng)于已設(shè)定照明條件下的特征對象的測定數(shù)據(jù)，獲得基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與測定數(shù)據(jù)之間的失真量。接著，通過補(bǔ)償失真量，設(shè)定測定區(qū)域內(nèi)的檢查區(qū)域。由此，能夠設(shè)定已補(bǔ)償失真的正確的檢查區(qū)域。
【專利說明】檢查方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及檢查方法，更具體地涉及基板的檢查方法。
【背景技術(shù)】
[0002]通常,在電子裝置內(nèi)設(shè)有至少一個(gè)印刷電路板(printed circuit board;PCB),這種印刷電路板上裝配有電路圖形、連接焊盤部、與上述連接焊盤部電氣連接的驅(qū)動芯片等各種電路元件。
[0003]通常，為了確認(rèn)上述各種電路元件是否正確形成于或配置于上述印刷電路板而使用形狀測定裝置。
[0004]根據(jù)以往的形狀測定裝置，設(shè)定規(guī)定的測定區(qū)域，檢查規(guī)定的電路元件是否正確形成于上述測定區(qū)域內(nèi)。在以往的測定區(qū)域設(shè)定方法中，簡單地將理論上需要存在電路元件的區(qū)域設(shè)定為測定區(qū)域。
[0005]測定區(qū)域應(yīng)正確地設(shè)定在需要測定的位置，這樣才能正確地對需要測定的電路元件進(jìn)行測定，但印刷電路板等測定對象可能會出現(xiàn)基板的彎曲(Warp)、扭曲(Distortion)等變形的情況，以往的測定區(qū)域無法設(shè)定在需要進(jìn)行測定的位置，因此導(dǎo)致出現(xiàn)由拍攝部的攝像頭獲得的圖像與理論上電路元件所在位置存在一定差異的問題。
[0006]因此，要求設(shè)定對上述測定對象的失真予以合理補(bǔ)償?shù)臏y定區(qū)域。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]因此，本發(fā)明需要解決的技術(shù)問題是能夠獲得用于獲取優(yōu)質(zhì)的特征對象的最優(yōu)化照明條件并由此能夠更加準(zhǔn)確地設(shè)定檢查區(qū)域的檢查方法。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的示例性的一個(gè)實(shí)施例，為了檢查基板，首先在基板上設(shè)定測定區(qū)域。接著，獲得上述測定區(qū)域相關(guān)基準(zhǔn)數(shù)據(jù)。然后，按顏色獲得上述測定區(qū)域相關(guān)測定數(shù)據(jù)。接著，針對上述測定區(qū)域，利用所獲得的上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)及上述各顏色測定數(shù)據(jù)，設(shè)定照明條件。然后，針對測定區(qū)域設(shè)定特征對象。接著，比較對應(yīng)于上述特征對象的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與對應(yīng)于上述已設(shè)定照明條件下的上述特征對象的測定數(shù)據(jù)，獲得上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與上述測定數(shù)據(jù)之間的失真量。然后，通過補(bǔ)償上述失真量，設(shè)定上述測定區(qū)域內(nèi)的檢查區(qū)域。
[0009]針對上述測定區(qū)域，利用已獲得的上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)及上述各顏色的測定數(shù)據(jù)，設(shè)定照明條件的步驟，能夠包括:在上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)內(nèi)，設(shè)定包含導(dǎo)電圖形的基準(zhǔn)蒙片(mask)區(qū)域及不包含上述導(dǎo)電圖形的基準(zhǔn)無蒙片(no mask)區(qū)域的步驟；在上述各顏色的測定數(shù)據(jù)內(nèi)，設(shè)定對應(yīng)于上述基準(zhǔn)蒙片區(qū)域的測定蒙片區(qū)域及對應(yīng)于上述基準(zhǔn)無蒙片區(qū)域的測定無蒙片區(qū)域的步驟；以及將增加上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度(grayscale)之差的照明設(shè)定為上述照明條件的步驟。
[0010]上述基準(zhǔn)蒙片區(qū)域能夠與構(gòu)成上述基板的信號線布線用基板層(signal layer)相對應(yīng)。
[0011]作為一個(gè)實(shí)施例，上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度之差，能夠由存在于上述測定區(qū)域內(nèi)的上述測定蒙片區(qū)域的灰度的代表值與存在于上述測定區(qū)域內(nèi)的上述測定無蒙片區(qū)域的灰度的代表值之差所定義。
[0012]作為再一個(gè)實(shí)施例，上述特征對象被設(shè)定為以塊(block)為單位的特征塊，以使包含上述測定區(qū)域內(nèi)的規(guī)定形狀，針對上述測定區(qū)域而設(shè)定特征對象的步驟能夠在針對上述測定區(qū)域通過比較已獲得的上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與上述各顏色測定數(shù)據(jù)而設(shè)定照明條件的步驟之前執(zhí)行。
[0013]利用上述各自不同條件的各照明的測定數(shù)據(jù)而設(shè)定照明條件的步驟之前執(zhí)行，上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度之差由存在于上述特征塊內(nèi)的上述測定蒙片區(qū)域的灰度的代表值與存在于上述特征塊內(nèi)的上述測定無蒙片區(qū)域的灰度的代表值之差所定義。上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度之差，能夠由存在于上述特征塊內(nèi)的上述測定蒙片區(qū)域的灰度的代表值與存在于上述特征塊內(nèi)的上述測定無蒙片區(qū)域的灰度的代表值之差所定義。
[0014]上述顏色能夠包含相互不同的第一顏色、第二顏色及第三顏色。上述第一顏色、第二顏色及第三顏色能夠由測定裝置直接獲得。并且，上述顏色能夠進(jìn)一步包含組合上述第一顏色及上述第二顏色的第四顏色、組合上述第一顏色及上述第三顏色的第五顏色、組合上述第二顏色及上述第三顏色的第六顏色、組合上述第一顏色、上述第二顏色及上述第三顏色的第七顏色中的至少一種顏色。
[0015]上述失真量能夠通過上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與上述測定數(shù)據(jù)之間的定量化的轉(zhuǎn)換公式而獲得，上述定量化的轉(zhuǎn)換公式能夠由通過比較上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與上述測定數(shù)據(jù)而獲得的位置變化、傾斜度變化、大小變化及變形度中的至少一種以上所定義。
[0016]上述特征對象能夠被設(shè)定為以塊(block)為單位的特征塊，以使包含上述測定區(qū)域內(nèi)的規(guī)定形狀，上述特征塊的上述規(guī)定形狀能夠具有二維分離裝置，以使消除因周邊的形狀導(dǎo)致的誤認(rèn)可能性。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的示例性的再一個(gè)實(shí)施例，為了檢查基板，首先在基板上設(shè)定測定區(qū)域。接著，針對上述測定區(qū)域，設(shè)定特征對象。然后，針對上述測定區(qū)域，照射各自不同條件的照明。接著，根據(jù)上述各自不同條件的照明，獲得上述測定區(qū)域相關(guān)測定數(shù)據(jù)。然后，利用上述各自不同條件的各照明的測定數(shù)據(jù)，設(shè)定照明條件。接著，比較對應(yīng)于上述特征對象的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與通過上述已設(shè)定照明條件所獲得的上述特征對象的測定數(shù)據(jù)，獲得上述測定區(qū)域的失真量。然后，補(bǔ)償上述失真量，設(shè)定上述測定區(qū)域內(nèi)的檢查區(qū)域。
[0018]作為一個(gè)實(shí)施例，在根據(jù)上述各自不同條件的照明而獲得上述測定區(qū)域相關(guān)測定數(shù)據(jù)的步驟中，能夠?qū)⒕哂?種以上顏色的照明分別照射于上述測定區(qū)域，分別成像而獲得。上述顏色能夠包含相互不同的第一顏色、第二顏色及第三顏色。上述第一顏色、第二顏色及第三顏色能夠由測定裝置直接獲得，上述顏色能夠進(jìn)一步包含組合上述第一顏色及上述第二顏色的第四顏色、組合上述第一顏色及上述第三顏色的第五顏色、組合上述第二顏色及上述第三顏色的第六顏色、組合上述第一顏色、上述第二顏色及上述第三顏色的第七顏色中的至少一種顏色。
[0019]作為一個(gè)實(shí)施例，利用上述各自不同條件的各照明的測定數(shù)據(jù)而設(shè)定照明條件的步驟，能夠包括:在上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)內(nèi)，設(shè)定包含上述特征對象的基準(zhǔn)蒙片(mask)區(qū)域及不包含上述特征對象的基準(zhǔn)無蒙片(no mask)區(qū)域的步驟；在上述各自不同條件的各照明的測定數(shù)據(jù)內(nèi)，區(qū)分對應(yīng)于上述基準(zhǔn)蒙片區(qū)域的測定蒙片區(qū)域及對應(yīng)于上述基準(zhǔn)無蒙片區(qū)域的測定無蒙片區(qū)域的步驟；以及以上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度(gray scale)為準(zhǔn)，設(shè)定上述照明條件的步驟。上述基準(zhǔn)蒙片區(qū)域至少能夠包括構(gòu)成上述基板的信號線布線用基板層(signal layer)。在以上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度(gray scale)為準(zhǔn)設(shè)定上述照明條件的步驟中，能夠?qū)⒃黾由鲜鰷y定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度(grayscale)之差的相應(yīng)條件的照明設(shè)定為上述照明條件。上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度之差由上述測定蒙片區(qū)域的灰度的代表值與上述測定無蒙片區(qū)域的灰度的代表值之差所定義。
[0020]上述特征對象能夠被設(shè)定為以塊(block)為單位的特征塊，以使包含上述測定區(qū)域內(nèi)的規(guī)定形狀，針對上述測定區(qū)域而設(shè)定特征對象的步驟能夠在利用上述各自不同條件的各照明的測定數(shù)據(jù)而設(shè)定照明條件的步驟之前執(zhí)行，上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度之差能夠由存在于上述特征塊內(nèi)的上述測定蒙片區(qū)域的灰度的代表值與存在于上述特征塊內(nèi)的上述測定無蒙片區(qū)域的灰度的代表值之差所定義。
[0021]作為一個(gè)實(shí)施例，上述失真量能夠通過上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與上述測定數(shù)據(jù)之間的定量化的轉(zhuǎn)換公式而獲得，上述定量化的轉(zhuǎn)換公式能夠由通過比較上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與上述測定數(shù)據(jù)而獲得的位置變化、傾斜度變化、大小變化及變形度中的至少一種以上所定義。
[0022]作為一個(gè)實(shí)施例，上述特征對象能夠被設(shè)定為以塊(block)為單位的特征塊，以使包含上述測定區(qū)域內(nèi)的規(guī)定形狀，上述特征塊的上述規(guī)定形狀能夠具有二維分離裝置，以使消除因周邊的形狀導(dǎo)致的誤認(rèn)可能性。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的示例性的另一個(gè)實(shí)施例，為了檢查基板，首先在基準(zhǔn)數(shù)據(jù)內(nèi)設(shè)定基準(zhǔn)蒙片區(qū)域及基準(zhǔn)無蒙片區(qū)域。接著，照射各自不同條件的照明，成像并獲得數(shù)據(jù)。然后，在上述已獲得數(shù)據(jù)中，區(qū)分對應(yīng)于上述基準(zhǔn)蒙片區(qū)域的測定蒙片區(qū)域及對應(yīng)于上述基準(zhǔn)無蒙片區(qū)域的測定無蒙片區(qū)域。接著，將增加上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度(grayscale)之差的相應(yīng)條件的照明設(shè)定為照明條件。
[0024]作為一個(gè)實(shí)施例，上述基板檢查方法，還能夠包括:利用上述已設(shè)定的照明條件，獲得基板上的測定區(qū)域內(nèi)的特征對象的數(shù)據(jù)的步驟；比較對應(yīng)于上述特征對象的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與以上述已設(shè)定的照明條件所獲得的特征對象的數(shù)據(jù)，獲得測定區(qū)域的失真量的步驟；以及補(bǔ)償上述失真量，設(shè)定上述測定區(qū)域內(nèi)的檢查區(qū)域的步驟。
[0025]根據(jù)本發(fā)明，通過利用按顏色獲得的測定區(qū)域相關(guān)測定數(shù)據(jù)信息，設(shè)定能夠增加灰度差異的照明條件，能夠獲得用于獲取優(yōu)質(zhì)的特征對象的最優(yōu)化照明條件，由此能夠更加準(zhǔn)確地設(shè)定檢查區(qū)域。
[0026]并且，基于上述已設(shè)定的檢查區(qū)域，能夠執(zhí)行部件的不合格檢查等作業(yè)，能夠更加準(zhǔn)確地判斷上述基板的不合格與否等。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的檢查方法的流程圖。
[0028]圖2是表示在圖1的檢查方法中的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)的一例的俯視圖。
[0029]圖3是表示在圖1的檢查方法中的測定數(shù)據(jù)的一例的俯視圖。
[0030]圖4是表示設(shè)定圖1的照明條件的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。[0031]圖5是表示用于說明增加圖4的灰度之差的照明查找過程的一個(gè)實(shí)施例的圖表。
[0032]圖6是表示根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)實(shí)施例的檢查方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0033]本發(fā)明能夠進(jìn)行各種變更，并且能夠具有多種形態(tài)，在附圖上例示特定實(shí)施例，并在本文中對其進(jìn)行詳細(xì)說明。但本發(fā)明并不受限于特定的公開形態(tài)，應(yīng)理解為包含在本發(fā)明的思想及技術(shù)范圍內(nèi)的所有變更、等同技術(shù)方案以及替代技術(shù)方案。
[0034]第一、第二等術(shù)語能夠用于說明各種結(jié)構(gòu)要素，但上述結(jié)構(gòu)要素并不受限于上述術(shù)語。上述術(shù)語僅僅用于將一個(gè)結(jié)構(gòu)要素區(qū)別于另一個(gè)結(jié)構(gòu)要素的目的。例如，在本發(fā)明的權(quán)利范圍內(nèi)，第一結(jié)構(gòu)要素能夠被命名為第二結(jié)構(gòu)要素，同樣，第二結(jié)構(gòu)要素也能夠被命名為第一結(jié)構(gòu)要素。
[0035]在本發(fā)明中使用的術(shù)語僅僅是為了說明特定實(shí)施例，并不限定本發(fā)明。關(guān)于單數(shù)的表現(xiàn)，除非根據(jù)上下文具有明確含義，其包含復(fù)數(shù)的表現(xiàn)。在本發(fā)明中使用的“包含”或“具有”等術(shù)語，應(yīng)理解為它是為了指定在說明書中記載的特征、數(shù)字、步驟、動作、結(jié)構(gòu)要素、部件或它們的組合的存在性，并不是為了預(yù)先排除一個(gè)或一個(gè)以上的其他特征或數(shù)字、步驟、動作、結(jié)構(gòu)要素、部件或它們的組合的存在性或附加可能性。
[0036]除非另行定義，包含技術(shù)性和科學(xué)性的術(shù)語，在此使用的所有術(shù)語具有與本領(lǐng)域技術(shù)人員通常理解上的含義。
[0037]通常使用的具有詞典定義的術(shù)語，應(yīng)解釋為其含義與相關(guān)技術(shù)的上下文具有的含義一致，除非在本發(fā)明中明確定義，不應(yīng)解釋為過度理想化或過度形式化的含義。
[0038]下面將參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行更加詳細(xì)的說明。
[0039]圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的檢查方法的流程圖，圖2是表示在圖1的檢查方法中的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)的一例的俯視圖，圖3是表示在圖1的檢查方法中的測定數(shù)據(jù)的一例的俯視圖。
[0040]參照圖1至圖3，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，為了設(shè)定已補(bǔ)償失真的檢查區(qū)域，首先在基本上設(shè)定測定區(qū)域(FOV) S110。
[0041]上述測定區(qū)域(FOV)意味著為了檢查上述基板的不合格與否而在上述基板上設(shè)定的規(guī)定的區(qū)域，例如，能夠以安裝于三維形狀測定裝置等檢查裝備的攝像頭的拍攝范圍(field of view)為準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)定。
[0042]接著，獲得上述測定區(qū)域(FOV)相關(guān)基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI) S120。
[0043]上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)，例如能夠是如圖2所示的上述基板100相關(guān)理論層面的平面圖形。
[0044]作為一個(gè)實(shí)施例，上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)能夠從記錄了上述基板相關(guān)形狀的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)(CAD)信息或格柏(Gerber)信息獲得。上述計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)信息或格柏信息包含上述基板的設(shè)計(jì)基準(zhǔn)信息，通常包含焊盤、電路圖形、孔圖形等相關(guān)配置信息。
[0045]作為再一個(gè)實(shí)施例，上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)能夠從通過學(xué)習(xí)模式得到的學(xué)習(xí)信息獲得。上述學(xué)習(xí)模式，例如能夠以下述方式實(shí)現(xiàn)，即，從數(shù)據(jù)庫搜索基板信息，上述數(shù)據(jù)庫搜索結(jié)果，如不存在基板信息，則實(shí)施裸板的學(xué)習(xí)，接著，完成上述裸板的學(xué)習(xí)，算出裸板的焊盤及布線信息等基板信息，將上述基板信息存儲到上述數(shù)據(jù)庫。即，在上述學(xué)習(xí)模式中，通過學(xué)習(xí)印刷電路板的裸板，獲得印刷電路板的設(shè)計(jì)基準(zhǔn)信息，通過上述學(xué)習(xí)模式獲得學(xué)習(xí)信息，從而獲得上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI )。
[0046]然后，按顏色獲得上述測定區(qū)域(FOV)相關(guān)測定數(shù)據(jù)(PI) S130。
[0047]上述測定數(shù)據(jù)(PI )，例如能夠是如圖3所示的以三維形狀測定裝置等檢查裝備對相應(yīng)于上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)的上述基板進(jìn)行實(shí)際拍攝的圖形。上述測定數(shù)據(jù)(PI)與如圖2所示的上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)相似，但由于上述基板100的彎曲、扭曲等，相比于上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI )，多少有所變形。
[0048]作為一個(gè)實(shí)施例，上述測定數(shù)據(jù)(PI)利用上述檢查裝備的照明部，將光照射于上述測定區(qū)域(F0V)，利用安裝于上述檢查裝備的攝像頭對上述照射的光的反射圖形進(jìn)行拍攝而獲得。
[0049]作為一個(gè)實(shí)施例，上述顏色能夠包含相互不同的第一顏色、第二顏色及第三顏色。即，上述照明部能夠包含生成上述第一顏色的光的第一照明源、生成上述第二顏色的光的第二照明源以及生成上述第三顏色的光的第三照明源。由此，上述第一顏色、上述第二顏色及上述第三顏色通過上述檢查裝備的照明部直接獲得。例如，上述第一顏色、上述第二顏色及上述第三顏色能夠分別是紅色(red)、綠色(Green)及藍(lán)色(Blue)。
[0050]還能夠獲得根據(jù)不同于上述第一顏色、上述第二顏色及上述第三顏色的顏色的測定數(shù)據(jù)(PI)。例如，上述顏色還能夠進(jìn)一步包含組合上述第一顏色及上述第二顏色的第四顏色、組合上述第一顏色及上述第三顏色的第五顏色、組合上述第二顏色及上述第三顏色的第六顏色、組合上述第一顏色、上述第二顏色及上述第三顏色的第七顏色中的至少一種顏色。上述組合的顏色能夠通過組合根據(jù)上述第一顏色、上述第二顏色及上述第三顏色的測定數(shù)據(jù)(PI)而生成。例如，上述第四顏色、上述第五顏色、上述第六顏色及上述第七顏色能夠分別是黃色(Yellow)、紫紅色(Magenta)、藍(lán)綠色(Cyan)及白色(White)。
[0051]如上所述，上述測定數(shù)據(jù)(PI)是按顏色獲得的，因此，按照上述顏色的數(shù)量，獲得相互不同的測定數(shù)據(jù)。
[0052]接著，比較針對上述測定區(qū)域(FOV)所獲得的上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)及上述各顏色的測定數(shù)據(jù)(PI)，設(shè)定照明條件S140，針對上述測定區(qū)域，設(shè)定特征對象S150。
[0053]上述照明條件的設(shè)定S140能夠在上述特征對象的設(shè)定S150之前或之后執(zhí)行。
[0054]圖4是表示設(shè)定圖1的照明條件的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。
[0055]參照圖4，為了設(shè)定照明條件，首先，在上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)內(nèi)，設(shè)定包含導(dǎo)電圖形的基準(zhǔn)蒙片(mask)區(qū)域及不包含上述導(dǎo)電圖形的基準(zhǔn)無蒙片(no mask)區(qū)域S142。
[0056]上述導(dǎo)電圖形，例如包含電路圖形、孔(ho I e )圖形等，具有對應(yīng)于或包含于特征對象的形狀。上述特征對象能夠用作獲得后述的上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)與上述測定數(shù)據(jù)(PI)之間的失真量或上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)與在上述基板上形成部件之后的測定數(shù)據(jù)之間的失真量的比較基準(zhǔn)。
[0057]上述特征對象能夠包含位于上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI )與上述測定數(shù)據(jù)內(nèi)的規(guī)定坐標(biāo)上的規(guī)定形狀的對象，能夠直接對應(yīng)上述導(dǎo)電圖形。例如，上述特征對象能夠包含形成于上述基板的孔圖形、彎曲電路圖形的邊角(Corner)部分等，通過以上述孔圖形的中心點(diǎn)的坐標(biāo)或彎曲電路圖形的邊角點(diǎn)的坐標(biāo)為準(zhǔn)，比較上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)與上述測定數(shù)據(jù)，從而能夠獲得后述的失真量。[0058]另外,上述特征對象能夠是以塊(Block)為單位的特征塊(feature block),以使包含規(guī)定的形狀，上述導(dǎo)電圖形能夠?qū)?yīng)上述特征塊內(nèi)的上述規(guī)定形狀。在這種情況下，以包含在上述特征塊內(nèi)的各種形狀的特征對象為準(zhǔn)，相互比較上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)與上述測定數(shù)據(jù)(PI)，從而能夠?qū)嵤┹^為正確的比較。
[0059]上述以塊為單位的多個(gè)特征塊的上述規(guī)定形狀，能夠具有可定義二維平面的二維分離裝置，以使消除因周邊的形狀導(dǎo)致的誤認(rèn)可能性。例如，上述特征塊內(nèi)能夠包含折線、四角形、圓形以及它們的組合等，直線無法定義二維平面，因此，無法包含在上述特征塊內(nèi)。
[0060]上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)，如圖2所示，能夠區(qū)分為存在特征對象的基準(zhǔn)蒙片區(qū)域(RM)與不存在特征對象的基準(zhǔn)無蒙片區(qū)域(RNM)。
[0061]在圖2中，存在上述特征對象的基準(zhǔn)蒙片區(qū)域(RM)表示為灰色、不存在上述特征對象的基準(zhǔn)無蒙片區(qū)域(RNM)表示為黑色進(jìn)行區(qū)分。上述區(qū)分能夠基于已設(shè)定的上述特征對象的類型等自動完成，也能夠由作業(yè)人員通過直接選擇而手動完成。
[0062]例如，上述基準(zhǔn)蒙片區(qū)域(RM)能夠?qū)?yīng)于構(gòu)成上述基板的信號線布線用基板層(signal layer),上述基準(zhǔn)無蒙片區(qū)域(RNM)能夠是除此以外的區(qū)域。
[0063]接著，在上述各顏色測定數(shù)據(jù)(PI)內(nèi)，設(shè)定測定蒙片區(qū)域(MM)及測定無蒙片區(qū)域(MNM) S144。上述測定蒙片區(qū)域(MM)對應(yīng)于上述基準(zhǔn)蒙片區(qū)域(RM)，上述測定無蒙片區(qū)域(MNM)對應(yīng)于上述基準(zhǔn)無蒙片區(qū)域(RNM)。
[0064]作為一個(gè)實(shí)施例，如圖3所示，能夠?qū)⑸鲜龈黝伾珳y定數(shù)據(jù)(PI)分別區(qū)分為上述測定蒙片區(qū)域(MM)及上述測定無蒙片區(qū)域(MNM)。
[0065]然后，將增大上述測定蒙片區(qū)域(麗)及上述測定無蒙片區(qū)域(MNM)之間的灰度(gray scale)之差的照明設(shè)定為上述照明條件S146。
[0066]上述特征對象用作獲得上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)與上述測定數(shù)據(jù)(PI)的變換關(guān)系的比較標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)正確地特定在上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)與上述測定數(shù)據(jù)(PI)。在對應(yīng)于上述特征對象的區(qū)域與鄰接上述特征對象并且不對應(yīng)于上述特征對象的區(qū)域之間的區(qū)別明確的情況下，正確的特定很容易。因此，關(guān)鍵在于查找對應(yīng)于上述特征對象的區(qū)域與不對應(yīng)于上述特征對象的區(qū)域之間的區(qū)別明確的照明條件。
[0067]例如，在上述按顏色獲得的測定數(shù)據(jù)(PI)中，查找能夠增大上述測定蒙片區(qū)域(MM)及上述測定無蒙片區(qū)域(MNM)之間的灰度之差的照明，將其設(shè)定為上述照明條件。
[0068]作為一個(gè)實(shí)施例，上述灰度差異能夠由存在于上述測定區(qū)域(FOV)內(nèi)的上述測定蒙片區(qū)域(MM)的灰度的代表值以及存在于上述測定區(qū)域(FOV)內(nèi)的上述測定無蒙片區(qū)域(MNM)的灰度的代表值之間的差異所定義。例如，上述代表值能夠包含平均值、中間值、眾數(shù)值等。
[0069]作為再一個(gè)實(shí)施例，在上述特征對象為以塊為單位的特征塊的情況下，上述灰度之差能夠由存在于上述特征塊內(nèi)的上述測定蒙片區(qū)域的灰度的代表值及存在于上述特征塊內(nèi)的上述測定無蒙片區(qū)域的灰度的代表值之差所定義。例如，上述代表值能夠包含平均值、中間值、眾數(shù)值等。
[0070]在這種情況下，上述特征對象能夠在設(shè)定上述照明條件的步驟S140之前預(yù)先設(shè)定。
[0071]圖5是表示用于說明增加圖4的灰度之差的照明查找過程的一個(gè)實(shí)施例的圖表。[0072]參照圖5，在上述按顏色獲得的測定數(shù)據(jù)(PI)中，上述測定蒙片區(qū)域(MM)的灰度與上述測定無蒙片區(qū)域(MNM)的灰度以直方圖(histogram)形式顯示。
[0073]在上述直方圖中，表示了兩個(gè)向上凸起的形態(tài)，上述測定無蒙片區(qū)域(MNM)相當(dāng)于左側(cè)，上述測定蒙片區(qū)域(MM)相當(dāng)于右側(cè)。
[0074]例如，上述測定無蒙片區(qū)域(MNM)的灰度的代表值能夠是第一眾數(shù)值(Maxl)，上述測定蒙片區(qū)域(MM)的灰度的代表值能夠是第二眾數(shù)值(Max2)。當(dāng)然，上述測定無蒙片區(qū)域(MNM)的灰度的代表值與上述測定蒙片區(qū)域(MM)的灰度的代表值能夠是平均值、中間值
坐寸ο
[0075]接著，比較對應(yīng)于上述特征對象的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與對應(yīng)于根據(jù)上述已設(shè)定照明條件的上述特征對象的測定數(shù)據(jù)，獲得上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與上述測定數(shù)據(jù)之間的失真量S160。
[0076]上述失真量能夠由對應(yīng)于上述比較用塊的上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)及上述測定數(shù)據(jù)(PI)之間的定量化的轉(zhuǎn)換公式獲得。
[0077]上述測定數(shù)據(jù)(PI)因上述基板的彎曲、扭曲等，相比于相當(dāng)于理論基準(zhǔn)信息的上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)有所變形，但上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)及上述測定數(shù)據(jù)(PI)之間的關(guān)系能夠由根據(jù)上述失真量定義的轉(zhuǎn)換公式而定義。
[0078]上述定量化的轉(zhuǎn)換公式能夠利用通過比較上述比較用塊相關(guān)上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)及上述測定數(shù)據(jù)(PI)而獲得的位置變化、傾斜度變化、大小變化及變形度中的至少一種以上被進(jìn)行定義。
[0079]另外，作為一例，上述轉(zhuǎn)換公式能夠由數(shù)學(xué)公式I表示。
[0080]數(shù)學(xué)公式I
[0081]PCADf (tm) = Preal
[0082]在上述數(shù)學(xué)公式I中，PCAD是根據(jù)計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)信息或格柏信息的目標(biāo)(Target)的坐標(biāo)，即，在上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)中的坐標(biāo)，f (tm)作為轉(zhuǎn)換矩陣(transfermatrix)，相當(dāng)于上述轉(zhuǎn)換公式，Preal是通過攝像頭獲得的在上述測定數(shù)據(jù)(PI)中的上述目標(biāo)的坐標(biāo)。求出在上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)中的理論坐標(biāo)PCAD與在上述測定數(shù)據(jù)(PI)中的實(shí)際坐標(biāo)Preal，即可得知上述轉(zhuǎn)換矩陣。
[0083]例如，上述轉(zhuǎn)換矩陣能夠包括根據(jù)η維空間上的點(diǎn)對應(yīng)關(guān)系通過線性公式表現(xiàn)的仿射(affine)轉(zhuǎn)換或透視(perspective)轉(zhuǎn)換的坐標(biāo)轉(zhuǎn)換矩陣。為了定義坐標(biāo)轉(zhuǎn)換矩陣，能夠合理地設(shè)定上述特征對象的數(shù)量，作為一例，在仿射轉(zhuǎn)換的情況下，能夠設(shè)定3個(gè)以上的特征對象；在透視轉(zhuǎn)換的情況下，能夠設(shè)定4個(gè)以上的特征對象。
[0084]另外，上述測定數(shù)據(jù)(PI)，例如如圖3所示，能夠是在將部件裝配于上述基板之前測定的數(shù)據(jù)(或拍攝的圖形)，能夠是在將部件裝配于上述基板之后測定的數(shù)據(jù)(或拍攝的圖形)。
[0085]接著，補(bǔ)償上述失真量，設(shè)定上述測定區(qū)域內(nèi)的檢查區(qū)域S170。
[0086]上述失真量表示相比于上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(RI)的在上述測定數(shù)據(jù)(PI)中發(fā)生的變形的程度，當(dāng)對其進(jìn)行補(bǔ)償時(shí)，上述檢查區(qū)域能夠針對最初的測定區(qū)域(FOV)進(jìn)一步接近實(shí)際基板相關(guān)形狀。上述檢查區(qū)域的設(shè)定能夠針對上述測定區(qū)域(FOV)的全部或部分。
[0087]補(bǔ)償上述失真量并設(shè)定上述測定數(shù)據(jù)(PI)內(nèi)的檢查區(qū)域時(shí)，能夠更加準(zhǔn)確地檢查上述檢查區(qū)域內(nèi)的部件的不合格與否等。此時(shí)，上述測定數(shù)據(jù)(PI)為如圖3所示的在部件裝配之前測定的數(shù)據(jù)的情況下，另行獲得部件裝配后的測定數(shù)據(jù)并執(zhí)行檢查。另外，上述測定數(shù)據(jù)(PI)為在部件裝配之后測定的數(shù)據(jù)的情況下，利用這一數(shù)據(jù)執(zhí)行檢查。
[0088]然后，能夠選擇性地檢驗(yàn)上述已設(shè)定的檢查區(qū)域是否有效。此時(shí)，上述檢驗(yàn)?zāi)軌蛑苯討?yīng)用用于獲得上述失真量的特征對象或者另行應(yīng)用用于檢驗(yàn)的特征對象而執(zhí)行。
[0089]圖6是表示根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)實(shí)施例的檢查方法的流程圖。
[0090]參照圖6，根據(jù)本發(fā)明的再一個(gè)實(shí)施例，為了設(shè)定對失真進(jìn)行補(bǔ)償?shù)臋z查區(qū)域，首先在基板上設(shè)定測定區(qū)域S210。
[0091]本步驟與圖1的測定區(qū)域設(shè)定步驟SllO實(shí)質(zhì)上相同，因此，在此省略重復(fù)的相關(guān)詳細(xì)說明。
[0092]接著，針對上述測定區(qū)域，設(shè)定特征對象S220。
[0093]例如，本步驟實(shí)質(zhì)上能夠與圖1的特征對象設(shè)定步驟S150相同。
[0094]然后，針對上述測定區(qū)域，照射各自不同條件的照明S230。
[0095]例如，本步驟的照明條件的概念，實(shí)質(zhì)上能夠與在圖1至圖5中說明的照明條件的概念相同。
[0096]接著，根據(jù)上述各自不同條件的照明，獲得上述測定區(qū)域相關(guān)測定數(shù)據(jù)S240。
[0097]例如，本步驟的測定數(shù)據(jù)的概念，實(shí)質(zhì)上能夠與在圖1至圖5中說明的測定數(shù)據(jù)的概念相同，本步驟實(shí)質(zhì)上能夠與圖1的獲得測定數(shù)據(jù)的步驟S130相同。作為一個(gè)實(shí)施例，上述測定數(shù)據(jù)能夠通過將具有2種以上顏色的照明分別照射于上述測定區(qū)域，分別成像而獲得。
[0098]然后，利用上述各自不同條件的各顏色測定數(shù)據(jù)，設(shè)定照明條件S250。
[0099]例如，本步驟實(shí)質(zhì)上能夠與圖1的照明條件設(shè)定步驟S140相同，上述照明條件的設(shè)定能夠通過比較上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)及上述各自不同條件的各照明測定數(shù)據(jù)而完成。
[0100]接著，比較對應(yīng)于上述特征對象的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與根據(jù)上述已設(shè)定照明條件所獲得的上述特征對象的測定數(shù)據(jù)，獲得上述測定區(qū)域的失真量S260。
[0101]例如，本步驟實(shí)質(zhì)上能夠與圖1的獲得失真量的步驟S160相同。
[0102]然后，補(bǔ)償上述失真量，設(shè)定上述測定區(qū)域內(nèi)的檢查區(qū)域S270。
[0103]例如，本步驟實(shí)質(zhì)上能夠與圖1的設(shè)定檢查區(qū)域的步驟S170相同。
[0104]根據(jù)上述發(fā)明，通過利用按顏色獲得的測定區(qū)域(FOV)相關(guān)測定數(shù)據(jù)(PI)，設(shè)定能夠增加灰度差異的照明條件，能夠獲得用于獲取優(yōu)質(zhì)的特征對象的最優(yōu)化照明條件，由此能夠更加準(zhǔn)確地設(shè)定檢查區(qū)域。
[0105]并且，基于上述已設(shè)定的檢查區(qū)域，能夠執(zhí)行部件的不合格檢查等作業(yè)，能夠更加準(zhǔn)確地判斷上述基板的不合格與否等。
[0106]在如上所述的本發(fā)明的詳細(xì)說明中，參照了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了說明，但本領(lǐng)域從業(yè)人員或本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)能夠理解在不脫離根據(jù)權(quán)利要求書的本發(fā)明的思想及【技術(shù)領(lǐng)域】的范圍內(nèi)能夠?qū)Ρ景l(fā)明進(jìn)行各種修改及變更。因此，上述說明及附圖并不限定本發(fā)明的技術(shù)思想，而應(yīng)解釋為是對本發(fā)明的例示。
【權(quán)利要求】
1.一種檢查方法，其特征在于，包括: 在基板上設(shè)定測定區(qū)域的步驟； 針對上述測定區(qū)域，設(shè)定特征對象的步驟； 針對上述測定區(qū)域，照射各自不同條件的照明的步驟； 根據(jù)上述各自不同條件的照明，獲得上述測定區(qū)域相關(guān)測定數(shù)據(jù)的步驟； 利用上述各自不同條件的各照明的測定數(shù)據(jù)，設(shè)定照明條件的步驟； 比較對應(yīng)于上述特征對象的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與通過上述已設(shè)定照明條件所獲得的上述特征對象的測定數(shù)據(jù)，獲得上述測定區(qū)域的失真量的步驟；以及補(bǔ)償上述失真量，設(shè)定上述測定區(qū)域內(nèi)的檢查區(qū)域的步驟。
2.根據(jù)權(quán) 利要求1所述的檢查方法，其特征在于，在根據(jù)上述各自不同條件的照明而獲得上述測定區(qū)域相關(guān)測定數(shù)據(jù)的步驟中，將具有2種以上顏色的照明分別照射于上述測定區(qū)域，分別成像而獲得。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查方法，其特征在于，上述顏色包含相互不同的第一顏色、第二顏色及第三顏色。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查方法，其特征在于，上述顏色包含相互不同的第一顏色、第二顏色及第三顏色。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其特征在于，利用上述各自不同條件的各照明的測定數(shù)據(jù)而設(shè)定照明條件的步驟，包括: 在上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)內(nèi)，設(shè)定包含上述特征對象的基準(zhǔn)蒙片區(qū)域及不包含上述特征對象的基準(zhǔn)無蒙片區(qū)域的步驟； 在上述各自不同條件的各照明的測定數(shù)據(jù)內(nèi)，區(qū)分對應(yīng)于上述基準(zhǔn)蒙片區(qū)域的測定蒙片區(qū)域及對應(yīng)于上述基準(zhǔn)無蒙片區(qū)域的測定無蒙片區(qū)域的步驟；以及 以上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度為準(zhǔn)，設(shè)定上述照明條件的步驟。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查方法，其特征在于，上述基準(zhǔn)蒙片區(qū)域至少包括構(gòu)成上述基板的信號線布線用基板層。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查方法，其特征在于，在以上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度為準(zhǔn)設(shè)定上述照明條件的步驟中，將增加上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度之差的相應(yīng)條件的照明設(shè)定為上述照明條件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢查方法，其特征在于，上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度之差由上述測定蒙片區(qū)域的灰度的代表值與上述測定無蒙片區(qū)域的灰度的代表值之差所定義。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查方法，其特征在于，上述特征對象被設(shè)定為以塊為單位的特征塊，以使包含上述測定區(qū)域內(nèi)的規(guī)定形狀，針對上述測定區(qū)域而設(shè)定特征對象的步驟在利用上述各自不同條件的各照明的測定數(shù)據(jù)而設(shè)定照明條件的步驟之前執(zhí)行，上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度之差由存在于上述特征塊內(nèi)的上述測定蒙片區(qū)域的灰度的代表值與存在于上述特征塊內(nèi)的上述測定無蒙片區(qū)域的灰度的代表值之差所定義。
10.根據(jù)權(quán)利要求1及權(quán)利要求5的任一項(xiàng)所述的檢查方法，其特征在于，上述失真量通過上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與上述測定數(shù)據(jù)之間的定量化的轉(zhuǎn)換公式而獲得，上述定量化的轉(zhuǎn)換公式由通過比較上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與上述測定數(shù)據(jù)而獲得的位置變化、傾斜度變化、大小變化及變形度中的至少一種以上所定義。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其特征在于，上述特征對象被設(shè)定為以塊為單位的特征塊，以使包含上述測定區(qū)域內(nèi)的規(guī)定形狀，上述特征塊的上述規(guī)定形狀具有二維分離裝置，以使消除因周邊的形狀導(dǎo)致的誤認(rèn)可能性。
12.—種檢查方法，其特征在于，包括: 在基準(zhǔn)數(shù)據(jù)內(nèi)設(shè)定基準(zhǔn)蒙片區(qū)域及基準(zhǔn)無蒙片區(qū)域的步驟； 照射各自不同條件的照明，成像并獲得數(shù)據(jù)的步驟； 在上述已獲得數(shù)據(jù)中，區(qū)分對應(yīng)于上述基準(zhǔn)蒙片區(qū)域的測定蒙片區(qū)域及對應(yīng)于上述基準(zhǔn)無蒙片區(qū)域的測定無蒙片區(qū)域的步驟；以及 將增加上述測定蒙片區(qū)域及上述測定無蒙片區(qū)域之間的灰度之差的相應(yīng)條件的照明設(shè)定為照明條件的步驟。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的檢查方法，其特征在于，還包括: 利用上述已設(shè)定的照明條件，獲得基板上的測定區(qū)域內(nèi)的特征對象的數(shù)據(jù)的步驟； 比較對應(yīng)于上述特征對象的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與以上述已設(shè)定的照明條件所獲得的特征對象的數(shù)據(jù)，獲得測定區(qū)域的失真量的步驟；以及 補(bǔ)償上述失真量，設(shè)定上述測定區(qū)域內(nèi)的檢查區(qū)域的步驟。
【文檔編號】G01B11/24GK103649675SQ201280034275
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2012年7月13日 優(yōu)先權(quán)日:2011年7月13日
【發(fā)明者】趙秀龍 申請人:株式會社高永科技