專利名稱：帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法及其設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于傳感器檢測(cè)方法的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法及其設(shè)備。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有對(duì)帶有真空參考腔的傳感器的檢漏方法通常采用氦質(zhì)樸檢漏儀，受氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏精度的限制，產(chǎn)品的檢測(cè)準(zhǔn)確性較低，存在漏檢現(xiàn)象；只能單只產(chǎn)品檢測(cè)，檢測(cè)效率低。另外一種檢測(cè)方法是將帶有真空參考腔的傳感器進(jìn)行兩個(gè)月存放，比較存放前后傳感器的輸出周期變化，該方法檢測(cè)的準(zhǔn)確率高，但工藝周期長，需要存放2個(gè)月或更長時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決現(xiàn)有帶真空參考腔傳感器的檢漏方法檢測(cè)準(zhǔn)確性低、存在漏檢現(xiàn)象，或者只能對(duì)單只產(chǎn)品檢測(cè)、檢測(cè)效率低的問題。本發(fā)明采用如下的技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)
帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法，具體步驟如下
1)、對(duì)需檢測(cè)的產(chǎn)品進(jìn)行輸出信號(hào)測(cè)量；
2)、將多只產(chǎn)品裝入加壓容器內(nèi)，密封加壓容器，加壓容器預(yù)留管路和壓力儀表、壓力開關(guān)、氦氣來源及真空泵連接；
3)、利用壓力開關(guān)以及真空泵先將加壓容器內(nèi)的空氣抽空，加壓容器內(nèi)壓力低于50hPa ；
4)、切斷真空泵管路，連接氦氣來源管路，將氦氣充入加壓容器內(nèi)，壓力保持在產(chǎn)品的測(cè)量上限至1. 2倍的測(cè)量上限范圍內(nèi)；
5)、壓力保持100-360小時(shí)；
6)、排空加壓容器內(nèi)的氦氣，并多次充入空氣并排空，使產(chǎn)品內(nèi)部無氦氣殘留；
7)、在與步驟I)測(cè)量條件相同的條件下測(cè)量產(chǎn)品的輸出信號(hào)；
8)、將加壓前后的輸出信號(hào)進(jìn)行對(duì)比，差值趨于0，則真空腔不漏氣，否則為真空腔漏氣，通過計(jì)算確定真空腔的泄漏率。所述的氦氣來源可以置換為空氣來源，其步驟4)的壓力保持240-480小時(shí)。本發(fā)明所述的可檢測(cè)的產(chǎn)品不局限于傳感器，也可應(yīng)用于其他的帶真空參考腔的
女口
廣叩ο帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏設(shè)備，包括可放置若干待測(cè)產(chǎn)品的加壓容器，加壓容器上設(shè)置管路與氦氣來源或空氣來源、壓力儀表、壓力開關(guān)以及真空泵連接。所述的壓力開關(guān)為三通開關(guān)，三通開關(guān)的中間輸出端連接加壓容器和壓力儀表，三通開關(guān)的另外兩端分別連接真空泵以及氦氣來源或空氣來源。本發(fā)明與現(xiàn)有存放2個(gè)月時(shí)間檢測(cè)的方法相比，保留了對(duì)帶有真空參考腔的傳感器利用檢測(cè)傳感器輸出周期變化判斷泄漏狀態(tài)方法的準(zhǔn)確性，同時(shí)極大的縮短了檢測(cè)周期，對(duì)相同泄漏率的傳感器，氦氣加高壓法7-15天引起的傳感器輸出變化與2個(gè)月存放引起的傳感器輸出變化相同。本發(fā)明與采用氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏的方法，克服了現(xiàn)有檢漏方法受氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏精度的限制，產(chǎn)品的檢測(cè)準(zhǔn)確性較低，存在漏檢現(xiàn)象；本發(fā)明不存在漏檢現(xiàn)象，檢測(cè)準(zhǔn)確率高；另外克服了現(xiàn)有采用氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏的方法只能單只產(chǎn)品檢測(cè)，檢測(cè)效率低的問題；本發(fā)明可同時(shí)進(jìn)行無數(shù)產(chǎn)品的氦氣加壓(視產(chǎn)品大小和加壓罐的大小確定數(shù)量)，極大的提聞了生廣效率。本發(fā)明具有如下有益效果
1、保留了產(chǎn)品輸出信號(hào)比對(duì)的可靠性和準(zhǔn)確性，檢測(cè)準(zhǔn)確率高；
2、縮短了工藝周期，并可同時(shí)進(jìn)行無數(shù)只產(chǎn)品的氦氣加壓，極大的提高了生產(chǎn)效率，尤其適合于批量生產(chǎn)；
3、克服了氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏的不可靠性，提高了真空腔檢漏的準(zhǔn)確性和可靠性。


圖1為帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏設(shè)備的系統(tǒng)示意圖。
具體實(shí)施例方式帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏設(shè)備，包括可放置若干待測(cè)產(chǎn)品的加壓容器，加壓容器上設(shè)置管路與氦氣來源或空氣來源、壓力儀表、壓力開關(guān)以及真空泵連接。所述的壓力開關(guān)為三通開關(guān)，三通開關(guān)的中間輸出端連接加壓容器和壓力儀表，三通開關(guān)的另外兩端分別連接真空泵以及氦氣來源或空氣來源。另外加壓容器也可以分別與真空泵以及氦氣來源或空氣來源連接，通過各自的閥件控制。帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法，具體步驟如下
1)、對(duì)需檢測(cè)的產(chǎn)品進(jìn)行輸出信號(hào)測(cè)量；
2)、將多只產(chǎn)品裝入加壓容器內(nèi)，密封加壓容器，加壓容器預(yù)留管路和壓力儀表、壓力開關(guān)、氦氣來源及真空泵連接；
3)、利用壓力開關(guān)以及真空泵先將加壓容器內(nèi)的空氣抽空，加壓容器內(nèi)壓力低于50hPa ；
4)、切斷真空泵管路，連接氦氣來源管路，將氦氣充入加壓容器內(nèi)，壓力保持在產(chǎn)品的測(cè)量上限至1. 2倍的測(cè)量上限范圍內(nèi)；
5)、壓力保持100-360小時(shí)；
6)、排空加壓容器內(nèi)的氦氣，并多次充入空氣并排空，使產(chǎn)品內(nèi)部無氦氣殘留；
7)、在與步驟I)測(cè)量條件相同的條件下測(cè)量產(chǎn)品的輸出信號(hào)；
8)、將加壓前后的輸出信號(hào)進(jìn)行對(duì)比，差值趨于0，則真空腔不漏氣，否則為真空腔漏氣，通過計(jì)算確定真空腔的泄漏率。所述的氦氣來源可以置換為空氣來源，其步驟4)的壓力保持240-480小時(shí).
本發(fā)明準(zhǔn)確率高，通過傳感器輸出信號(hào)的變化能夠準(zhǔn)確的測(cè)量出真空腔是否存在泄漏現(xiàn)象，對(duì)于目前氦質(zhì)樸不能準(zhǔn)確檢出的微泄漏，本發(fā)明能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)出來。
本發(fā)明檢測(cè)時(shí)間短，對(duì)相同泄漏率的傳感器，氦氣加高壓法7天引起的傳感器輸出變化與2個(gè)月存放引起的傳感器輸出變化相同。本發(fā)明效率高，可同時(shí)進(jìn)行無數(shù)產(chǎn)品的氦氣加壓(視產(chǎn)品大小和加壓罐的大小確定數(shù)量)，而氦質(zhì)樸檢漏只能單只產(chǎn)品進(jìn)行，極大地提高了生產(chǎn)效率。實(shí)施例對(duì)于振動(dòng)筒壓力傳感器實(shí)施真空腔檢漏的方法。1、試驗(yàn)?zāi)康?br> 高精度振動(dòng)筒傳感器是絕對(duì)壓力傳感器，其真空腔真空度的穩(wěn)定性是決定傳感器穩(wěn)定性的重要因素之一，因此在生產(chǎn)制造過程中要保證傳感器的真空腔不能有泄漏現(xiàn)象。目前在傳感器生產(chǎn)工藝中真空腔的密封性依靠2個(gè)月存放，測(cè)量存放前后傳感器周期變化量的考核方式檢查，此工序周期約70天，不利于生產(chǎn)效率的提高，同時(shí)2個(gè)月對(duì)真空腔泄漏率的考核也不夠充分。因此本項(xiàng)試驗(yàn)的目的是減少真空腔檢漏的時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，提高傳感器真空腔泄漏檢測(cè)的準(zhǔn)確率。2、試驗(yàn)原理
2.1、研究采用氦氣加高壓法(約3個(gè)大氣壓)給傳感器加壓，在保持一定時(shí)間后，測(cè)量傳感器加壓前和加壓后的周期變化，尋找加壓時(shí)間與2個(gè)月存放變化量值的對(duì)應(yīng)關(guān)系。2. 2、研究采用氦氣加高壓法(約3個(gè)大氣壓)給傳感器加壓，在保持一定時(shí)間后，用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏的方法。2. 3、研究采用空氣加高壓法(約3個(gè)大氣壓)給傳感器加壓，在保持一定時(shí)間后，測(cè)量傳感器加壓前和加壓后的周期變化，尋找加壓時(shí)間與2個(gè)月存放變化量值的對(duì)應(yīng)關(guān)系O3、試驗(yàn)方法
3.1、氦氣加高壓法檢測(cè)周期變化值
I)、對(duì)試驗(yàn)批的傳感器按照當(dāng)前工藝進(jìn)行2個(gè)月存儲(chǔ)，測(cè)量2個(gè)月前后的周期變化值；振動(dòng)筒傳感器的輸出信號(hào)為周期值，因此對(duì)周期信號(hào)進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量方法環(huán)境溫度60°C，被測(cè)壓力50mmHg、800mmHg，輸出信號(hào)周期,單位Ks。以下周期測(cè)試要求相同。2)、試驗(yàn)批的傳感器利用氣壓罐對(duì)傳感器施加3個(gè)大氣壓的氦氣保持7天，測(cè)試加壓前后傳感器的周期變化值；
3.2、氦氣加高壓法后用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏
在以上試驗(yàn)中對(duì)真空腔漏氣的傳感器用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏，考察檢漏效果。3. 3、空氣加高壓法檢測(cè)周期變化值
1)、對(duì)試驗(yàn)批的傳感器按照當(dāng)前工藝進(jìn)行2個(gè)月存儲(chǔ)，測(cè)量2個(gè)月前后的周期變化值；
2)、試驗(yàn)批的傳感器利用氣壓罐對(duì)傳感器施加3個(gè)大氣壓的壓力保持7天，測(cè)試加壓前后傳感器的周期變化值；
3.4、以上三種方法的比較
分析氦氣加高壓法檢測(cè)周期變化值和氦氣加高壓法用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏及空氣加高壓法檢測(cè)周期變化值的實(shí)施效果。4、試驗(yàn)結(jié)果
4.1、氦氣加高壓法檢測(cè)周期變化值
原工藝兩個(gè)月前后周期差值與氦氣加高壓法前后周期變化見表I。
表I
權(quán)利要求
1.一種帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法，其特征在于具體步驟如下 1)、對(duì)需檢測(cè)的產(chǎn)品進(jìn)行輸出信號(hào)測(cè)量； 2)、將多只產(chǎn)品裝入加壓容器內(nèi)，密封加壓容器，加壓容器預(yù)留管路和壓力儀表、壓力開關(guān)、氦氣來源及真空泵連接； 3)、利用壓力開關(guān)以及真空泵先將加壓容器內(nèi)的空氣抽空，加壓容器內(nèi)壓力低于50hPa ； 4)、切斷真空泵管路，連接氦氣來源管路，將氦氣充入加壓容器內(nèi)，壓力保持在產(chǎn)品的測(cè)量上限至1. 2倍的測(cè)量上限范圍內(nèi)； 5)、壓力保持100-360小時(shí)； 6)、排空加壓容器內(nèi)的氦氣，并多次充入空氣并排空，使產(chǎn)品內(nèi)部無氦氣殘留； 7)、在與步驟I)測(cè)量條件相同的條件下測(cè)量產(chǎn)品的輸出信號(hào)； 8)、將加壓前后的輸出信號(hào)進(jìn)行對(duì)比，差值趨于0，則真空腔不漏氣，否則為真空腔漏氣，通過計(jì)算確定真空腔的泄漏率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法，其特征在于所述的氦氣來源可以置換為空氣來源，其步驟4)的壓力保持240-480小時(shí)。
3.一種實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1或2所述的帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法的檢漏設(shè)備，其特征在于包括可放置若干待測(cè)產(chǎn)品的加壓容器，加壓容器上設(shè)置管路與氦氣來源或空氣來源、壓力儀表、壓力開關(guān)以及真空泵連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法的檢漏設(shè)備，其特征在于壓力開關(guān)為三通開關(guān)，三通開關(guān)的中間輸出端連接加壓容器和壓力儀表，三通開關(guān)的另外兩端分別連接真空泵以及氦氣來源或空氣來源。
全文摘要
本發(fā)明屬于傳感器檢測(cè)方法的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法及其設(shè)備，解決了現(xiàn)有帶真空參考腔傳感器的檢漏方法檢測(cè)準(zhǔn)確性低、存在漏檢現(xiàn)象，而且只能對(duì)單只產(chǎn)品檢測(cè)、檢測(cè)效率低的問題。檢漏方法，步驟為對(duì)需檢測(cè)的產(chǎn)品進(jìn)行輸出信號(hào)測(cè)量；將多只產(chǎn)品裝入加壓罐內(nèi)，密封加壓罐，將加壓罐內(nèi)的空氣抽空，充氦氣，壓力保持，排空氦氣，測(cè)量產(chǎn)品的輸出信號(hào)，將加壓前后的輸出信號(hào)進(jìn)行對(duì)比。設(shè)備包括可放置若干待測(cè)產(chǎn)品的加壓罐，加壓罐上設(shè)置管路與氦氣瓶、壓力儀表、壓力開關(guān)以及真空泵連接。本發(fā)明具有如下有益效果檢測(cè)準(zhǔn)確率高；縮短了工藝周期，適合于批量生產(chǎn)。
文檔編號(hào)G01M3/32GK103063381SQ20121057801
公開日2013年4月24日 申請(qǐng)日期2012年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月27日
發(fā)明者蘇莉芳, 張中飛 申請(qǐng)人:太原航空儀表有限公司