技術(shù)編號：5967404
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于傳感器檢測方法的，具體涉及一種帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法及其設(shè)備。背景技術(shù)現(xiàn)有對帶有真空參考腔的傳感器的檢漏方法通常采用氦質(zhì)樸檢漏儀，受氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏精度的限制，產(chǎn)品的檢測準(zhǔn)確性較低，存在漏檢現(xiàn)象；只能單只產(chǎn)品檢測，檢測效率低。另外一種檢測方法是將帶有真空參考腔的傳感器進(jìn)行兩個月存放，比較存放前后傳感器的輸出周期變化，該方法檢測的準(zhǔn)確率高，但工藝周期長，需要存放2個月或更長時間。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明為了解決現(xiàn)有帶真空參考腔傳感器的檢漏方法檢測...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。