專利名稱：傳感器裝置以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種傳感器裝置以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
已知一種例如專利文獻(xiàn)I所公開的這種傳感器單元(傳感器裝置)。專利文獻(xiàn)I所記載的傳感器單元具有固定部件(mounting member),其呈長方體形狀,且具有相互正交的三個面；傳感器元件(sensor devices),其分別被安裝在三個面上。當(dāng)將這種傳感器元件安裝在電路基板等上時，直接將傳感器元件安裝在電路基板上較為困難，從而通常以收納于由基座和蓋部件構(gòu)成的箱體中的狀態(tài)進(jìn)行安裝。但是，當(dāng)收
納在這種箱體中時，將存在傳感器元件大型化的問題。此外，當(dāng)傳感器元件以相對于箱體傾斜的方式而被固定時，傳感器元件的檢測軸將會傾斜，從而也存在檢測精度降低的問題。即，期望一種在實(shí)現(xiàn)小型化的同時，準(zhǔn)確地實(shí)施傳感器元件的定位的傳感器裝置。專利文獻(xiàn)I :美國專利第7040922號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠在實(shí)現(xiàn)小型化的同時，簡單且準(zhǔn)確地實(shí)施電子部件的定位的傳感器裝置以及電子設(shè)備。這種目的通過下述的本發(fā)明而實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明的傳感器裝置的特征在于，具有多個安裝基板，其上安裝有傳感器部件；基座，其對多個所述安裝基板中的每個進(jìn)行固定，當(dāng)將相互正交的三個軸設(shè)定為第一軸、第二軸以及第三軸時，所述基座包括基部，其具有沿著所述第一軸以及所述第二軸的第一固定面；突出部，其被設(shè)置在所述基部上，且具有沿著所述第一軸以及所述第三軸的第二固定面、和沿著所述第二軸以及所述第三軸的第三固定面中的至少一方，多個所述安裝基板分別被支承在所述第一固定面、所述第二固定面、或所述第三固定面上，所述傳感器部件的檢測軸相互交叉。由此，能夠提供可在實(shí)現(xiàn)小型化的同時，簡單且準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)電子部件的定位的傳
感器裝置。在本發(fā)明的傳感器裝置中，優(yōu)選為，所述突出部至少設(shè)置有一對，多個所述安裝基板中的至少一個通過一對所述突出部而被支承，并且以所述傳感器部件位于一對所述突出部之間的方式而被支承。由此，能夠?qū)χ辽僖粋€安裝基板進(jìn)行定位并將其穩(wěn)定地固定在基座上。 在本發(fā)明的傳感器裝置中，優(yōu)選為，所述基部在沿著所述第一軸以及所述第二軸的面上設(shè)置有凹部。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。在本發(fā)明的傳感器裝置中，優(yōu)選為，所述第一固定面被設(shè)置在所述凹部的邊緣處。由此，能夠?qū)惭b基板穩(wěn)定地固定在第一固定面上。
在本發(fā)明的傳感器裝置中，優(yōu)選為，被支承在所述第一固定面上的所述安裝基板，以所述傳感器部件的安裝面朝向所述凹部側(cè)的方式而被支承。由此，能夠?qū)鞲衅鞑考占{在凹部內(nèi)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的小型化。在本發(fā)明的傳感器裝置中，優(yōu)選為，在所述凹部中填充有填充劑。由此，能夠防止傳感器部件的非所愿的損壞等。在本發(fā)明的傳感器裝置中，優(yōu)選為，所述突出部位于所述第一固定面的上方，并且具有包含所述第一軸以及所述第二軸的第四固定面。由此，由于能夠在第三軸方向上重疊配置兩個安裝基板，因 此能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的小型化。在本發(fā)明的傳感器裝置中，優(yōu)選為，所述傳感器裝置包括模擬電路基板，其具有模擬電路；數(shù)字電路基板，其具有數(shù)字電路，在所述第一固定面和所述第四固定面中的一方上支承有所述1旲擬電路基板，而在另一方上支承有所述數(shù)字電路基板。由此，由于能夠較大程度地分隔模擬電路和數(shù)字電路，因此能夠抑制噪聲的傳遞。在本發(fā)明的傳感器裝置中，優(yōu)選為，多個所述安裝基板分別通過能夠折彎的連結(jié)部而被連接。由此，安裝基板的固定變得簡單。在本發(fā)明的傳感器裝置中，優(yōu)選為，所述傳感器部件為，角速度傳感器和加速度傳感器中的至少一方。由此，構(gòu)成能夠?qū)撬俣然蛘呒铀俣冗M(jìn)行檢測的傳感器裝置。本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在于，具備本發(fā)明的傳感器裝置。由此，能夠得到可靠性較高的電子設(shè)備。


圖I為表示本發(fā)明的傳感器裝置的優(yōu)選實(shí)施方式的立體圖。圖2為圖I所示的傳感器裝置所具有的安裝基板的展開圖。圖3為表示圖I所示的傳感器裝置所具備的角速度傳感器的一個示例的俯視圖。圖4為圖I所示的傳感器裝置所具有的基座的立體圖。圖5為圖4所不的基座的俯視圖。圖6為表示將安裝基板固定了在圖4所示的基座上的狀態(tài)的立體圖。圖7為表示搭載有本發(fā)明的傳感器裝置的電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)的一個示例的圖。
具體實(shí)施例方式下面，根據(jù)附圖所示的優(yōu)選實(shí)施方式而對本發(fā)明的傳感器裝置以及電子設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)說明。I.傳感器裝置圖I為表示本發(fā)明的傳感器裝置的優(yōu)選實(shí)施方式的立體圖，圖2為圖I所示的傳感器裝置所具有的安裝基板的展開圖，圖3為表示圖I所示的傳感器裝置所具有的角速度傳感器的一個示例的俯視圖，圖4為圖I所示的傳感器裝置所具有的基座的立體圖，圖5為圖4所不的基座的俯視圖，圖6為表不將安裝基板固定在了圖4所不的基座上的狀態(tài)的立體圖。另外，在以下，為了便于說明，將圖I中的上側(cè)設(shè)定為“上”，下側(cè)設(shè)定為“下”而進(jìn)行說明。此外，如圖I所示，將相互正交的三個軸設(shè)定為X軸(第一軸)、y軸(第二軸)以及Z軸(第三軸)。z軸為，與基座3的法線方向平行的軸，X軸為，在俯視觀察基座時，與基座中的相對置的一組邊的延伸方向平行的軸，y軸為，與基座中的相對置的另一組邊的延伸方向平行的軸。此外，將與X軸平行的方向設(shè)定為“X軸方向”，將與I軸平行的方向設(shè)定為“y軸方向”，并將與z軸平行的方向設(shè)定為“z軸方向”。此外，將由X軸和y軸形成的平面設(shè)定為“xy平面”，將由y軸和z軸形成的平面設(shè)定為“yz平面”，并將由z軸和x軸形成的平面設(shè)定為“χζ平面”。圖I所示的傳感器裝置I為，具備角速度傳感器711、712、713，且能夠?qū)@相互正交的X軸、y軸、Z軸的角速度進(jìn)行檢測的三軸陀螺傳感器裝置。這種傳感器裝置I便利性優(yōu)異，從而能夠理想地用于例如，運(yùn)動軌跡、運(yùn)動跟蹤、運(yùn)動控制器、PDR (步行者航位推算)
由
寸T O如圖I所示，這種傳感器裝置I具有安裝基板2，其上安裝有電子部件7 ;基座3，其對安裝基板2進(jìn)行支承；蓋部件8，其以覆蓋安裝基板2的方式而被固定在基座3上。另夕卜，圖I (b)為從圖I (a)中省略了蓋部件8的圖。以下，對上述各個部件依次進(jìn)行說明。安裝基板2安裝基板2為，將硬質(zhì)且不易變形的剛性基板、和軟質(zhì)且容易變形的具有撓性的柔性基板組合在一起的剛?cè)峄?。作為這種安裝基板2，例如可以采用，在柔性基板的兩側(cè)粘貼玻璃環(huán)氧樹脂基板等的硬質(zhì)層，并將該部分作為剛性基板來使用的基板等、公知的剛?cè)峄?。圖2 (a)為從一面?zhèn)扔^察處于展開了的狀態(tài)下的安裝基板2的俯視圖，圖2 (b)為從另一面?zhèn)扔^察處于展開了的狀態(tài)下的安裝基板2的俯視圖。如圖2所示，安裝基板2通過以相互隔開的方式而配置的第一剛性基板(安裝部)21、第二剛性基板(安裝部)22、第三剛性基板(安裝部)23、第四剛性基板(安裝部)24、第五剛性基板(安裝部)25，以及對這些基板進(jìn)行連結(jié)的柔性基板26而構(gòu)成。另外，在以下，為了便于說明，而將各個剛性基板21 25的、在圖2 (a)中所圖示的面稱為“表面?zhèn)劝惭b面”，在圖2 (b)中所圖示的面稱為“背面?zhèn)劝惭b面”。柔性基板26具有第一連結(jié)部261，其對第一剛性基板21和第二剛性基板22進(jìn)行連結(jié)；第二連結(jié)部262，其對第一剛性基板21和第三剛性基板23進(jìn)行連結(jié)；第三連結(jié)部263，其對第一剛性基板21和第四剛性基板24進(jìn)行連結(jié)；第四連結(jié)部264，其對第二剛性基板22和第五剛性基板25進(jìn)行連結(jié)。第一連結(jié)部261、第二連結(jié)部262、第三連結(jié)部263以及第四連結(jié)部264分別具有撓性，從而能夠簡單地實(shí)現(xiàn)朝向面方向的彎曲變形。此外，在第一剛性基板21的邊緣部(處于對角關(guān)系的兩個角部)上形成有孔21a、21b，在第二剛性基板22的邊緣部(處于對角關(guān)系的兩個角部)上形成有孔22a、22b，在第三剛性基板23的一個端部上形成有孔23a，在第四剛性基板24的一個端部上形成有孔24a，在第五剛性基板25的兩端部上形成有孔25a、25b。這些孔為，用于將第一至第五剛性基板21 25螺栓緊固而固定在基座3上的孔。安裝基板2能夠通過彎曲柔性基板26的各個連結(jié)部261 264，從而使剛性基板21 25彼此的姿態(tài)發(fā)生變化。具體而言，能夠通過以各個剛性基板21 25的表面?zhèn)劝惭b面211 251朝向內(nèi)側(cè)的方式來彎曲連結(jié)部261 264，從而使安裝基板2變形為相鄰接的剛性基板彼此正交的長方體狀。在該狀態(tài)下，第一剛性基板21構(gòu)成下表面，第二剛性基板22構(gòu)成上表面，第三剛性基板23、第四剛性基板24、第五剛性基板25構(gòu)成側(cè)面。安裝基板2在以此種方式發(fā)生變形的狀態(tài)下被固定在基座3上。以此種方式，由于通過由剛?cè)峄鍢?gòu)成安裝基板2，從而能夠容易地使安裝基板2發(fā)生變形，因此安裝基板2向基座3的固定變得簡單。此外，由于通過連結(jié)部261 264而將各個剛性基板21 25連結(jié)在一起，因此在這一點(diǎn)上，也能夠簡單且順利地實(shí)施安裝基板2向基座3的固定。此外，由于具備多個剛性基板，從而增加了電子部件7的配置的自由度。此外，通過將電子部件7安裝在硬質(zhì)的剛性基板上，從而能夠抑制電子部件7 (尤其是，角速度傳感器711 713)的不必要的振動，進(jìn)而提高傳感器裝置I的檢測精度。此夕卜，易于將電子部件7安裝在安裝基板2上。此外，易于取得電子部件7的平行度，尤其是，能夠簡單地將角速度傳感器711 713設(shè)定為所需的姿態(tài)，并維持該姿態(tài)。此外，也能夠?qū)?br> 電子部件7進(jìn)行高密度安裝。此處，在本實(shí)施方式中，第一剛性基板21具有在其邊緣(外周)開放的第一缺損部21c、第二缺損部21d、第三缺損部21e。第一缺損部21c通過對第一剛性基板21的圖2Ca)中右側(cè)的邊付與高低差而形成，并且第一連結(jié)部261從該第一缺損部21c延伸出。此夕卜，第二缺損部21d通過對第一剛性基板21的圖2 Ca)中上側(cè)的邊付與高低差而形成，并且第二連結(jié)部262從該第二缺損部21d延伸出。此外，第三缺損部21e通過對第一剛性基板21的圖2 Ca)中左側(cè)的邊付與高低差而形成，并且第三連結(jié)部263從該第三缺損部21e延伸出。通過在第一剛性基板21上形成第一缺損部21c，從而能夠簡單地使第一連結(jié)部261在與第一剛性基板21的連接部附近(更靠第一剛性基板21側(cè))發(fā)生彎曲變形，此外，能夠?qū)l(fā)生彎曲變形時的曲率半徑保持得比較大。此外，抑制了第一連結(jié)部261的過度的突出，從而能夠?qū)崿F(xiàn)傳感器裝置I的小型化。關(guān)于第二缺損部21d以及第三缺損部21e，也可得到相同的效果。此外，在本實(shí)施方式中，第二剛性基板22具有在其邊緣(外周)開放的第四缺損部22c和第五缺損部22d。第四缺損部22c通過對第二剛性基板22的圖2 Ca)中左側(cè)的邊付與高低差而形成，并且第一連結(jié)部261從該第四缺損部22c延伸出。同樣地，第五缺損部22d通過對第二剛性基板22的圖2 (a)中下側(cè)的邊付與高低差而形成，并且第四連結(jié)部264從該第五缺損部22d延伸出。通過在第二剛性基板22上形成第四缺損部22c，從而能夠簡單地使第一連結(jié)部261在與第二剛性基板22的連接部附近(更靠第二剛性基板22側(cè))發(fā)生彎曲變形，此外，能夠?qū)l(fā)生彎曲變形時的曲率半徑保持得比較大。此外，抑制了折彎的部分自第二剛性基板22的外周的過度的突出，從而能夠?qū)崿F(xiàn)傳感器裝置I的小型化。關(guān)于第五缺損部22d，也可得到相同的效果。以上，對安裝基板2進(jìn)行了說明。另外，在安裝基板2的各個剛性基板21 25以及柔性基板26上形成有未圖示的導(dǎo)體圖案，多個電子部件7經(jīng)由該導(dǎo)體圖形而適當(dāng)?shù)乇浑娺B接。
此外，在安裝基板2上形成有未圖示的接地層，該接地層發(fā)揮阻斷外部磁場的功能。因此，在被固定于基座3上的狀態(tài)下，對于與安裝基板2相比位于內(nèi)側(cè)的電子部件7(即，被安裝在表面?zhèn)劝惭b面211 251上的電子部件7)而言，能夠排除由于來自傳感器裝置I的外部的外部磁場(外來噪聲)而產(chǎn)生的影響。電子部件7如圖2 (a)、(b)所示，在安裝基板2上安裝有多個電子部件7。在安裝基板2上，作為電子部件7而安裝有單軸檢測型的三個角速度傳感器(傳感器部件)711 713 ;三軸檢測型的加速度傳感器(傳感器部件)72 ;電源電路73，其用于對各種電子部件進(jìn)行驅(qū)動；放大電路74，其對來自所述傳感器部件(711 713、72)的輸出信號進(jìn)行放大；模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路75，其將通過放大電路74而被放大的模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號；微控制器76，其實(shí)施所需的控制；EEPR0M (電可擦可編程只讀存儲器)等非易失性存儲器77 ;方位傳感器(磁傳感器)78，其對方位進(jìn)行檢測；連接器(接口連接器)79，其用
于對信號進(jìn)行輸出。另外，作為進(jìn)行安裝的電子部件7，并不限定于此，只需適當(dāng)安裝對應(yīng)于其目的的部件即可。以下，對這些電子部件7的配置進(jìn)行詳細(xì)說明。第一剛性基板21在第一剛性基板21的表面?zhèn)劝惭b面211上安裝有電源電路73、放大電路74以及模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路75，而在背面?zhèn)劝惭b面212上安裝有角速度傳感器713和加速度傳感器72。模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路75相對于被安裝在表面?zhèn)劝惭b面211上的其他電子部件7(電源電路73以及放大電路74)而言，尺寸較大。因此，優(yōu)選為，將模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路75配置在表面?zhèn)劝惭b面211的中央部處。由此，能夠有效地將模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路75用作對第一剛性基板21的強(qiáng)度進(jìn)行加強(qiáng)的加強(qiáng)部件。因此，抑制了因第一剛性基板21的撓曲變形而產(chǎn)生的非所愿的振動，從而不必要的振動不會被傳遞至角速度傳感器711 713，由此提高了角速度傳感器711 713(尤其是被安裝在第一剛性基板21上的角速度傳感器713)對角速度的檢測精度。此外，角速度傳感器713和加速度傳感器72優(yōu)選配置在背面?zhèn)劝惭b面212的角部附近。如后文所述，第一剛性基板21通過粘合劑而將四角固定在基座3上。因此，第一剛性基板21的角部不易發(fā)生變形，從而不易產(chǎn)生不必要的振動。因此，通過將角速度傳感器713和加速度傳感器72配置在這種位置處，從而能夠更高精度地對角速度和加速度進(jìn)行檢測。此外，通過將角速度傳感器713和加速度傳感器72安裝在背面?zhèn)劝惭b面212上，從而能夠在安裝基板2被固定于基座3上的狀態(tài)下，進(jìn)一步隔開與微控制器76之間的距離。此外，能夠使第一剛性基板21的所述接地層位于角速度傳感器713以及加速度傳感器72、與微控制器76之間。因此，能夠防止由微控制器76產(chǎn)生的放射噪聲對角速度傳感器713以及加速度傳感器72造成的負(fù)面影響，從而能夠提高角速度傳感器713以及加速度傳感器72的檢測精度。第二剛性基板22在第二剛性基板22的表面?zhèn)劝惭b面221上安裝有微控制器76，而在背面?zhèn)劝惭b面222上安裝有非易失性存儲器77以及方位傳感器78。微控制器76相對于被安裝在第二剛性基板22上的其他電子部件7 (非易失性存儲器77以及方位傳感器78)而言，尺寸較大。因此，優(yōu)選為，將微控制器76配置在表面?zhèn)劝惭b面221的中央部處。由此，能夠有效地將微控制器76用作對第二剛性基板22的強(qiáng)度進(jìn)行加強(qiáng)的加強(qiáng)部件。因此，抑制了由第二剛性基板22的撓曲變形而產(chǎn)生的不必要的振動，從而不必要的振動不會被傳遞至角速度傳感器711 713，由此提高角速度傳感器711 713對角速度的檢測精度。此外，由于通過將方位傳感器78安裝在與微控制器76相反的安裝面上，從而能夠通過第二剛性基板22的所述接地層而阻斷由微控制器76產(chǎn)生的放射噪聲，因此能夠有效地防止放射噪聲(磁場)到達(dá)方位傳感器78，而對方位傳感器78造成負(fù)面影響的情況·。因此，能夠提高方位傳感器78的檢測精度。第三剛性基板23在第三剛性基板23的表面?zhèn)劝惭b面231上安裝有角速度傳感器711。第四剛性基板24在第四剛性基板24的表面?zhèn)劝惭b面241上安裝有角速度傳感器712。第五剛性基板25在第五剛性基板25的背面?zhèn)劝惭b面252上安裝有連接器79。以上，對電子部件7的配置進(jìn)行了詳細(xì)說明。在安裝基板2中，在第一剛性基板21上形成有通過電源電路73、放大電路74、模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路75等而構(gòu)成的模擬電路，而在第二剛性基板22上形成有通過微控制器76以及非易失性存儲器77等而構(gòu)成的數(shù)字電路。以此種方式，通過設(shè)置作為模擬電路基板的第一剛性基板和作為數(shù)字電路基板的第二剛性基板，而將模擬電路和數(shù)字電路分別形成在不同的剛性基板上，從而能夠有效地抑制噪聲的產(chǎn)生以及傳遞，由此進(jìn)一步提高傳感器裝置I的檢測精度。作為角速度傳感器711 713，只要能夠?qū)撬俣冗M(jìn)行檢測，則沒有特別地被限定，能夠使用公知的單軸檢測型的角速度傳感器。作為這種角速度傳感器711 713，能夠使用例如具有圖3所示的振動片5的傳感器。振動片5由水晶(壓電材料)構(gòu)成。此外,振動片5具有基部51 對檢測用振動臂52、53，其從基部51的兩側(cè)向紙面縱向延伸；一對連結(jié)臂54、55，其從基部51的兩側(cè)向紙面橫向延伸；各一對驅(qū)動用振動臂56、57、58、59,其從各個連結(jié)臂54、55的頂端部的兩側(cè)向紙面縱向延伸。此外，在各個檢測用振動臂52、53的表面上形成有檢測用電極(未圖示)，在驅(qū)動用振動臂56、57、58、59的表面上形成有驅(qū)動用電極(未圖示)。在這種振動片5中，當(dāng)在通過對驅(qū)動用電極施加電壓，從而以反復(fù)相互接近、遠(yuǎn)離的方式而使驅(qū)動用振動臂56、58以及驅(qū)動用振動臂57、59振動的狀態(tài)下，施加繞振動片5的法線A (檢測軸A)的角速度ω時,將向振動片5施加科里奧利力(Coriolis force),從而檢測用振動臂52、53的振動被激勵。并且，通過用檢測用電極對因檢測用振動臂52、53的振動而產(chǎn)生的檢測用振動臂52、53的變形進(jìn)行檢測，從而能夠求出施加于振動片5的角速度。以上這種結(jié)構(gòu)的角速度傳感器711 713分別以將厚度方向設(shè)定為檢測軸的方式而被安裝在相對應(yīng)的剛性基板上。基座3如圖4、圖5以及圖6所示，基座3具有板狀的基部31、被設(shè)置在基部31上的第一支承部32、第二支承部33、第三支承部34、第四支承部35以及第五支承部36。以下，雖然根據(jù)圖4 圖6來對基座3進(jìn)行說明，但在圖6中，為了便于說明，而省略了一部分部件的圖示。基部

基部31以z軸方向為厚度方向，且具有與由X軸和y軸形成的xy平面平行的下表面以及上表面312。此外，基部31具有在上表面312上開放的凹部313。凹部313在除上表面312的邊緣部以外的中央部處開放，而在基部31的側(cè)面處不開放。S卩，凹部313形成周圍通過側(cè)壁而被包圍的槽狀。這種凹部313作為在將安裝基板2固定在了基座3上的狀態(tài)下，對被安裝在第一剛性基板21的背面?zhèn)劝惭b面212上的角速度傳感器713以及加速度傳感器72進(jìn)行收納的收納部而發(fā)揮功能。換言之，凹部313構(gòu)成用于防止基座3與角速度傳感器713以及加速度傳感器72之間的接觸的避讓部。通過形成這種凹部313，從而能夠有效利用基座3的空間，由此能夠?qū)崿F(xiàn)傳感器裝置I的小型化(薄型化、扁平化)。第一支承部如圖5所示，第一支承部32具有被設(shè)置在凹部313的周圍的四個固定面321、322、323,3240四個固定面321 324為如下的面，S卩，用于實(shí)施第一剛性基板21相對于基座3的定位，且將第一剛性基板21固定在基座3上的面。具體而言，固定面321 324具有如下功能，即，以使角速度傳感器713的檢測軸與ζ軸平行的方式，而相對于基座3對第一剛性基板21進(jìn)行定位并固定的功能。固定面(第一固定面)321 324以與第一剛性基板21的四角相對應(yīng)的方式，而被形成在凹部313的周圍。這種固定面321 324分別由上表面312構(gòu)成。以此種方式，通過將上表面312作為固定面321 324來利用，從而能夠簡單且高精度地形成第一支承部32。由于固定面321 324相互位于與xy平面平行的同一平面上，因此如圖6所示，當(dāng)將第一剛性基板21載置于固定面321 324上時，角速度傳感器713的檢測軸Al將與z軸平行。以此種方式，僅通過將第一剛性基板21載置在固定面321 324上，便能夠簡單且高精度地實(shí)施角速度傳感器713相對于基座3的定位(檢測軸Al的軸對齊)。另外，雖然作為向固定面321 324固定第一剛性基板21的方法，并沒有特別地被限定，但在本實(shí)施方式中，并用了通過粘合劑實(shí)施的固定、和螺栓緊固。具體而言，首先，通過粘合劑而對各個固定面321 324和第一剛性基板21進(jìn)行固定。在該狀態(tài)下，由于被形成在第一剛性基板21上的孔21a、21b位于固定面321、323上，因此經(jīng)由孔21a、21b而將第一剛性基板21螺栓緊固在固定面321、322 (基部31)上。由此，能夠可靠地實(shí)施第一剛性基板21向第一支承部32的固定。此外，由于在基座3與第一剛性基板21之間存在粘合劑層，因此粘合劑吸收并緩和來自基座3的振動，從而抑制第一剛性基板21的不必要的振動。其結(jié)果為，進(jìn)一步提高了傳感器裝置I的檢測精度。另外，在凹部313內(nèi)填充有未圖示的填充劑，通過該填充劑，從而填補(bǔ)了基座3與第一剛性基板21之間的間隙。由此，第一剛性基板21 (角速度傳感器713、加速度傳感器72)、和從第一剛性基板21延伸出的連結(jié)部261、262、263被固定，從而能夠有效地防止在第一剛性基板21上產(chǎn)生不必要的振動的情況。因此，提高了傳感器裝置I的檢測精度。作為填充劑的構(gòu)成材料，優(yōu)選為具有絕緣性的材料。作為這種材料,并沒有特別地被限定，例如可以列舉出聚乙烯、聚丙烯、乙烯-丙烯共聚物等的聚烯烴；聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚碳酸酯、聚-(4-甲基戊烯-I)、離聚物、丙烯酸類樹脂、聚甲基丙烯酸甲酯、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS樹脂)、丙烯腈-苯乙烯共聚物(AS樹脂)、丁二烯-苯乙烯共聚物、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT)等的聚酯；聚醚、聚醚酮(PEK)、聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酰亞胺、聚甲醛(Ρ0Μ)、聚苯醚、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、聚芳酯、芳香族聚酯(液晶聚合物)、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯、其他氟類樹月旨、環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、脲醛樹脂、三聚氰胺樹脂、有機(jī)硅樹脂、聚氨酯等，或者以上述物質(zhì)
為主的共聚物、混合物、聚合物合金等，并且可以使用這些物質(zhì)中的一種、或?qū)煞N以上組合而使用。第二支承部如圖5所示，第二支承部33為如下部位，即，用于實(shí)施第三剛性基板23相對于基座3的定位，且將第三剛性基板23固定在基座3上的部位。具體而言，第二支承部33具有如下功能，即，以使角速度傳感器712的檢測軸與X軸平行的方式，而相對于基座3對第三剛性基板23進(jìn)行定位并固定的功能。這種第二支承部33具有一對突出部41、42，其從基部31的上表面突出，且在y軸方向上分隔設(shè)置；空間61，其被形成在所述突出部41、42之間。在突出部41、42上分別形成有面向基座3的外側(cè)，且與yz平面平行的面(第三固定面)411,421ο此外，這些面411、421相互位于同一平面上。而且，這種面411、421作為用于對第三剛性基板23進(jìn)行固定的固定面(以下，稱為“固定面411”以及“固定面421”)而發(fā)揮功能。由于固定面411、421相互位于與yz平面平行的同一平面上，因此如圖6所示，當(dāng)將固定面411、421固定在第三剛性基板23上時，角速度傳感器711的檢測軸將與X軸平行。即，僅通過將第三剛性基板23固定在固定面411、421上，便能夠簡單且高精度地實(shí)施角速度傳感器711相對于基座3的定位(檢測軸的軸對齊)。雖然作為向固定面411、421固定第三剛性基板23的方法，并沒有特別地被限定，但在本實(shí)施方式中，并用通過粘合劑實(shí)施的固定、和螺栓緊固。具體而言，首先，通過粘合劑而對各個固定面411、421與第三剛性基板23進(jìn)行固定。在該狀態(tài)下，由于被形成在第三剛性基板23上的孔23a位于固定面411上，因此經(jīng)由孔23a，而將第三剛性基板23螺栓緊固在突出部41上。由此，能夠可靠地實(shí)施第三剛性基板23向第二支承部33的固定。此外，由于在基座3和第三剛性基板23之間存在粘合劑層，因此粘合劑吸收并緩和來自基座3的振動，從而抑制第三剛性基板23的不必要的振動。其結(jié)果為，進(jìn)一步提高了傳感器裝置I的檢測精度。在第三剛性基板23被固定在固定面411、421上的狀態(tài)下，角速度傳感器711位于一對突出部41、42之間的空間61內(nèi)。因此，可以說空間61構(gòu)成了用于防止基座3與角速度傳感器711之間的接觸的避讓部(以下，稱為“避讓部61”)。通過形成這種避讓部61，從而能夠防止角速度傳感器711的損壞，并且能夠?qū)崿F(xiàn)傳感器裝置I的小型化。
此外，避讓部61與凹部313內(nèi)的空間相連接，凹部313具有在從xy平面觀察時，與固定面411、421相比向基座3的外周側(cè)突出的區(qū)域313a。通過形成這種結(jié)構(gòu),從而能夠?qū)⒌诙B結(jié)部262在不會發(fā)生過度的變形的條件下配置于避讓部61和區(qū)域313的內(nèi)側(cè)，所述第二連結(jié)部262對第一剛性基板21和第三剛性基板23進(jìn)行連結(jié)。因此，有效地防止了由于過度的變形而導(dǎo)致的安裝基板2的損壞，從而提高傳感器裝置I的可靠性。此外，在第三剛性基板23被固定在固定面411、421上的狀態(tài)下，角速度傳感器711位于第三剛性基板23的內(nèi)側(cè)。因此，抑制了例如在傳感器裝置I的制造時等，角速度傳感器711與作業(yè)者或制造設(shè)備等之間的接觸，從而能夠有效地防止角速度傳感器711的損壞。此外，如前文所述，由于能夠通過安裝基板2所具有的接地層而截斷 外部磁場，因此提高了角速度傳感器711的檢測精度。第三支承部第三支承部34為如下部位，即，用于實(shí)施第四剛性基板24相對于基座3的定位，且將第四剛性基板24固定在基座3上的部位。具體而言，第三支承部34具有如下功能，SP，以使角速度傳感器712的檢測軸與y軸平行的方式，而相對于基座3對第四剛性基板24進(jìn)行定位并固定的功能。這種第三支承部34具有一對突出部42、43，其從基部31的上表面突出，并在X軸方向上分隔設(shè)置；空間62，其被形成在所述突出部42、43之間。在突出部42、43上分別形成有面向基座3的外側(cè)、且與Xz平面平行的面(第二固定面)422,4310此外，這些面422、431相互位于同一平面上。而且，這種面422、431作為用于對第四剛性基板24進(jìn)行固定的固定面(以下，稱為“固定面422”以及“固定面431”)而發(fā)揮功能。由于固定面422、431相互位于與χζ平面平行的同一平面上，因此如圖6所示，當(dāng)將第四剛性基板24固定在固定面422、431上時，角速度傳感器712的檢測軸將與y軸平行。即，僅通過將第四剛性基板24固定在固定面422、431上，便能夠簡單且高精度地實(shí)現(xiàn)角速度傳感器712相對于基座3的定位(檢測軸的軸對齊)。雖然作為向固定面422、431固定第四剛性基板24的方法，并沒有特別地被限定，但在本實(shí)施方式中，并用通過粘合劑實(shí)施的固定、和螺栓緊固。具體而言，首先，通過粘合齊U，而對各個固定面422、431和第四剛性基板24進(jìn)行固定。在該狀態(tài)下，由于被形成在第四剛性基板24上的孔24a位于固定面422上，因此經(jīng)由孔24a，而將第四剛性基板24螺栓固定在突出部42上。由此，能夠可靠地實(shí)施第四剛性基板24向第三支承部34的固定。此夕卜，由于在基座3與第四剛性基板24之間存在粘合劑層，因此粘合劑吸收并緩和來自基座3的振動，從而抑制第四剛性基板24的不必要的振動。其結(jié)果為，進(jìn)一步提高了傳感器裝置I的檢測精度。在第四剛性基板24被固定在固定面422、431上的狀態(tài)下，角速度傳感器712位于一對突出部42、43之間的空間62內(nèi)。因此，可以說空間62構(gòu)成了用于防止基座3與角速度傳感器712之間的接觸的避讓部(以下，稱為“避讓部62”)。通過形成這種避讓部62，從而能夠防止角速度傳感器712的損壞，且實(shí)現(xiàn)傳感器裝置I的小型化。此外，避讓部62與凹部313內(nèi)的空間相連接，凹部313具有在從xy平面觀察時，與固定面422、431相比向基座3的外周側(cè)突出的區(qū)域313b。通過形成這種結(jié)構(gòu)，從而能夠?qū)⒌谌B結(jié)部263在不會發(fā)生過度的變形的條件下配置于避讓部62和區(qū)域313b的內(nèi)側(cè)，所述第三連結(jié)部263對第一剛性基板21和第四剛性基板24進(jìn)行連結(jié)。因此，有效地防止了由于過度的變形而導(dǎo)致的安裝基板2的損壞，從而提高了傳感器裝置I的可靠性。此外，在第四剛性基板24被固定在固定面422、431上的狀態(tài)下，角速度傳感器712位于第四剛性基板24的內(nèi)側(cè)。因此，抑制了例如在傳感器裝置I的制造時等，角速度傳感器712與作業(yè)者或制造設(shè)備等的接觸，從而能夠有效地防止角速度傳感器712的損壞。此夕卜，如前文所述，由于能夠通過安裝基板2所具有的接地層來阻斷外部磁場，因此提高了角速度傳感器712的檢測精度。第四支承部第四支承部35為如下部位，S卩，用于以在z軸方向上與第一剛性基板21對置的方式而將第二剛性基板22固定在基座3上的部位。通過以與第一剛性基板21重疊的方式而
對第二剛性基板22進(jìn)行固定，從而能夠?qū)崿F(xiàn)傳感器裝置I的小型化(尤其是，從xy平面觀察時的小型化)。另外，由于在第二剛性基板22上未安裝有如角速度傳感器711 713和加速度傳感器72這種物理量傳感器，因此對于第四支承部35，不要求如前文所述的第一至第三支承部32 34程度的、與定位相關(guān)的精密度。但是，從傳感器裝置I的小型化(薄型化、扁平化)的觀點(diǎn)出發(fā)，第四支承部35優(yōu)選被構(gòu)成為，以與第一剛性基板21平行的方式，對第二剛性基板22進(jìn)行支承并固定。這種第四支承部35具有從基部31的上表面突出的四個突出部41、42、43、44。突出部41 44位于與第二剛性基板22的四角相對應(yīng)的位置處。這四個突出部41、42、43、44的上表面413、423、433、443為與xy平面平行的面(第四固定面)，且相互位于同一平面上。而且，這四個上表面413 443作為用于對第二剛性基板22進(jìn)行固定的固定面(以下稱為“固定面413”、“固定面423”、“固定面433”以及“固定面443”)而發(fā)揮功能。由于固定面413 443相互位于與xy平面平行的同一平面上，因此如圖I所示，當(dāng)將第二剛性基板22固定在固定面413 443上時，第二剛性基板22將在z軸方向上與第一剛性基板21對置，且與xy平面平行。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)傳感器裝置I的小型化。雖然作為向固定面413 443固定第二剛性基板22的方法，并沒有特別地被限定，但在本實(shí)施方式中，并用通過粘合劑實(shí)施的固定、和螺栓緊固。具體而言，首先，通過粘合劑，而對各個固定面413 443和第二剛性基板22進(jìn)行固定。由于在該狀態(tài)下，被形成在第二剛性基板22上的孔22a、22b位于固定面413、433上，因此經(jīng)由孔22a、22b，而將第二剛性基板22螺栓緊固在突出部41、43上。由此，能夠可靠地實(shí)施第二剛性基板22向第四支承部35的固定。第五支承部第五支承部36為，用于對第五剛性基板25進(jìn)行固定的部位。另外，在第五剛性基板25上未安裝有如角速度傳感器711 713和加速度傳感器72這種物理量傳感器。因此，與前文所述的第四支承部35相同地，對于第五支承部36，不要求前文所述的第一至第三支承部32 34程度的、與定位相關(guān)的精密度。但是，從傳感器裝置I的小型化的觀點(diǎn)出發(fā)，第五支承部36優(yōu)選被構(gòu)成為，以與yz平面平行的方式而對第五剛性基板25進(jìn)行支承。這種第五支承部36具有從基部31的上表面突出的突出部45。突出部45被設(shè)置為隔著凹部313而與第二支承部33對置，且在J軸方向上延伸。在這種突出部45上形成有面向基座3的外側(cè)，且與yz平面平行的面451，該面451作為用于對第五剛性基板25進(jìn)行固定的固定面(以下，稱為“固定面451”)而發(fā)揮功能。如圖6所示，當(dāng)將第五剛性基板25固定在這種固定面451上時，第五剛性基板25將與yz平面平行。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)傳感器裝置I的小型化。雖然作為向固定面451固定第五剛性基板25的方法，并沒有特別地被限定，但在本實(shí)施方式中，并用通過粘合劑實(shí)施的固定、和螺栓緊固。具體而言，首先，通過粘合劑，而對固定面451和第五剛性基板25進(jìn)行固定。由于在該狀態(tài)下，被形成在第五剛性基板25上的孔25a、25b位于固定面451上，因此經(jīng)由孔25a、25b而將第五剛性基板25螺栓緊固在突出部45上。由此，能夠可靠地實(shí)施第五剛性基板25向支承部36的固定。以上，對第一至第五支承部32 36進(jìn)行了說明?；?還具有從基部31的兩個處于對角關(guān)系的角部突出的突出部46、47。突出部46與突出部41相比橫截面面積較大，且與突出部41 一體地形成。由此，提高了突出部41
的機(jī)械強(qiáng)度。另一方面，突出部47與突出部43相比橫截面面積較大，且與突出部43 —體地形成。由此，提高了突出部43的機(jī)械強(qiáng)度。并且，突出部47也與突出部44、45 —體地形成，由此，分別提高了突出部44、45的機(jī)械強(qiáng)度。如此，通過設(shè)置突出部46、47，從而能夠提高第一至第五支承部32 36所具有的各個突出部41 45的機(jī)械強(qiáng)度，由此能夠更加可靠地以所需的姿態(tài)而對安裝基板2進(jìn)行固定。雖然作為這種基座3的構(gòu)成材料，并沒有特別地被限定，但優(yōu)選為具有振動抑制特性的材料。由此，可抑制安裝基板2的不必要的振動，從而提高傳感器裝置I的檢測精度。作為這種材料，并沒有特別地被限定，例如可以列舉出鎂合金、鐵類合金、銅合金、錳合金、鎳-鈦類合金等各種振動抑制合金。根據(jù)這種基座3，僅通過將安裝基板2固定在預(yù)定位置，便能夠使角速度傳感器711、712、713的檢測軸與x軸、y軸、z軸各個軸平行。因此，可簡單地得到能夠發(fā)揮優(yōu)異的檢測精度的傳感器裝置I。此外，當(dāng)將傳感器裝置I安裝在母板等的電路基板(目標(biāo)物)上時，通過將基座3中的正交的兩個側(cè)面3a、3b作為基準(zhǔn)，從而能夠簡單地使角速度傳感器711、712的檢測軸朝向所需的方向。具體而言，側(cè)面3a為，與角速度傳感器712的檢測軸平行的面，側(cè)面3b為，與角速度傳感器711的檢測軸平行的面。因此，通過以這些側(cè)面3a、3b為基準(zhǔn)來實(shí)施相對于電路基板的定位，從而能夠簡單且可靠地使角速度傳感器711、712朝向所需的方向。蓋部件蓋部件8以覆蓋安裝基板2的方式而被固定在基座3上。由此，能夠?qū)﹄娮硬考?進(jìn)行保護(hù)。此外，在蓋部件8的側(cè)面上形成有開口，以在蓋部件8被固定在基座3上的狀態(tài)下，使連接器79從該開口露出于外部。由此，能夠容易地實(shí)施外部設(shè)備與連接器79之間的電連接?；?與蓋部件8的固定方法并沒有特別地被限定，能夠使用嵌合、螺合、通過粘合劑實(shí)施的接合。作為這種蓋部件8的構(gòu)成材料，并沒有特別地被限定，例如可以列舉出聚乙烯、聚丙烯、乙烯-丙烯共聚物等的聚烯烴；聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚碳酸酯、聚-(4-甲基戊烯-I)、離聚物、丙烯酸類樹脂、聚甲基丙烯酸甲酯、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS樹脂)、丙烯腈-苯乙烯共聚物(AS樹脂)、丁二烯-苯乙烯共聚物、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT)等的聚酯；聚醚、聚醚酮(PEK)、聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酰亞胺、聚甲醒(POM)、聚苯醚、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、聚芳酯、芳香族聚酯(液晶聚合物)、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯、其他氟類樹脂、環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、脲醛樹月旨、三聚氰胺樹脂、有機(jī)硅樹脂、聚氨酯等，或者以上述物質(zhì)為主的共聚物、混合物、聚合物合金等，并且，可以使用這些物質(zhì)中的一種、或?qū)煞N以上組合而使用。2.電子設(shè)備以上所述的傳感器裝置I能夠被組裝在各種電子設(shè)備中。以下，對搭載了傳感器裝置I的本發(fā)明的電子設(shè)備進(jìn)行說明。圖7為表示搭載了傳感器裝置I的電子設(shè)備500的結(jié)構(gòu)的一個示例的圖。作為電子設(shè)備500，并沒有特別地被限定，例如可以列舉出數(shù)碼照相機(jī)、攝像機(jī)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、移動電話、便攜式PC、機(jī)撲、游戲機(jī)、游戲控制器等 。圖7所示的電子設(shè)備500具有包括傳感器裝置I在內(nèi)的傳感器模塊510、處理部520、存儲器530、操作部540、顯示部550。這些構(gòu)件通過總線560而被連接。處理部(CPU(中央處理器)、MPU (微處理器)等)520實(shí)施對傳感器模塊510等的控制以及對電子設(shè)備500的整體控制。此外，處理部520根據(jù)由傳感器模塊510檢測出的角速度信息而實(shí)施處理。例如，根據(jù)角速度信息，實(shí)施用于手抖補(bǔ)正、姿態(tài)控制、GPS (全球定位系統(tǒng))自主導(dǎo)航等的處理。存儲器530對控制程序以及各種數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲，此外，作為工作區(qū)域和數(shù)據(jù)存儲區(qū)域而發(fā)揮功能。操作部540為，用于對電子設(shè)備500進(jìn)行操作的構(gòu)件。顯示部550為，向用戶顯示各種信息的構(gòu)件。雖然在以上，根據(jù)圖示的實(shí)施方式而對本發(fā)明的傳感器裝置以及電子設(shè)備進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，各個部分的結(jié)構(gòu)能夠替換為具有相同功能的任意結(jié)構(gòu)。此外，雖然在前文所述的實(shí)施方式中，對在安裝基板上安裝有三個角速度傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但角速度傳感器的數(shù)量并不限定于此，既可以為一個，也可以為兩個。此外，也可以根據(jù)角速度傳感器的數(shù)量而對剛性基板的數(shù)量進(jìn)行變更。此外，雖然在前文所述的實(shí)施方式中，安裝基板由剛?cè)峄鍢?gòu)成，但安裝基板的結(jié)構(gòu)并不限定于此，也可以由例如相互不連結(jié)的多個剛性基板構(gòu)成。此時，能夠在將各個剛性基板固定在基座上之后，使用連接器等而對剛性基板彼此進(jìn)行電連接。符號說明I…傳感器裝置；2…安裝基板；21…第一剛性基板；211…表面?zhèn)劝惭b面；212…背面?zhèn)劝惭b面；21a、21b…孔；21c…第一缺損部；21d…第二缺損部；21e…第三缺損部；22···第二剛性基板；221…表面?zhèn)劝惭b面；222…背面?zhèn)劝惭b面；22a、22b…孔；22c…第四缺損部；22d…第五缺損部；23…第三剛性基板；231…表面?zhèn)劝惭b面；23a…孔；24…第四剛性基板；241…表面?zhèn)劝惭b面；24a…孔；25…第五剛性基板；251…表面?zhèn)劝惭b面；252…背面?zhèn)劝惭b面；25a、25b…孔；26…柔性基板；261…第一連結(jié)部；262…第二連結(jié)部；263…第三連結(jié)部；264…第四連結(jié)部；3…基座；3a、3b…側(cè)面；31…基部；312…上表面；313…凹部；313a、313b…區(qū)域；32…第一支承部；321、322、323、324…固定面；33…第二支承部;34...第三支承部;35…第四支承部;36…第五支承部;41、42、43、44、45、46、47…突出部；411、413、421、422、423、431、433、443、451…固定面；5…振動片；51…基部；52、53…檢測用振動臂；54、55…連結(jié)臂；56、57、58、59…驅(qū)動用振動臂；61、62…空間；7…電子部件；711、712、713…角速度傳感器；72…加速度傳感器；73···電源電路；74···放大電路；75···模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換電路；76…微控制器；77···非易失性存儲器；78…方位傳感器；79···連接器；8…蓋部
件；500…電子設(shè)備；510…傳感器模塊；520…處理部；530…存儲器；540…操作部；550…顯示部；560…總線。
權(quán)利要求
1.一種傳感器裝置，其特征在于，具有 多個安裝基板，其上安裝有傳感器部件； 基座，其對多個所述安裝基板中的每個進(jìn)行固定， 當(dāng)將相互正交的三個軸設(shè)定為第一軸、第二軸以及第三軸時， 所述基座包括 基部，其具有沿著所述第一軸以及所述第二軸的第一固定面； 突出部，其被設(shè)置在所述基部上，且具有沿著所述第一軸以及所述第三軸的第二固定面、和沿著所述第二軸以及所述第三軸的第三固定面中的至少一方， 多個所述安裝基板中的每個被支承在所述第一固定面、所述第二固定面或所述第三固定面上， 所述傳感器部件的檢測軸相互交叉。
2.如權(quán)利要求I所述的傳感器裝置，其中， 所述突出部至少設(shè)置有一對， 多個所述安裝基板中的至少一個通過一對所述突出部而被支承，并且以所述傳感器部件位于一對所述突出部之間的方式而被支承。
3.如權(quán)利要求I所述的傳感器裝置，其中， 所述基部在沿著所述第一軸以及所述第二軸的面上設(shè)置有凹部。
4.如權(quán)利要求3所述的傳感器裝置，其中， 所述第一固定面被設(shè)置在所述凹部的邊緣處。
5.如權(quán)利要求3所述的傳感器裝置，其中， 被支承在所述第一固定面上的所述安裝基板，以所述傳感器部件的安裝面朝向所述凹部側(cè)的方式而被支承。
6.如權(quán)利要求3所述的傳感器裝置，其中， 在所述凹部中填充有填充劑。
7.如權(quán)利要求I所述的傳感器裝置，其中， 所述突出部位于所述第一固定面的上方，并且具有包含所述第一軸以及所述第二軸的第四固定面。
8.如權(quán)利要求7所述的傳感器裝置，其中， 所述傳感器裝置包括模擬電路基板，其具有模擬電路；數(shù)字電路基板，其具有數(shù)字電路， 在所述第一固定面和所述第四固定面中的一方上支承有所述模擬電路基板，而在另一方上支承有所述數(shù)字電路基板。
9.如權(quán)利要求I所述的傳感器裝置，其中， 多個所述安裝基板分別通過能夠折彎的連結(jié)部而被連接。
10.如權(quán)利要求I所述的傳感器裝置，其中， 所述傳感器部件為，角速度傳感器和加速度傳感器中的至少一方。
11.一種電子設(shè)備，其特征在于， 具備權(quán)利要求I所述的傳感器裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種傳感器裝置以及電子設(shè)備，其能夠?qū)崿F(xiàn)小型化，并簡單且準(zhǔn)確地實(shí)施電子部件的定位。傳感器裝置(1)具有安裝基板(2)，其具有安裝有角速度傳感器(711)的第一剛性基板(21)、和安裝有角速度傳感器(712)的第三剛性基板(23)；基座(3)，其對安裝基板(2)進(jìn)行固定。此外，基座(3)包括基部(31)，其具有沿著x軸以及y軸的第一固定面；突出部(41～44)，其被設(shè)置在基部(31)上，且具有沿著x軸以及z軸的第二固定面、和沿著y軸以及z軸的第三固定面中的至少一方，剛性基板(21、22、23)分別被支承在第一固定面、第二固定面或第三固定面上，角速度傳感器(711、712)的檢測軸相互交叉。
文檔編號G01P3/00GK102879597SQ20121023774
公開日2013年1月16日 申請日期2012年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月11日
發(fā)明者佐久間正泰, 小林祥宏, 北村昇二郎, 茅野岳人, 今井信行 申請人:精工愛普生株式會社