專利名稱：電路圖案檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能夠以非接觸的方式檢查形成在基板上的導(dǎo)電圖案的缺陷的電路圖案檢查裝置。
背景技術(shù)：
近年來，作為顯示裝置，在玻璃基板上使用液晶的液晶顯示裝置、或者利用等離子的等離子顯示裝置成為主流。在這些顯示裝置的制造工序中，對形成在玻璃基板上的成為電路配線的導(dǎo)電圖案進行有無斷路以及短路的缺陷檢查。作為導(dǎo)電圖案的檢查方法，在例如日本特開2004-191381號公報中，使至少2個檢查探針接近導(dǎo)體圖案，一邊在以非接觸方式與導(dǎo)體圖案電容耦合的狀態(tài)下移動，一邊從一個檢查探針施加交流檢查信號，而利用另一個檢查探針檢測傳輸于導(dǎo)體圖案中的交流檢查信號。通過檢測信號的波形變化，進行導(dǎo)電圖案中的有無斷路以及短路的檢查。使用以非接觸方式與上述的導(dǎo)體圖案電容耦合的檢查電極的檢查裝置中，由于與導(dǎo)電圖案相對向的檢查電極的分開距離越短，或者相對向面積越大，耦合電容就變得越大， 因此，傳輸時的損失變小，并且即使施加相同的檢查信號也能夠增大檢測信號的值。在檢查電極的分開距離中，在與導(dǎo)體圖案不接觸的范圍內(nèi)接近而被設(shè)定。其分開距離中，檢查對象的基板越大，基板自身的彎曲和扭曲就變得越大，因此，通過其程度而限制最小距離。因此，檢查電極，特別是將檢查用交流信號施加于導(dǎo)體圖案的供電電極中，由于相對向面積越大，施加于導(dǎo)體圖案的檢查信號就變得越大，因此，從傳感器電極得到的檢測信號也變大，能夠減少從外部混入的噪聲成分所產(chǎn)生的影響。但是，在增大供電電極的面積的情況下，出現(xiàn)與該供電電極相對向的導(dǎo)體圖案部分即使產(chǎn)生斷路等缺陷也不能適當(dāng)?shù)貦z測出的情況。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的實施方式提供一種電路圖案檢查裝置，其特征在于，包括檢查電極對，將多個導(dǎo)電圖案形成為列狀的基板作為檢查對象，具有對于所述導(dǎo)電圖案中的第一導(dǎo)電圖案，同時對向的第一供電電極以及第一傳感器電極；補充電極對，具有以夾持至少所述第一供電電極所對向的地方的部分的導(dǎo)電圖案的方式進行分開，而以在同一導(dǎo)電圖案上相對向的方式配置的第二供電電極以及第二傳感器電極；移動部，將所述檢查電極對與所述補充電極對一體地保持，在所述導(dǎo)電圖案的上方以一定的距離分開，而在與該導(dǎo)電圖案的列交叉的方向上移動；檢查信號供給部，在利用所述移動部進行的所述檢查電極對和所述補充電極對的移動中，對所述第一供電電極以及所述第二供電電極供給由交流信號構(gòu)成的檢查信號，并且使該檢查信號依次施加于所述第一供電電極以及所述第二供電電極對向而電容耦合的各個導(dǎo)電圖案上；以及缺陷判定部，將合并了分別與施加所述檢查信號的所述導(dǎo)電圖案電容耦合而通過所述第一傳感器電極取得的第一檢測信號、以及通過所述第二傳感器電極從包含所述第一供電電極所對向的地方的部分的導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電體圖案所取得的第二檢測信號的檢測信號，與事先規(guī)定的判定基準值進行比較而判斷有無缺陷。


圖I是示出具有本發(fā)明涉及的實施方式的補充電極的電路圖案檢查裝置的概略構(gòu)成的視圖。圖2是示出檢查電極和補充電極的概略構(gòu)成的視圖。圖3是示出電路圖案檢查裝置的檢測信號處理部的一構(gòu)成例的視圖。圖4是作為本發(fā)明涉及的變形例的電路圖案檢查裝置的檢查電極和補充電極的構(gòu)成例的視圖。
具體實施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行詳細說明。本發(fā)明的電路圖案檢查裝置在制造工序中檢測形成在例如玻璃制的基板上的多列導(dǎo)電圖案(配線圖案)成為不良原因的斷路和短路的缺陷。成為檢查對象的導(dǎo)電圖案為用于例如液晶顯示面板和觸摸式面板等中的電路配線，為以平行配列電分離成多列的導(dǎo)電圖案，或者為全部導(dǎo)電圖案的一端側(cè)通過短路棒連接的櫛齒狀的導(dǎo)電圖案。并且，形成于基板上的各導(dǎo)電圖案，只要能夠確定圖案的位置，即使不是平行以及等間隔的配置，也能夠進行檢查。此外，當(dāng)后述的檢查部移動時，在相同的導(dǎo)電圖案上，只要是供電電極與傳感器電極能夠相對向的圖案，即使在導(dǎo)電圖案的中途彎曲或?qū)挾茸兓?，也能夠同等地進行檢查。在以下的說明中，為了易于理解，將以一定間隔形成直線列狀的導(dǎo)電圖案作為檢查對象進行說明。圖I是示出具有本發(fā)明涉及的補充電極的電路圖案檢查裝置的概略構(gòu)成的視圖。 圖2是示出檢查電極和補充電極的概略構(gòu)成的視圖。圖3是示出電路圖案檢查裝置的檢測信號處理部的一構(gòu)成例的視圖。如圖I所示，電路圖案檢查裝置I包括檢查部2,在形成于玻璃基板等具有絕緣性的基板100上的多列導(dǎo)電體圖案101上方，分開規(guī)定距離而被設(shè)置；移動機構(gòu)3，維持檢查部2的分開(非接觸)狀態(tài)，并在導(dǎo)電體圖案101的上方相交叉的方向m移動；驅(qū)動控制部4，對移動機構(gòu)3進行驅(qū)動控制；檢查信號供給部13，將交流構(gòu)成的檢查信號供給檢查部 2 ;檢測信號處理部5，對由檢查部2檢測出的檢測信號實施后述的信號處理；控制部6，控制全體裝置；顯示部8，顯示包含檢查結(jié)果的檢查信息；以及輸入部14，由用于輸入動作指示和各種數(shù)據(jù)等的鍵盤和觸摸面板等構(gòu)成。控制部6包括缺陷判定部7，基于進行了信號處理的檢測信號中所含有的特征信號(峰值的變化)，判定導(dǎo)電圖案是否存在缺陷；存儲器9，儲存使用者選擇的設(shè)定條件和檢查用程序等；以及中央處理部(CPU) 10，通過程序和設(shè)定的運算條件進行運算處理。存儲器9為一般的存儲器，利用例如R0M、RAM或者閃存器等而儲存控制用程序、各種運算用程序以及數(shù)據(jù)(表格)等。中央處理部(CPU) 10也可以利用個人計算機。如圖2所示，檢查部2由用于檢測導(dǎo)電圖案的缺陷的檢查電極對21、以及為了檢測與檢查電極對21相對向的部分的導(dǎo)電圖案的缺陷的補充電極對22構(gòu)成。并且，檢查部 2被分割成兩個的電極基板(第一電極基板)11以及電極基板(第二電極基板)12。這些電極基板11、12由例如水平多關(guān)節(jié)機器人(^力9 一口卜)一體連接， 并同時進行移動。在圖I中，示出了配置在導(dǎo)電圖案的兩端的實例，當(dāng)然，配置的位置并不限定于兩端，也可以將任意一個或者兩個配置在導(dǎo)電圖案的內(nèi)側(cè)。即，只要是導(dǎo)電圖案與供電電極和傳感器電極相對向的位置，既可以在檢查對象的基板上分離(例如，導(dǎo)電圖案的兩端)而被配置，相反，也可以配置在接近的位置。這是由于檢查部2通過電容耦合檢測出檢測信號，因此，當(dāng)導(dǎo)電圖案中的電容由于斷路而產(chǎn)生變化時，由于與正常的圖案不同，因此，檢測信號的峰值出現(xiàn)變化。檢查電極對21將供電電極(第一供電電極)21a配置于電極基板12，并且將傳感器電極(第一傳感器電極)21b配置于電極基板11。供電電極21a和傳感器電極21b以存在于相同導(dǎo)電圖案上方的方式設(shè)置于電極基板11、12上。并且,檢查電極對21可以為一對, 也可以設(shè)置多對的檢查電極對。并且，供電電極21a也可以具有覆蓋于多個例如兩個導(dǎo)電圖案的寬度。傳感器電極21b，由于個別檢測缺陷的導(dǎo)電圖案，只要不覆蓋于鄰接的導(dǎo)電圖案上，可以為一個導(dǎo)電圖案的寬度以上。補充電極對22由供電電極(第二供電電極)22a和傳感器電極(第二傳感器電極)22b構(gòu)成，以與供電電極21a并設(shè)的方式配置于電極基板12上。供電電極22a和傳感器電極22b以與相同的導(dǎo)電圖案相對向、并且夾持與供電電極21a相對向的導(dǎo)電圖案的部分(作為部分的導(dǎo)電圖案)的方式空開間隔，被配置成能夠檢查該部分的導(dǎo)電圖案。優(yōu)選的是，空開該部分的導(dǎo)電圖案全部而配置，也可以通過減小傳感器電極22b，至少使供電電極22a以不與部分的導(dǎo)電圖案相對向的方式而分離配置。并且，檢查電極對21的供電電極 21a和補充電極對22都以在導(dǎo)電圖案上方相對向的位置，不受電性影響的圖案數(shù)以上分離而配置。在本實施方式中，由于利用通過電容耦合而產(chǎn)生的檢查信號的施加，因此，檢查信號供給部13供給至供電電極21a、22a的檢查信號都為同電壓值、且同頻率的交流信號、或者矩形波(脈沖)信號。所施加的檢查信號的相位也可以為同步的，也可以具有相位差。這些電極基板11、12為通過移動機構(gòu)3從供電電極2la、22a對于導(dǎo)電圖案101施加檢查信號，且傳感器電極21b、22b檢測傳輸于導(dǎo)電圖案101中的檢查信號作為檢測信號的狀態(tài)，并且在導(dǎo)電圖案上方維持相同分開距離(測定間隙)的狀態(tài)下，以與導(dǎo)電圖案的列交叉(橫斷)的方式移動。并且，也可以具有以在電極基板11、12等上搭載距離傳感器、在移動時計測到檢查對象的基板的距離而以追隨其測定值的方式，使電極的高度(到基板的距離)變化的升降功能。檢測信號處理部5由如下構(gòu)成放大電路18，將由傳感器電極21b所檢測出的檢測信號以及傳感器電極22b所檢測出的補足檢測信號構(gòu)成的各自的微小模擬檢測信號放大到規(guī)定的電壓水平(可判斷優(yōu)劣的水平)；帶通濾波器19，將利用放大電路18所放大的檢測信號的雜音成分消除，并通過必要的帶域；整流電路20，將來自帶通濾波器19的檢測信號進行全波整流；以及平滑電路21，將被全波整流的檢測信號進行平滑。并且，進行全波整流的整流電路20以及將檢測信號進行平滑的平滑電路21并不是必須具備的。檢測信號以及補足檢測信號通過檢查信號處理部5被變換為實施了規(guī)定的信號處理(放大、噪聲消除等)的缺陷判定信號，而發(fā)送至進行缺陷判定的缺陷判定部7。在缺陷判定部7中，基于對每個導(dǎo)電圖案的缺陷判定信號而判斷有無缺陷，將全部的導(dǎo)電圖案 101中的判斷結(jié)果顯示在顯示部8的畫面上。并且，對于將產(chǎn)生缺陷的導(dǎo)電圖案中的缺陷產(chǎn)生位置進行特定，而作為缺陷位置判定機構(gòu)，另外具備設(shè)有沿其圖案以非接觸方式移動于上方的同樣的電極對(供電電極以及傳感器電極)的圖案縱貫移動機構(gòu)15。該圖案縱貫移動機構(gòu)為在將例如移動機構(gòu)3中的供電電極21a與傳感器電極21b連接的支柱(或者臂構(gòu)件)上設(shè)有導(dǎo)軌等，并在該導(dǎo)軌上沿圖案方向η進行移動的機構(gòu)。并且，本實施方式的補充電極對22以能夠與供電電極21a分離的方式使電極基板12成為分割構(gòu)造而具備圖案縱貫移動機構(gòu)，從而使補充電極對22具有檢測不良導(dǎo)電圖案中的缺陷位置的功能。S卩，在導(dǎo)電圖案中的缺陷檢查的情況下，與供電電極21 a —體地移動，在將導(dǎo)電圖案中的缺陷產(chǎn)生位置特定的情況下，與供電電極21a分離而進行移動。并且，雖然未圖示，但是以下述方式設(shè)置有噪聲用傳感器電極與相比傳感器電極 21b離開數(shù)個圖案(不受來自從供電電極21a所施加的檢查信號的電性影響的圖案數(shù))的導(dǎo)電圖案相對向。檢測信號處理部5進行從由傳感器電極21b所檢測出的檢測信號將噪聲用傳感器電極所得到的檢測信號(即，噪聲信號)去除的噪聲消除處理。在以上說明的本實施方式的電路圖案檢查裝置中，檢測導(dǎo)電圖案的缺陷的檢查電極對通過增大與導(dǎo)電圖案相對向的供電電極的面積，檢測更大的檢測信號，從而，能夠排除所產(chǎn)生的噪聲的影響，并能夠進行缺陷檢查中的適當(dāng)?shù)膬?yōu)劣判定。并且，對于與檢查電極對的供電電極相對向的部分的導(dǎo)電圖案，通過補充電極對進行缺陷檢測，并且進行優(yōu)劣判定。 因而，即使增大檢查電極對的供電電極的相對向面積，由于能夠通過補充電極將對于檢查電極對的非檢測地方的檢查進行補足，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)正確的缺陷檢查以及優(yōu)劣判定。此外，補充電極對由于具有圖案縱貫移動機構(gòu)，因此，對于判定為具有缺陷的導(dǎo)電圖案，能夠同時具有檢測其缺陷位置的功能。接著，對本發(fā)明的第一實施方式的變形例進行說明。本變形例的構(gòu)成中，檢查電極對和補充電極對的配置與上述實施方式的電路圖案檢查裝置不同。其他構(gòu)成部位與實施方式相同，并省略其說明，在相同的部位附加相同的附圖標記。圖4示出本變形例中的檢查電極對41和補充電極對42的構(gòu)成例。檢查電極對41 與上述相同，在電極基板11上設(shè)有傳感器電極41b,在電極基板12上設(shè)有供電電極41a。與此相對，補充電極42與檢查電極對41相反，在電極基板11上設(shè)有供電電極42a，在電極基板12上設(shè)有傳感器電極42b。即，為檢查電極對41以及補充電極對42的供電電極與補充電極相互錯位的構(gòu)成。通過該構(gòu)成，與檢查電極對41的供電電極41a相對向的導(dǎo)電圖案的部分能夠通過補充電極對42進行檢查。并且，設(shè)置上述的噪聲用傳感器電極，而能夠進行從傳感器電極 42b所得到的檢測信號中將噪聲信號去除的噪聲消除處理。在本變形例中，與上述實施方式相同，通過增大檢查電極對的供電電極的面積而進行較大的檢查信號輸入，而通過檢測比現(xiàn)有技術(shù)大的檢測信號，從而能夠排除所產(chǎn)生的噪聲的影響，并能夠進行缺陷檢查中的適當(dāng)?shù)膬?yōu)劣判定。并且，對于與檢查電極對的供電電極相對向的部分的導(dǎo)電圖案，通過補充電極對進行缺陷檢測，并且進行優(yōu)劣判定。因而，即使增大檢查電極對的供電電極的對向面積，由于能夠通過補充電極將對于檢查電極對的非檢測地方的檢查進行補足，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)正確的缺陷檢查以及優(yōu)劣判定。 根據(jù)本發(fā)明的實施方式，能夠提供了一種設(shè)置對于檢查部的供電電極的補充電極對，而施加更大的檢查信號，并且實現(xiàn)從所得到的檢測信號進行導(dǎo)電圖案優(yōu)劣的適當(dāng)?shù)呐卸ǖ碾娐穲D案檢查裝置。
權(quán)利要求
1.一種電路圖案檢查裝置，其特征在于，包括檢查電極對，將多個導(dǎo)電圖案形成為列狀的基板作為檢查對象，具有對于所述導(dǎo)電圖案中的第一導(dǎo)電圖案，同時對向的第一供電電極以及第一傳感器電極；補充電極對，具有以夾持至少所述第一供電電極所對向的地方的部分的導(dǎo)電圖案的方式進行分開，而以在同一導(dǎo)電圖案上相對向的方式配置的第二供電電極以及第二傳感器電極；移動部，將所述檢查電極對與所述補充電極對一體地保持，在所述導(dǎo)電圖案的上方以一定的距離分開，而在與該導(dǎo)電圖案的列交叉的方向上移動；檢查信號供給部，在利用所述移動部進行的所述檢查電極對和所述補充電極對的移動中，對所述第一供電電極以及所述第二供電電極供給由交流信號構(gòu)成的檢查信號，并且使該檢查信號依次施加于所述第一供電電極以及所述第二供電電極對向而電容I禹合的各個導(dǎo)電圖案上；以及缺陷判定部，將合并了分別與施加所述檢查信號的所述導(dǎo)電圖案電容耦合而通過所述第一傳感器電極取得的第一檢測信號、以及通過所述第二傳感器電極從包含所述第一供電電極所對向的地方的部分的導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電體圖案所取得的第二檢測信號的檢測信號，與事先規(guī)定的判定基準值進行比較而判斷有無缺陷。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于，所述移動部具有一體地保持、并在所述導(dǎo)電圖案上方以一定的距離分開的第一電極基板和第二電極基板，所述檢查電極對將所述第一傳感器電極配置于所述第一電極基板，將所述第一供電電極配置于第二電極基板，所述補充電極對在與所述第一供電電極的延伸方向相同的方向上并設(shè)，從所述第一導(dǎo)電圖案離開相當(dāng)于不受電性影響的圖案數(shù)的距離，并且空開所述部分的導(dǎo)電圖案的距離而將所述第二傳感器電極以及所述第二供電電極配置于所述第二電極基板上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于，所述移動部具有一體地保持、并在所述導(dǎo)電圖案上方以一定的距離分開的第一電極基板和第二電極基板，所述檢查電極對將所述第一傳感器電極配置于所述第一電極基板，將所述第一供電電極配置于第二電極基板，所述補充電極對將所述第二傳感器電極配置于所述第二電極基板，并且將所述第二供電電極配置于所述第一電極基板。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于，所述第二供電電極的第一配置部分、與所述第二傳感器電極和所述第二供電電極的第二配置部分可分離地構(gòu)成所述第二電極基板，并且，所述第二電極基板還包括設(shè)置于所述第二配置部分、在所述導(dǎo)電圖案上方以一定的距離分開、而在該導(dǎo)電圖案的圖案方向上移動的圖案縱貫移動部，對于通過所述缺陷判定部判定出存在缺陷的導(dǎo)電圖案，通過所述圖案縱貫移動部而在圖案的延伸方向上移動的所述第二配置部分的所述補充電極對檢測缺陷的存在位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種電路圖案檢查裝置，其設(shè)有對于檢查電極對的電極所對向的導(dǎo)電圖案部分檢測缺陷的補充電極。
文檔編號G01R31/28GK102608516SQ20121001949
公開日2012年7月25日 申請日期2012年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月21日
發(fā)明者羽森寬 申請人:Oht株式會社