技術(shù)編號：5941515
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種能夠以非接觸的方式檢查形成在基板上的導(dǎo)電圖案的缺陷的電路圖案檢查裝置。背景技術(shù)近年來，作為顯示裝置，在玻璃基板上使用液晶的液晶顯示裝置、或者利用等離子的等離子顯示裝置成為主流。在這些顯示裝置的制造工序中，對形成在玻璃基板上的成為電路配線的導(dǎo)電圖案進(jìn)行有無斷路以及短路的缺陷檢查。作為導(dǎo)電圖案的檢查方法，在例如日本特開2004-191381號公報(bào)中，使至少2個(gè)檢查探針接近導(dǎo)體圖案，一邊在以非接觸方式與導(dǎo)體圖案電容耦合的狀態(tài)下移動(dòng)，一邊從一個(gè)檢查探...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。