專(zhuān)利名稱：一種光學(xué)檢測(cè)裝置及玻璃基板檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光學(xué)檢測(cè)裝置及玻璃基板檢測(cè)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前，如圖1所示，對(duì)基板載臺(tái)1上的玻璃基板2進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，玻璃基板檢測(cè)裝置 3距離玻璃基板2上表面的距離大約為100微米。然而，生產(chǎn)玻璃基板2的過(guò)程中無(wú)法避免破碎，玻璃破碎時(shí)玻璃渣可能會(huì)濺到玻璃基板2的上表面。如圖2所示，玻璃基板檢測(cè)裝置3距離玻璃基板2只有100微米，當(dāng)玻璃基板檢測(cè)裝置3沿著箭頭方向移動(dòng)時(shí)，很小的雜質(zhì)4 (如玻璃渣、較大灰塵等)很容易會(huì)對(duì)玻璃基板檢測(cè)裝置3造成劃傷和損壞。該玻璃基板檢測(cè)裝置3的價(jià)格昂貴、而且安裝困難，若被劃傷則不但降低了檢測(cè)質(zhì)量，而且將顯著提高生產(chǎn)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種光學(xué)檢測(cè)裝置及玻璃基板檢測(cè)系統(tǒng)，可以在對(duì)玻璃基板進(jìn)行掃描檢測(cè)前，確定出玻璃基板表面的雜質(zhì)，從而保護(hù)玻璃基板檢測(cè)裝置。本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種光學(xué)檢測(cè)裝置，包括位于玻璃基板2外側(cè)的、沿著所述玻璃基板2上表面向至少兩個(gè)方向發(fā)出光線的發(fā)光組件5，所述發(fā)光組件5的每個(gè)發(fā)光面發(fā)出的光線均覆蓋所述玻璃基板2上表面；接收所述發(fā)光組件5發(fā)出的光線的收光組件6 ；與所述收光組件6連接，根據(jù)所述收光組件6接收的光線確定雜質(zhì)位置的確定組件7。較佳的，所述發(fā)光組件5包括一個(gè)線光源時(shí)，所述線光源具有至少一個(gè)彎折角，形成至少兩個(gè)發(fā)光面，向至少兩個(gè)方向發(fā)出光線。較佳的，所述發(fā)光組件5包括第一線光源和第二線光源，所述第一線光源和第二線光源的發(fā)光面發(fā)出的光線具有交點(diǎn)。較佳的，所述第一線光源的發(fā)光面與所述第二線光源的發(fā)光面發(fā)出的光線垂直。較佳的，當(dāng)所述玻璃基板2為矩形時(shí)，第一線光源的發(fā)光面面向所述玻璃基板2的寬邊，且第一線光源的長(zhǎng)度不小于所述玻璃基板2的寬邊的長(zhǎng)度；第二線光源的發(fā)光面面向所述玻璃基板2的長(zhǎng)邊，且第二線光源的長(zhǎng)度不小于所述玻璃基板2的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度。較佳的，當(dāng)所述玻璃基板2為多邊形時(shí)，第一線光源的發(fā)光面面向所述玻璃基板 2外接矩形框的寬邊，且第一線光源的長(zhǎng)度不小于所述玻璃基板2外接矩形框的寬邊的長(zhǎng)度；第二線光源的發(fā)光面面向所述玻璃基板2外接矩形框的長(zhǎng)邊，且第二線光源的長(zhǎng)度不小于所述玻璃基板2的外接矩形框的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度。較佳的，所述發(fā)光組件5包括的光源數(shù)目大于兩個(gè)時(shí)，至少一個(gè)線光源的發(fā)光面發(fā)出的光線與其余線光源的發(fā)光面發(fā)出的光線具有交點(diǎn)。[0015]所述發(fā)光組件5與玻璃基板2上表面所在平面的垂直距離小于100微米。所述收光組件6與所述發(fā)光組件5位于同一平面，所述收光組件6的數(shù)目與所述發(fā)光組件5中的光源數(shù)目相同，且位置與所述光源的位置相對(duì)應(yīng)。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種玻璃基板檢測(cè)系統(tǒng)，包括檢測(cè)所述玻璃基板的玻璃基板檢測(cè)裝置3，還包括檢測(cè)玻璃基板上表面雜質(zhì)位置的光學(xué)檢測(cè)裝置8。較佳的，所述系統(tǒng)還包括控制所述玻璃基板檢測(cè)裝置跳過(guò)雜質(zhì)的控制裝置9。較佳的，所述系統(tǒng)還包括清除所述玻璃基板上的雜質(zhì)的清除裝置10。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的光學(xué)檢測(cè)裝置及玻璃基板檢測(cè)系統(tǒng)，利用光的直線傳播，通過(guò)兩個(gè)方向的光線確定雜質(zhì)的位置，進(jìn)而可以控制玻璃基板檢測(cè)裝置跳過(guò)該雜質(zhì)，避免被該雜質(zhì)造成劃傷或損壞，確保玻璃基板的檢測(cè)質(zhì)量。而且，光的傳播速度較快，檢測(cè)雜質(zhì)的時(shí)間較短，由此與其他檢測(cè)手段相比，檢測(cè)效率較高。確定雜質(zhì)位置后還可以將該雜質(zhì)去除，徹底消除對(duì)玻璃基板檢測(cè)裝置的損傷。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)玻璃基板進(jìn)行檢測(cè)的示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中玻璃基板檢測(cè)裝置進(jìn)行檢測(cè)的過(guò)程示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中光學(xué)檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖圖4b為本實(shí)用新型實(shí)施例中發(fā)光組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例中發(fā)光組件中兩個(gè)光源的位置示意圖；圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例中玻璃基板為矩形時(shí)，發(fā)光組件的位置示意圖；圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例中玻璃基板為多邊形時(shí)，發(fā)光組件的位置示意圖；圖8為本實(shí)用新型實(shí)施例中發(fā)光組件和收光組件的位置示意圖；圖9為本實(shí)用新型另一實(shí)施例中發(fā)光組件和收光組件的位置示意圖；圖10為本實(shí)用新型實(shí)施例中光學(xué)檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖11為本實(shí)用新型另一實(shí)施例中光學(xué)檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖12為本實(shí)用新型另一實(shí)施例中玻璃基板檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例作進(jìn)一步詳細(xì)描述。本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種光學(xué)檢測(cè)裝置，如圖3所示，其具體包括位于玻璃基板2外側(cè)的、沿著玻璃基板2上表面向至少兩個(gè)方向發(fā)出光線的發(fā)光組件5，所述發(fā)光組件5的每個(gè)發(fā)光面發(fā)出的光線均覆蓋玻璃基板2上表面；接收所述發(fā)光組件5發(fā)出的光線的收光組件6 ；與收光組件6連接，根據(jù)收光組件6接收的光線確定雜質(zhì)位置的確定組件7。較佳的，發(fā)光組件5包括一個(gè)線光源時(shí)，該線光源具有至少一個(gè)彎折角，形成至少兩個(gè)發(fā)光面，向至少兩個(gè)方向發(fā)出光線，如圖如所示，該發(fā)光組件5具有一個(gè)彎折角，將一個(gè)線光源形成兩個(gè)發(fā)光面，該兩個(gè)發(fā)光面產(chǎn)生的光線具有交點(diǎn)；如圖4b所示，該發(fā)光組件5 具有兩個(gè)彎折角，將一個(gè)線光源形成三個(gè)發(fā)光面，該三個(gè)發(fā)光面產(chǎn)生的光線具有交點(diǎn)。該發(fā)光組件5的彎折角數(shù)目可以根據(jù)實(shí)際需要決定，但應(yīng)確保發(fā)光組件5每個(gè)發(fā)光面發(fā)出的光線均可以覆蓋玻璃基板2的上表面。較佳的，發(fā)光組件5包括第一線光源和第二線光源，第一線光源和第二線光源的發(fā)光面發(fā)出的光線具有交點(diǎn)。如圖5所示，第一線光源的發(fā)光面與第二線光源的發(fā)光面發(fā)出的光線垂直。當(dāng)然，也可以成其他度數(shù)的夾角，例如60度等，但應(yīng)確保發(fā)光組件5中每個(gè)線光源發(fā)出的光線均可以覆蓋玻璃基板2的上表面。如圖6所示，當(dāng)玻璃基板2為矩形時(shí)，第一線光源51的發(fā)光面面向該玻璃基板2 的寬邊，且第一線光源的長(zhǎng)度不小于玻璃基板2的寬邊的長(zhǎng)度；第二線光源52的發(fā)光面面向該玻璃基板2的長(zhǎng)邊，且第二線光源的長(zhǎng)度不小于玻璃基板2的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度。如圖7所示，當(dāng)玻璃基板2為多邊形時(shí)，第一線光源51的發(fā)光面面向該玻璃基板2外接矩形框(圖中虛線部分)的寬邊，且第一線光源的長(zhǎng)度不小于玻璃基板2外接矩形框的寬邊的長(zhǎng)度；第二線光源52的發(fā)光面面向玻璃基板2外接矩形框的長(zhǎng)邊，且第二線光源的長(zhǎng)度不小于玻璃基板2的外接矩形框的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度。其中，多邊形的玻璃基板2外接矩形框是指將多邊形的玻璃基板2完全框在內(nèi)部的最小的矩形。較佳的，發(fā)光組件5包括的光源數(shù)目大于兩個(gè)時(shí)，至少一個(gè)線光源的發(fā)光面發(fā)出的光線與其余線光源的發(fā)光面發(fā)出的光線具有交點(diǎn)。上述發(fā)光組件5與玻璃基板2上表面所在平面的垂直距離，應(yīng)小于玻璃基板檢測(cè)裝置3與玻璃基板2的垂直距離100微米，例如，可以為80微米。與上述發(fā)光組件5相對(duì)應(yīng)的，收光組件6與發(fā)光組件5位于同一平面，其數(shù)目與發(fā)光組件5中的光源數(shù)目相同，且位置與光源的位置相對(duì)應(yīng)。如圖8所示，假設(shè)發(fā)光組件5中的光源數(shù)目為2，一個(gè)線光源位于矩形玻璃基板2的長(zhǎng)邊外側(cè)，另一個(gè)線光源位于矩形玻璃基板2的寬邊外側(cè)，收光組件6的數(shù)目為2個(gè)，一個(gè)位于矩形玻璃基板2的另一長(zhǎng)邊外側(cè)， 另一個(gè)位于矩形玻璃基板2的另一寬邊外側(cè)。該收光組件6的數(shù)目與發(fā)光組件5中的光源數(shù)目也可以不同，位置也可以不對(duì)應(yīng)。 圖9所示，假設(shè)發(fā)光組件5有兩個(gè)線光源，兩者發(fā)出的光線夾角為90度，相應(yīng)的，具有一個(gè)收光組件6同時(shí)接收到該兩個(gè)線光源發(fā)出的光線。該收光組件6也可以同發(fā)光組件5 —樣， 具有一個(gè)或多個(gè)彎折角，只需確?？梢酝耆邮盏桨l(fā)光組件5發(fā)出的光線即可。確定組件7與上述收光組件6連接，根據(jù)收光組件6接收的光線確定雜質(zhì)位置。 具體的，當(dāng)玻璃基板2上具有雜質(zhì)時(shí)，由于光的直線傳播特性，會(huì)有部分光受到該雜質(zhì)的阻擋，而無(wú)法發(fā)射到收光組件6。由于發(fā)光組件5發(fā)射的至少兩個(gè)方向的光均覆蓋整個(gè)玻璃基板2，因此，收光組件6在某兩個(gè)位置均收不到光線，進(jìn)而根據(jù)發(fā)光組件位置和收光組件中收不到光線的位置，確定出兩條直線，該兩條直線的交點(diǎn)即為該雜質(zhì)的位置。通過(guò)上述描述，可以看出，使用本實(shí)用新型提供的光學(xué)檢測(cè)裝置，利用光的直線傳播，通過(guò)至少兩個(gè)方向的光線確定雜質(zhì)的位置，進(jìn)而可以控制玻璃基板檢測(cè)裝置跳過(guò)該雜質(zhì)，避免被該雜質(zhì)造成劃傷或損壞，確保玻璃基板的檢測(cè)質(zhì)量。而且，光的傳播速度較快，檢測(cè)雜質(zhì)的時(shí)間較短，由此與其他檢測(cè)手段相比，檢測(cè)效率較高。下面通過(guò)具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提供的光學(xué)檢測(cè)裝置進(jìn)行詳細(xì)描述。如圖10所示，假設(shè)玻璃基板2為矩形，發(fā)光組件5具有線光源51和線光源52，分別位于玻璃基板2的長(zhǎng)邊Ll和寬邊L2的外側(cè)，且該兩個(gè)線光源發(fā)出的光線均能覆蓋整個(gè)玻璃基板2的上表面。收光組件61和收光組件62分別位于該玻璃基板2的另一長(zhǎng)邊L3和另一寬邊L2的外側(cè)。這樣，長(zhǎng)邊L3外側(cè)的收光組件61接收長(zhǎng)邊Ll外側(cè)的發(fā)光組件51發(fā)出的光線；寬邊L4外側(cè)的收光組件62接收寬邊L2外側(cè)的發(fā)光組件52發(fā)出的光線。而且， 該發(fā)光組件距離玻璃基板上表面所在平面垂直方向上的距離不超過(guò)100微米，如可以設(shè)置為85微米，同時(shí)，收光組件與發(fā)光組件位于同一個(gè)平面，以確保接收到發(fā)光組件發(fā)出的光線。設(shè)玻璃基板寬邊方向?yàn)閄、長(zhǎng)邊方向?yàn)閅，當(dāng)玻璃基板2上具有雜質(zhì)4時(shí)，發(fā)光組件 51發(fā)出的光線部分被該雜質(zhì)4阻攔，無(wú)法被收光組件61接收到，收光組件61確定出X方向收不到光線的直線(如圖10中虛線m)，并告知確定組件7。同理，發(fā)光組件52發(fā)出的光線也有部分被該雜質(zhì)4阻攔，無(wú)法被收光組件62接收到，收光組件62確定出Y方向收不到光線的直線(如圖10中虛線η)，并告知確定組件7。確定組件7根據(jù)X方向和Y方向收不到光線的位置確定出雜質(zhì)4的具體位置，即直線m和直線η的交點(diǎn)處為雜質(zhì)4所在的位置。當(dāng)玻璃基板2為多邊形時(shí)，可以參見(jiàn)圖7，將玻璃基板2外接矩形框的寬邊設(shè)為X 方向、長(zhǎng)邊設(shè)為Y方向，并參照上述方式確定出雜質(zhì)位置。下面通過(guò)另一具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提供的光學(xué)檢測(cè)裝置進(jìn)行詳細(xì)描述。如圖11所示，假設(shè)玻璃基板2為矩形，發(fā)光組件5具有線光源51和線光源52，分別位于玻璃基板2的兩個(gè)相鄰頂角外側(cè)，該兩個(gè)線光源發(fā)出的光線均能覆蓋整個(gè)玻璃基板2的上表面。 收光組件61和收光組件62分別位于該玻璃其余兩個(gè)頂角的外側(cè)。該發(fā)光組件距離玻璃基板的距離不超過(guò)100微米，如可以設(shè)置為80微米，同時(shí)，收光組件與發(fā)光組件位于同一個(gè)平面，以確保接收到發(fā)光組件發(fā)出的光線。設(shè)線光源51發(fā)出的光線的方向?yàn)閄、線光源52發(fā)出的光線的方向?yàn)閅，當(dāng)玻璃基板2上具有雜質(zhì)4時(shí)，發(fā)光組件51發(fā)出的光線部分被該雜質(zhì)4阻攔，無(wú)法被收光組件61接收到，收光組件61確定出X方向收不到光線的直線(如圖11中虛線a)，并告知確定組件 7。同理，發(fā)光組件52發(fā)出的光線也有部分被該雜質(zhì)4阻攔，無(wú)法被收光組件62接收到，收光組件62確定出Y方向收不到光線的直線(如圖11中虛線b)，并告知確定組件7。確定組件7根據(jù)X方向和Y方向收不到光線的位置確定出雜質(zhì)4的具體位置，即直線a和直線 b的交點(diǎn)處為雜質(zhì)4所在的位置。通過(guò)上述描述，可以看出，使用本實(shí)用新型提供的光學(xué)檢測(cè)裝置，利用光的直線傳播，通過(guò)至少兩個(gè)方向的光線確定雜質(zhì)的位置，進(jìn)而可以控制玻璃基板檢測(cè)裝置跳過(guò)該雜質(zhì)，避免被該雜質(zhì)造成劃傷或損壞，確保玻璃基板的檢測(cè)質(zhì)量。而且，光的傳播速度較快，檢測(cè)雜質(zhì)的時(shí)間較短，由此與其他檢測(cè)手段相比，檢測(cè)效率較高。基于同一構(gòu)想，本實(shí)用新型還提供了一種玻璃基板檢測(cè)系統(tǒng)，包括檢測(cè)所述玻璃基板的玻璃基板檢測(cè)裝置3 ；如圖12所示，還包括檢測(cè)玻璃基板上表面雜質(zhì)位置的光學(xué)檢測(cè)裝置8 ；所述光學(xué)檢測(cè)裝置8包括位于玻璃基板2外側(cè)的、沿著玻璃基板2上表面向至少兩個(gè)方向發(fā)出光線的發(fā)光組件5，所述發(fā)光組件5的每個(gè)發(fā)光面發(fā)出的光線均覆蓋玻璃基板2上表面；接收所述發(fā)光組件5發(fā)出的光線的收光組件6 ；與收光組件6連接，根據(jù)收光組件6接收的光線確定雜質(zhì)位置的確定組件7。較佳的，該系統(tǒng)還包括控制玻璃基板檢測(cè)裝置3跳過(guò)雜質(zhì)的控制裝置9。[0060]較佳的，該系統(tǒng)還包括清除所述玻璃基板2上的雜質(zhì)的清除裝置10。例如使用真空吸氣的方式吸除雜質(zhì)。此外，確定出雜質(zhì)位置后，還可以對(duì)該雜質(zhì)進(jìn)行拍照并保存等后續(xù)處理。通過(guò)上述描述，可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的光學(xué)檢測(cè)裝置及玻璃基板檢測(cè)系統(tǒng)，利用光的直線傳播，通過(guò)兩個(gè)方向的光線確定雜質(zhì)的位置，進(jìn)而可以控制玻璃基板檢測(cè)裝置跳過(guò)該雜質(zhì)，避免被該雜質(zhì)造成劃傷或損壞，確保玻璃基板的檢測(cè)質(zhì)量。而且，光的傳播速度較快，檢測(cè)雜質(zhì)的時(shí)間較短，由此與其他檢測(cè)手段相比，檢測(cè)效率較高。確定雜質(zhì)位置后還可以將該雜質(zhì)去除，徹底消除對(duì)玻璃基板檢測(cè)裝置的損傷。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1. 一種光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，包括位于玻璃基板(2)外側(cè)的、沿著所述玻璃基板(2)上表面向至少兩個(gè)方向發(fā)出光線的發(fā)光組件(5)，所述發(fā)光組件(5)的每個(gè)發(fā)光面發(fā)出的光線均覆蓋所述玻璃基板( 上表接收所述發(fā)光組件( 發(fā)出的光線的收光組件(6)；與所述收光組件(6)連接，根據(jù)所述收光組件(6)接收的光線確定雜質(zhì)位置的確定組件⑵。
2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述發(fā)光組件(5)包括一個(gè)線光源時(shí)，所述線光源具有至少一個(gè)彎折角，形成至少兩個(gè)發(fā)光面，向至少兩個(gè)方向發(fā)出光線。
3.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述發(fā)光組件(5)包括第一線光源和第二線光源，所述第一線光源和第二線光源的發(fā)光面發(fā)出的光線具有交點(diǎn)。
4.如權(quán)利要求3所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第一線光源的發(fā)光面與所述第二線光源的發(fā)光面發(fā)出的光線垂直。
5.如權(quán)利要求4所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，當(dāng)所述玻璃基板(2)為矩形時(shí)，第一線光源的發(fā)光面面向所述玻璃基板O)的寬邊，且第一線光源的長(zhǎng)度不小于所述玻璃基板(2)的寬邊的長(zhǎng)度；第二線光源的發(fā)光面面向所述玻璃基板( 的長(zhǎng)邊，且第二線光源的長(zhǎng)度不小于所述玻璃基板O)的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度。
6.如權(quán)利要求4所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，當(dāng)所述玻璃基板(2)為多邊形時(shí)， 第一線光源的發(fā)光面面向所述玻璃基板( 外接矩形框的寬邊，且第一線光源的長(zhǎng)度不小于所述玻璃基板( 外接矩形框的寬邊的長(zhǎng)度；第二線光源的發(fā)光面面向所述玻璃基板 (2)外接矩形框的長(zhǎng)邊，且第二線光源的長(zhǎng)度不小于所述玻璃基板O)的外接矩形框的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度。
7.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述發(fā)光組件(5)包括的光源數(shù)目大于兩個(gè)時(shí)，至少一個(gè)線光源的發(fā)光面發(fā)出的光線與其余線光源的發(fā)光面發(fā)出的光線具有交點(diǎn)。
8.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述發(fā)光組件(5)與玻璃基板(2) 上表面所在平面的垂直距離小于100微米。
9.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述收光組件(6)與所述發(fā)光組件 (5)位于同一平面，所述收光組件(6)的數(shù)目與所述發(fā)光組件(5)中的光源數(shù)目相同，且位置與所述光源的位置相對(duì)應(yīng)。
10.一種玻璃基板檢測(cè)系統(tǒng)，包括檢測(cè)所述玻璃基板的玻璃基板檢測(cè)裝置(3)，其特征在于，還包括權(quán)利要求1-9任一所述的光學(xué)檢測(cè)裝置。
11.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括控制所述玻璃基板檢測(cè)裝置跳過(guò)雜質(zhì)的控制裝置(9)。
12.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括清除所述玻璃基板上的雜質(zhì)的清除裝置(10)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型實(shí)施例涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光學(xué)檢測(cè)裝置及玻璃基板檢測(cè)系統(tǒng)，該光學(xué)檢測(cè)裝置包括位于玻璃基板外側(cè)的、沿著所述玻璃基板上表面向至少兩個(gè)方向發(fā)出光線的發(fā)光組件，所述發(fā)光組件的每個(gè)發(fā)光面發(fā)出的光線均覆蓋所述玻璃基板上表面；接收所述發(fā)光組件發(fā)出的光線的收光組件；與所述收光組件連接，根據(jù)所述收光組件接收的光線確定雜質(zhì)位置的確定組件。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的光學(xué)檢測(cè)裝置及玻璃基板檢測(cè)系統(tǒng)，可以在對(duì)玻璃基板進(jìn)行掃描檢測(cè)前，確定出玻璃基板表面的雜質(zhì)，從而保護(hù)玻璃基板檢測(cè)裝置。
文檔編號(hào)G01N21/958GK202083648SQ201120174429
公開(kāi)日2011年12月21日 申請(qǐng)日期2011年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月27日
發(fā)明者李毅楠, 楊海洪, 林金升, 白國(guó)曉, 肖志蓮, 趙海生, 黃雄天 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司