技術(shù)編號:5914635
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及液晶顯示,特別涉及一種光學(xué)檢測裝置及玻璃基板檢測系統(tǒng)。背景技術(shù)目前,如圖1所示,對基板載臺1上的玻璃基板2進(jìn)行檢測時,玻璃基板檢測裝置 3距離玻璃基板2上表面的距離大約為100微米。然而,生產(chǎn)玻璃基板2的過程中無法避免破碎,玻璃破碎時玻璃渣可能會濺到玻璃基板2的上表面。如圖2所示,玻璃基板檢測裝置3距離玻璃基板2只有100微米,當(dāng)玻璃基板檢測裝置3沿著箭頭方向移動時,很小的雜質(zhì)4 (如玻璃渣、較大灰塵等)很容易會對玻璃基板檢測裝置3造成劃傷和...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。