專(zhuān)利名稱(chēng)：薄膜光熱性能的測(cè)量裝置和測(cè)量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及薄膜測(cè)量，特別是一種薄膜光熱性能的測(cè)量裝置和測(cè)量方法。
背景技術(shù)：
表面熱透鏡技術(shù)原理圖如圖2所示。強(qiáng)度調(diào)制的基模泵浦激光匯聚入射到薄膜樣品的表面，薄膜吸收熱量形成熱波并擴(kuò)散到基底上引起薄膜系統(tǒng)的溫升，進(jìn)而導(dǎo)致熱膨脹形成表面熱包，熱包的縱向高度隨著泵浦激光的強(qiáng)度變化，徑向高度可視為呈高斯分布。這種現(xiàn)象也被稱(chēng)為“光熱形變”。一束探測(cè)激光照射到熱包表面上，熱包位于探測(cè)光斑的中心且小于探測(cè)光斑。受熱包的影響，反射探測(cè)激光光強(qiáng)將充分分布，這種現(xiàn)象被稱(chēng)為“表面熱透鏡效應(yīng)”。表面熱透鏡信號(hào)定義為泵浦激光照射前后反射探測(cè)激光中心光強(qiáng)的差值。理論和實(shí)驗(yàn)證明，當(dāng)樣品表面光熱形變很小時(shí)，對(duì)于滿足熱薄(薄膜厚度遠(yuǎn)小于其擴(kuò)散長(zhǎng)度)條件且基底吸收可忽略的薄膜樣品，表面熱透鏡信號(hào)與薄膜的吸收率成正比。因此，表面熱透鏡技術(shù)通常被作為測(cè)量薄膜樣品微弱吸收的一種方法，其探測(cè)靈敏度可以達(dá)到PPm量級(jí)， 遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于常規(guī)測(cè)量方法。常規(guī)的表面熱透鏡測(cè)量平臺(tái)與圖1類(lèi)似，只是缺少了縮束系統(tǒng)，聚焦透鏡，以及是機(jī)械斬波器而非聲光調(diào)制器。然而隨著對(duì)激光損傷機(jī)理和鍍膜工藝等方面研究的不斷深入，僅僅測(cè)量出薄膜整體的吸收率已經(jīng)越來(lái)越不能滿足實(shí)際的需求。目前國(guó)外很多的研究都把研究興趣放在了測(cè)量薄膜的其他光熱性質(zhì)，如薄膜的熱導(dǎo)率等。例如如果能夠測(cè)量出薄膜的熱導(dǎo)率，那么將極大地推進(jìn)激光損傷的微觀機(jī)制研究。在測(cè)量薄膜熱導(dǎo)率方向，國(guó)外已經(jīng)有了很多的測(cè)量數(shù)據(jù)，雖然結(jié)果不盡相同，但都有各自的參考意義，能夠在一定程度上輔助和推進(jìn)理論和鍍膜工藝的進(jìn)步。但是應(yīng)用傳統(tǒng)的表面熱透鏡測(cè)量技術(shù)，現(xiàn)階段還只能測(cè)量薄膜的整體吸收率，無(wú)法測(cè)量其他薄膜光熱信息，如熱導(dǎo)率、吸收雜質(zhì)深度分布等。究其原因，常規(guī)的表面熱透鏡測(cè)量平臺(tái)調(diào)制頻率往往是取一個(gè)較低的固定值，因?yàn)檎{(diào)制頻率越低，熱擴(kuò)散長(zhǎng)度就越大，越能滿足前面提及的熱薄條件。這對(duì)測(cè)量薄膜整體的吸收率是有利的，但是卻因?yàn)闊釘U(kuò)散長(zhǎng)度太大，而失去了對(duì)薄膜內(nèi)部光熱性質(zhì)進(jìn)行分辨的可能。如果能夠運(yùn)用新的調(diào)制方法，將泵浦激光的調(diào)制頻率提高到一個(gè)較高范圍，那么在理論上能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)薄膜內(nèi)部光熱信息的更加精細(xì)的測(cè)量。對(duì)于能夠測(cè)量薄膜內(nèi)部光熱信息的變頻測(cè)量方法，現(xiàn)有的理論和技術(shù)對(duì)于還沒(méi)有詳細(xì)和系統(tǒng)的論述。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明通過(guò)改進(jìn)傳統(tǒng)的表面熱透鏡測(cè)量平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)薄膜內(nèi)部光熱性能的測(cè)量，本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下—種薄膜光熱性能的測(cè)量裝置，其特點(diǎn)在于該裝置的構(gòu)成包括泵浦光路包括泵浦光激光器，沿該泵浦光激光器發(fā)出的泵浦光依次經(jīng)第一衰減器、第一縮束器、能量監(jiān)測(cè)器、聲光調(diào)制器和第一聚焦透鏡后照射在二維移動(dòng)平臺(tái)上的待測(cè)薄膜上；探測(cè)光路包括探測(cè)光激光器，沿該探測(cè)光激光器發(fā)出的探測(cè)光依次經(jīng)第二衰減器和第二聚焦透鏡照射在所述的二維移動(dòng)平臺(tái)上的待測(cè)薄膜上；由待測(cè)薄膜反射的光經(jīng)濾光片和第三聚焦透鏡進(jìn)入光電探測(cè)器，該光電探測(cè)器的輸出端接萬(wàn)用表和鎖相放大器的輸入端，所述的萬(wàn)用表和鎖相放大器的輸出端接計(jì)算機(jī)， 該計(jì)算機(jī)的輸出端接所述的二維移動(dòng)平臺(tái)的控制端，所述的鎖相放大器的TTL輸出端接所述的聲光調(diào)制器的輸入端。利用上述的薄膜光熱性能的測(cè)量裝置測(cè)量薄膜光熱性能的方法，其特點(diǎn)在于該方法包括下列步驟①將光電探測(cè)器的輸出端口同時(shí)接到萬(wàn)用表和鎖相放大器，分別讀取由光電探測(cè)器輸出信號(hào)的直流部分和交流部分；所述的聲光調(diào)制器的輸入調(diào)制頻率由鎖相放大器的 TTL輸出端口供給；計(jì)算機(jī)控制二維移動(dòng)平臺(tái)的移動(dòng)；②在二維移動(dòng)平臺(tái)上放置強(qiáng)吸收樣品，用來(lái)輔助校準(zhǔn)探測(cè)光束和泵浦光束的重合度調(diào)節(jié)泵浦光路，使泵浦激光器發(fā)射的泵浦光束經(jīng)過(guò)第一衰減器、縮束器、能量監(jiān)測(cè)器、聲光調(diào)制器和第一聚焦透鏡，垂直地照射在所述的樣品的表面上；調(diào)節(jié)探測(cè)激光光路探測(cè)激光器發(fā)射的探測(cè)光束經(jīng)第二衰減器、第二聚焦透鏡后， 入射到樣品表面上，使樣品表面上的探測(cè)光束光斑與所述的泵浦光束的光斑重合，反射光經(jīng)過(guò)濾光片和第三聚焦透鏡后，最終到達(dá)光電探測(cè)器處被接收若探測(cè)光與泵浦光的聚焦點(diǎn)完全重合，那么在光電探測(cè)器位置處可以看到清晰的衍射環(huán)；如果沒(méi)有觀察到清洗的衍射環(huán)，則進(jìn)一步精調(diào)探測(cè)光束與泵浦光束的重合度，直到最后觀察到清晰的衍射環(huán)；③將待測(cè)薄膜樣品放到由計(jì)算機(jī)控制的二維移動(dòng)平臺(tái)上，開(kāi)始正式測(cè)量；④逐步提高鎖相放大器輸出的調(diào)制頻率，記錄在不同調(diào)制頻率下所述的萬(wàn)用表和鎖相放大器測(cè)得的幅值和相位信息，送入所述的計(jì)算機(jī)；⑤計(jì)算機(jī)將不同調(diào)制頻率下的幅值和相位數(shù)據(jù)，繪制相應(yīng)的位相-調(diào)制頻率圖和幅值-調(diào)制頻率圖；⑥對(duì)于單層膜樣品，從所述的位相-調(diào)制頻率圖尋找局部峰對(duì)應(yīng)的調(diào)制頻率f，利用下列公式計(jì)算得出薄膜的熱導(dǎo)率信息k K= π l2f P c式中1，P，c分別用單層膜的厚度、密度與熱容值；⑦對(duì)于內(nèi)部含有強(qiáng)吸收膜層的薄膜，從所述的幅值-調(diào)制頻率圖尋找局部峰對(duì)應(yīng)的調(diào)制頻率f，利用下列公式計(jì)算得出強(qiáng)吸收層的深度d d=
]j π-ipc式中k，P，c分別用單層膜的熱導(dǎo)率、密度與熱容值。相比較原有的表面熱透鏡測(cè)量平臺(tái)，本發(fā)明具體的改進(jìn)之處在于1，增加了縮束系統(tǒng)，將泵浦激光束光束直徑縮小。這是因?yàn)槁暪庹{(diào)制器的通光孔徑很小，只有很細(xì)的光束才能都進(jìn)入。
2，利用聲光調(diào)制器代替原來(lái)的機(jī)械斬波器。傳統(tǒng)的薄膜吸收測(cè)量?jī)H需要較低的固定頻率，用機(jī)械斬波器就可以滿足要求；但是若要進(jìn)一步測(cè)量薄膜內(nèi)部的光熱性能，則需要在一個(gè)較高的頻率范圍內(nèi)進(jìn)行泵浦光調(diào)制，只有聲光調(diào)制器才能滿足要求。3，增加了探測(cè)面聚焦透鏡，為了加強(qiáng)探測(cè)信號(hào)的強(qiáng)度。這是因?yàn)殡S著調(diào)制頻率的升高，光熱信號(hào)隨之大幅衰減，必須通過(guò)一定的方式增加信號(hào)強(qiáng)度。4，精選高靈敏度的光電探測(cè)器，提高探測(cè)靈敏度。本發(fā)明的技術(shù)效果經(jīng)過(guò)本發(fā)明的改進(jìn)之后，表面熱透鏡測(cè)量平臺(tái)可以將泵浦光在IOlkHz之內(nèi)進(jìn)行調(diào)制，并可以測(cè)量在此頻率范圍內(nèi)的幅值和相位信息。通過(guò)分析，我們可以計(jì)算出薄膜的熱導(dǎo)率以及強(qiáng)吸收膜層的深度信息，對(duì)優(yōu)化鍍膜工藝和探尋損傷機(jī)制都有較大的輔助作用。


圖1為本發(fā)明薄膜光熱性能的測(cè)量裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為表面熱透鏡測(cè)量技術(shù)原理圖。圖3為單層膜理論計(jì)算模型。圖4為含有強(qiáng)吸收雜質(zhì)的單層膜理論計(jì)算模型。圖5為含有強(qiáng)吸收雜質(zhì)的單層膜表面熱包高度與調(diào)制頻率的理論模擬關(guān)系曲線。圖6為單層HfO2薄膜的光熱相位信號(hào)與調(diào)制頻率的關(guān)系曲線。圖7為內(nèi)部含有強(qiáng)吸收膜層的S^2單層膜光熱幅值信號(hào)與調(diào)制頻率的關(guān)系曲線。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明，但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。先請(qǐng)參閱圖1，圖1為本發(fā)明薄膜光熱性能的測(cè)量裝置結(jié)構(gòu)示意圖。由圖可見(jiàn)，本發(fā)明薄膜光熱性能的測(cè)量裝置的構(gòu)成包括泵浦光路包括泵浦光激光器1，沿該泵浦光激光器1發(fā)出的泵浦光依次經(jīng)第一衰減器2、第一縮束器3、能量監(jiān)測(cè)器4、聲光調(diào)制器5和第一聚焦透鏡6后照射在二維移動(dòng)平臺(tái)13上的待測(cè)薄膜上；探測(cè)光路包括探測(cè)光激光器7，沿該探測(cè)光激光器7發(fā)出的探測(cè)光依次經(jīng)第二衰減器8和第二聚焦透鏡9照射在所述的二維移動(dòng)平臺(tái)13上的待測(cè)薄膜上；由待測(cè)薄膜反射的光經(jīng)濾光片10和第三聚焦透鏡11進(jìn)入光電探測(cè)器12，該光電探測(cè)器12的輸出端接萬(wàn)用表14和鎖相放大器15的輸入端，所述的萬(wàn)用表14和鎖相放大器15的輸出端接計(jì)算機(jī)16，該計(jì)算機(jī)16的輸出端接所述的二維移動(dòng)平臺(tái)13的控制端，所述的鎖相放大器15的TTL輸出端接所述的聲光調(diào)制器5的輸入端。本實(shí)施例中本發(fā)明裝置的各個(gè)部件的具體作用如下l-1064nm連續(xù)激光器。輸出較高功率的1064nm激光，經(jīng)過(guò)光路最終聚焦在薄膜表面處，用于加熱薄膜樣品，形成表面形變。2-第一衰減器，由半波片和偏振片組成。對(duì)于吸收率不同的薄膜，需要用于加熱的激光功率是不同的，因此需要通過(guò)旋轉(zhuǎn)半波片的角度來(lái)調(diào)節(jié)通過(guò)的泵浦光束的功率。
3-縮束器，由兩個(gè)焦距不同透鏡組成。因?yàn)槁暪庹{(diào)制器的通光孔徑很小，激光器直接輸出的光束無(wú)法直接通過(guò)此小孔，因此利用此系統(tǒng)將光束縮小后再進(jìn)入聲光調(diào)制器。4-功率監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，由分光片和功率探測(cè)器組成。分光片將一部分光束能量反射到功率探頭內(nèi)，用以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)激光器的輸出功率。5-聲光調(diào)制器。將連續(xù)的泵浦光束調(diào)制成占空比為50%的周期光束，其具體調(diào)制頻率由鎖相放大器的輸出決定。6-第一聚焦透鏡。將泵浦光束聚焦在薄膜樣品表面上，用以加熱薄膜，形成周期性起伏的熱包。7-泵浦激光器為633nm探測(cè)激光器。輸出較低功率的633nm激光，用于檢測(cè)薄膜樣品表面形變信息。8-第二衰減器。通過(guò)旋轉(zhuǎn)此衰減器，可以調(diào)節(jié)透過(guò)的探測(cè)光束的強(qiáng)度，目的是為了保證探測(cè)光束強(qiáng)度一致，排除因?yàn)樘綔y(cè)光強(qiáng)度不同而帶來(lái)的測(cè)量誤差。9-第二聚焦透鏡。將探測(cè)光束聚焦到薄膜樣品上，需要保證探測(cè)光束的光斑位置和泵浦光束的光斑位置高度一致，在此條件下才能夠觀察到清晰的衍射環(huán)。10-濾光片。由于受到調(diào)制的泵浦光束在樣品表面產(chǎn)生散射，這一部分能量如果也進(jìn)入到光電探測(cè)器中，會(huì)對(duì)測(cè)量結(jié)果造成很大的干擾，因此需要用濾光片來(lái)濾除散射的泵浦光。11-第三聚焦透鏡。當(dāng)調(diào)制頻率較高時(shí)，探測(cè)到的信號(hào)強(qiáng)度非常微弱，因此需要盡可能地增加探測(cè)的靈敏度。通過(guò)在光電探測(cè)器之前加裝一個(gè)聚焦透鏡，能夠顯著地提高高頻下探測(cè)信號(hào)的強(qiáng)度。12-光電探測(cè)器。選擇高靈敏度的光電探測(cè)器，將探測(cè)光束強(qiáng)度的變化轉(zhuǎn)變?yōu)闇y(cè)量?jī)x器可識(shí)別的電學(xué)信號(hào)。13-二維移動(dòng)平臺(tái)。用來(lái)固定待測(cè)量薄膜樣品，另外通過(guò)計(jì)算機(jī)控制，可以將樣品在二維平面上移動(dòng)，用以掃描測(cè)量薄膜不同位置處的光熱信息。14-萬(wàn)用表。如前所述，如果探測(cè)光束的功率不一致，會(huì)給測(cè)量結(jié)果引入較大誤差。 因此用萬(wàn)用表實(shí)時(shí)檢測(cè)探測(cè)光束中心點(diǎn)處直流強(qiáng)度，并通過(guò)調(diào)節(jié)衰減器來(lái)保證探測(cè)光束功率穩(wěn)定，盡可能減小這種引入誤差。目前我們的直流信號(hào)強(qiáng)度控制在300mV左右。15-鎖相放大器。薄膜表面周期性起伏的熱包會(huì)對(duì)探測(cè)光束進(jìn)行衍射，使得探測(cè)光束中心點(diǎn)處光強(qiáng)產(chǎn)生微小的周期性波動(dòng)，通常方法是很難檢測(cè)到如此微小的信號(hào)的，因此需要運(yùn)用鎖相放大器來(lái)對(duì)特定頻率的信號(hào)進(jìn)行篩選和放大。通常薄膜樣品產(chǎn)生的光熱信號(hào)均在uV量級(jí)。16-計(jì)算機(jī)，用以控制二維移動(dòng)平臺(tái)的精密移動(dòng)，以及處理相關(guān)的測(cè)量數(shù)據(jù)。本發(fā)明的測(cè)量具體原理如下熱導(dǎo)率測(cè)量對(duì)于圖3所示的單層膜系統(tǒng)，我們可以列出其溫度場(chǎng)方程pc ^ISLll = kV2T(t,r) + Q(t,r)(1)
dt其中T為溫度，t為時(shí)間，P為薄膜密度，Cp為薄膜熱容，k為薄膜熱導(dǎo)率，Q為單位體積內(nèi)的熱生成率。
對(duì)于此溫度場(chǎng)方程，并沒(méi)有嚴(yán)格的解析解。但是在一些近似的前提下，可以通過(guò)求解得到薄膜的溫度場(chǎng)與調(diào)制頻率的變化關(guān)系，再將溫度場(chǎng)帶入到Navier-Stockes方程中， 可得到最后的形變量與調(diào)制頻率的關(guān)系，具體的求解過(guò)程在此不再?gòu)?fù)述，讀者可以參閱相關(guān)文獻(xiàn)。理論和實(shí)驗(yàn)結(jié)果告訴我們，當(dāng)d = Lth,即薄膜厚度和熱波的擴(kuò)散長(zhǎng)度相等時(shí)，光熱信號(hào)的相位信息會(huì)存在一個(gè)較為明顯的局部峰值。而薄膜的熱擴(kuò)散長(zhǎng)度定義為
權(quán)利要求
1.一種薄膜光熱性能的測(cè)量裝置，其特征在于該裝置的構(gòu)成包括泵浦光路包括泵浦光激光器(1)，沿該泵浦光激光器(1)發(fā)出的泵浦光依次經(jīng)第一衰減器O)、第一縮束器(3)、能量監(jiān)測(cè)器G)、聲光調(diào)制器( 和第一聚焦透鏡(6)后照射在二維移動(dòng)平臺(tái)(1 上的待測(cè)薄膜上；探測(cè)光路包括探測(cè)光激光器(7)，沿該探測(cè)光激光器(7)發(fā)出的探測(cè)光依次經(jīng)第二衰減器(8)和第二聚焦透鏡(9)照射在所述的二維移動(dòng)平臺(tái)(1 上的待測(cè)薄膜上；由待測(cè)薄膜反射的光經(jīng)濾光片(10)和第三聚焦透鏡(11)進(jìn)入光電探測(cè)器(12)，該光電探測(cè)器(1 的輸出端接萬(wàn)用表(14)和鎖相放大器(1 的輸入端，所述的萬(wàn)用表(14) 和鎖相放大器(1 的輸出端接計(jì)算機(jī)(16)，該計(jì)算機(jī)(16)的輸出端接所述的二維移動(dòng)平臺(tái)(1 的控制端，所述的鎖相放大器(1 的TTL輸出端接所述的聲光調(diào)制器(5)的輸入端。
2.利用權(quán)利要求1所述的薄膜光熱性能的測(cè)量裝置測(cè)量薄膜光熱性能的方法，其特征在于該方法包括下列步驟①將所述的待測(cè)薄膜置于所述的二維移動(dòng)平臺(tái)(1 上；將光電探測(cè)器(1 的輸出端口同時(shí)接到萬(wàn)用表(14)和鎖相放大器(15)，分別讀取由光電探測(cè)器(12)輸出信號(hào)的直流部分和交流部分；所述的聲光調(diào)制器( 的輸入頻率由鎖相放大器(1 的TTL輸出端口供給；計(jì)算機(jī)(16)控制二維移動(dòng)平臺(tái)(1 的移動(dòng)；②在二維移動(dòng)平臺(tái)上放置強(qiáng)吸收樣品，用來(lái)輔助校準(zhǔn)探測(cè)光束和泵浦光束的重合度調(diào)節(jié)泵浦光路，使泵浦激光器(1)發(fā)射的泵浦光束經(jīng)過(guò)第一衰減器O)、縮束器(3)、能量監(jiān)測(cè)器G)、聲光調(diào)制器( 和第一聚焦透鏡(6)，垂直地照射在所述的樣品的表面上；調(diào)節(jié)探測(cè)激光光路探測(cè)激光器(7)發(fā)射的探測(cè)光束經(jīng)第二衰減器(8)、第二聚焦透鏡后(9)，入射到樣品表面上，使樣品表面上的探測(cè)光束光斑與所述的泵浦光束的光斑重合， 反射光經(jīng)過(guò)濾光片(10)和第三聚焦透鏡(11)后，最終到達(dá)光電探測(cè)器(12)處被接收若探測(cè)光與泵浦光的聚焦點(diǎn)完全重合，那么在光電探測(cè)器(1 位置處可以看到清晰的衍射環(huán)；如果沒(méi)有觀察到清洗的衍射環(huán)，則進(jìn)一步精調(diào)探測(cè)光束與泵浦光束的重合度，直到最后觀察到清晰的衍射環(huán)；③將待測(cè)薄膜樣品放到由計(jì)算機(jī)(16)控制的二維移動(dòng)平臺(tái)(1 上，開(kāi)始正式測(cè)量；④逐步提高鎖相放大器(1 輸出的調(diào)制頻率，記錄在不同調(diào)制頻率下所述的萬(wàn)用表 (14)和鎖相放大器(1 測(cè)得的幅值和相位信息，送入所述的計(jì)算機(jī)；⑤計(jì)算機(jī)將不同調(diào)制頻率下的幅值和相位數(shù)據(jù)，繪制相應(yīng)的位相-調(diào)制頻率圖和幅值-調(diào)制頻率圖；⑥對(duì)于單層膜樣品，從所述的位相-調(diào)制頻率圖尋找局部峰對(duì)應(yīng)的調(diào)制頻率f，利用下列公式計(jì)算得出薄膜的熱導(dǎo)率信息k K= 31 l2f P C式中1，P，C分別用單層膜的厚度、密度與熱容值；⑦對(duì)于內(nèi)部含有強(qiáng)吸收膜層的薄膜，從所述的幅值-調(diào)制頻率圖尋找局部峰對(duì)應(yīng)的調(diào)制頻率f，利用下列公式計(jì)算得出強(qiáng)吸收層的深度d 式中k，P，C分別用單層膜的熱導(dǎo)率、密度與熱容值。
全文摘要
一種薄膜光熱性能的測(cè)量裝置和測(cè)量方法。本發(fā)明是在原有的表面熱透鏡技術(shù)的基礎(chǔ)上，通過(guò)改變泵浦光束的調(diào)制頻率，來(lái)獲取探測(cè)信號(hào)的幅值和相位信號(hào)隨頻率的變化關(guān)系。將此關(guān)系與理論模型的計(jì)算結(jié)果對(duì)比后，可以得到薄膜內(nèi)部的一些重要信息。本發(fā)明不僅能夠測(cè)量薄膜的吸收率，還可以測(cè)量出單層膜的熱導(dǎo)率以及一些強(qiáng)吸收雜質(zhì)的深度分度，因此可以對(duì)薄膜的光熱性能做出全面的評(píng)價(jià)，對(duì)優(yōu)化鍍膜工藝和探尋損傷機(jī)制等方面都有較大的輔助作用。
文檔編號(hào)G01N21/31GK102393370SQ20111035073
公開(kāi)日2012年3月28日 申請(qǐng)日期2011年11月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月8日
發(fā)明者徐俊海, 范正修, 趙元安 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所