專利名稱：平板狀被檢查體的測試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對液晶顯示面板那樣的平板狀被檢查體進(jìn)行測試的裝置。
背景技術(shù)：
關(guān)于對液晶顯示面板那樣的顯示用面板進(jìn)行點(diǎn)亮測試的裝置，一般存在包括如下 構(gòu)件的技術(shù)承接被檢查體的如檢查臺或工作臺那樣的面板承接件；使面板承接件在XYZ3 個(gè)方向上以及繞沿Z方向延伸的θ軸線位移的臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)；具有多個(gè)探針塊的探針單元， 該探針塊具有與被檢查體的電極接觸的多個(gè)觸頭(參照專利文獻(xiàn)1、2、3等)。這些以往技術(shù)都是在使探針塊退避到面板承接面的側(cè)方的狀態(tài)下，利用搬運(yùn)裝置 從面板承接件上方對面板承接件進(jìn)行被檢查體的授受。在對被檢查體進(jìn)行測試時(shí)，探針塊 在X方向或Y方向上移動(dòng)，并且探針塊與面板承接件向彼此靠近的方向移動(dòng)，以使觸頭的針 尖接觸到被檢查體的電極。在如上所述的測試裝置中，在對面板承接件授受被檢查體以及進(jìn)行搬運(yùn)時(shí)，有時(shí) 被檢查體會(huì)從搬運(yùn)裝置掉落。在這種情況下，一旦被檢查體碰撞到探針塊特別是觸頭，觸頭 就會(huì)被損傷而變得不能使用。專利文獻(xiàn)1 日本特開2006-119031號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2006-138634號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2007-40747號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，防止被檢查體掉落到觸頭上。本發(fā)明的檢查裝置包括面板承接件，其具有承接平板狀被檢查體的矩形的面板 承接面；探針單元，其具有探針塊，該探針塊具有按壓在上述被檢查體的電極上的多個(gè)觸 頭；以及保護(hù)裝置，其針對被進(jìn)行對上述面板承接面的授受的被檢查體進(jìn)行上述觸頭的保 護(hù)，該保護(hù)裝置具有多個(gè)保護(hù)構(gòu)件，該多個(gè)保護(hù)構(gòu)件位于上述面板承接面的外側(cè)；上述多個(gè) 保護(hù)構(gòu)件在上述矩形的至少一條邊的方向上隔開間隔，各上述保護(hù)構(gòu)件的上端位于上述觸 頭的最高位置上方的位置。也可以是，上述保護(hù)裝置包括調(diào)準(zhǔn)裝置，該調(diào)準(zhǔn)裝置相對于上述觸頭對由上述面 板承接件承接的被檢查體進(jìn)行定位，上述調(diào)準(zhǔn)裝置包括在與上述矩形的相對的一對邊中 的一條邊和另一條邊對應(yīng)的部位上分別在對應(yīng)的邊的長度方向上隔開間隔地配置的一對 第1推動(dòng)機(jī)構(gòu)和一對第1定位機(jī)構(gòu)；以及在與上述矩形的相對的另外一對邊中的一條邊和 另一條邊對應(yīng)的部位上分別配置的第2推動(dòng)機(jī)構(gòu)和第2定位機(jī)構(gòu)；上述推動(dòng)機(jī)構(gòu)或上述定 位機(jī)構(gòu)作為上述保護(hù)構(gòu)件發(fā)揮作用。也可以是，上述推動(dòng)機(jī)構(gòu)和上述定位機(jī)構(gòu)分別包括推壓構(gòu)件，其位于與由上述面 板承接件承接的被檢查體相同高度的位置；支承構(gòu)件，其支承上述推壓構(gòu)件，該支承構(gòu)件具 有上述上端；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其為了使上述推壓構(gòu)件相對于上述被檢查體進(jìn)退而使上述支承構(gòu)件移動(dòng)。也可以是，各上述定位機(jī)構(gòu)的上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)克服與上述定位機(jī)構(gòu)相對的推動(dòng)機(jī)構(gòu) 的推壓力而維持上述推壓構(gòu)件在對應(yīng)的推壓構(gòu)件的進(jìn)退方向上的位置，并且這種維持能夠 被解除。也可以是，各上述保護(hù)構(gòu)件包括基部，其安裝在上述面板承接件上；以及延伸 部，其從上述基部向上方延伸。也可以是，上述多個(gè)保護(hù)構(gòu)件以能夠選擇性地安裝于在該保護(hù)構(gòu)件離開的方向上 隔開間隔的多個(gè)部位的適當(dāng)部位上的方式配置在上述面板承接件上。也可以是，上述面板承接件還包括長尺構(gòu)件，該長尺構(gòu)件在上述多個(gè)保護(hù)構(gòu)件離 開的方向上延伸，上述長尺構(gòu)件具有在上述離開的方向上隔開間隔的多個(gè)螺紋孔，在該多 個(gè)螺紋孔中選擇性地螺合螺紋構(gòu)件，該螺紋構(gòu)件能夠拆卸地螺紋固定上述多個(gè)保護(hù)構(gòu)件。也可以是，上述探針塊以能夠后退成使上述觸頭的針尖位于與上述面板承接面?zhèn)?相反的一側(cè)的方式配置在上述面板承接件上，上述與上述面板承接面?zhèn)认喾吹囊粋?cè)是以上 述保護(hù)構(gòu)件在與上述邊的方向交叉的方向上的位置為基準(zhǔn)來說的。也可以是，上述面板承接件包括共同形成矩形的開口的四個(gè)片構(gòu)件，該四個(gè)片構(gòu) 件共同形成上述面板承接面，各上述片構(gòu)件與上述矩形的一條邊對應(yīng)，各上述探針單元和 各上述保護(hù)構(gòu)件配置在相同的上述片構(gòu)件上。也可以是，本發(fā)明的測試裝置還包括臺基座，各片構(gòu)件包括移動(dòng)片，該移動(dòng)片以能 夠改變上述開口的大小地沿X方向和Y方向能夠移動(dòng)的方式配置在上述臺基座上，上述移 動(dòng)片包括第1片部，其與上述臺基座平行地配置在該臺基座上；以及第2片部，其從上述 第1片部的上述面板承接面?zhèn)认蛏戏搅⑵?，上述?片部具有形成上述面板承接面的一部 分的上表面；上述探針單元和上述保護(hù)構(gòu)件配置在上述第1片部上。也可以是，相對的一對移動(dòng)片在Y方向上隔開間隔并與X方向平行地延伸，相對的 另外一對移動(dòng)片在X方向上隔開間隔并與Y方向平行地延伸，這四個(gè)移動(dòng)片共同形成上述 開口，并且共同形成上述面板承接面，還能夠改變上述開口的大小地配置在上述臺基座上， 鄰接的移動(dòng)片以互不妨礙對方沿Y方向或X方向獨(dú)立地移動(dòng)的方式結(jié)合在一起。也可以是，各上述移動(dòng)片的上述第1片部和第2片部包括板狀部，該板狀部在該移 動(dòng)片的移動(dòng)方向上尺寸長。也可以是，本發(fā)明的測試裝置還包括調(diào)準(zhǔn)裝置，該調(diào)準(zhǔn)裝置相對于上述觸頭對由 上述面板承接件承接的被檢查體進(jìn)行定位，上述調(diào)準(zhǔn)裝置包括配置在與上述矩形的各邊對 應(yīng)的部位上的至少一個(gè)推動(dòng)機(jī)構(gòu)或定位機(jī)構(gòu)，上述推動(dòng)機(jī)構(gòu)和上述定位機(jī)構(gòu)分別包括推 壓構(gòu)件，其位于與由上述面板承接件承接的被檢查體相同高度的位置的、上述面板承接面 的外側(cè)；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使上述推壓構(gòu)件相對于上述被檢查體進(jìn)退；各上述保護(hù)構(gòu)件的 上端位于上述推壓構(gòu)件的最高位置的上方。也可以是，上述調(diào)準(zhǔn)裝置包括在與上述矩形的相對的一對邊中的一條邊和另一 條邊對應(yīng)的部位上分別在對應(yīng)的邊的長度方向上隔開間隔地配置的一對第1推動(dòng)機(jī)構(gòu)和 一對第1定位機(jī)構(gòu)；以及在與上述矩形的相對的另外一對邊中的一條邊和另一條邊對應(yīng)的 部位上分別配置的第2推動(dòng)機(jī)構(gòu)和第2定位機(jī)構(gòu)；各上述定位機(jī)構(gòu)的上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)克服與 上述定位機(jī)構(gòu)相對的推動(dòng)機(jī)構(gòu)的推壓力而維持上述推壓構(gòu)件在對應(yīng)的推壓構(gòu)件的進(jìn)退方向上的位置，并且這種維持能夠被解除。在本發(fā)明中，多個(gè)保護(hù)構(gòu)件在矩形的至少一條邊的方向上隔開間隔，而且各保護(hù) 構(gòu)件的上端設(shè)置在觸頭的最高位置的上方，因此例如即使被檢查體以與觸頭沖撞那樣的狀 態(tài)掉落，也能夠由保護(hù)構(gòu)件承接被檢查體。其結(jié)果，防止被檢查體向觸頭掉落，防止觸頭損 傷。保護(hù)裝置包括調(diào)準(zhǔn)裝置，該調(diào)準(zhǔn)裝置包括在與矩形的相對的一對邊中的一條邊和 另一條邊對應(yīng)的部位上分別在對應(yīng)的邊的長度方向上隔開間隔地配置的一對第1推動(dòng)機(jī) 構(gòu)和一對第1定位機(jī)構(gòu)，如果使推動(dòng)機(jī)構(gòu)或定位機(jī)構(gòu)作為保護(hù)構(gòu)件發(fā)揮作用，則與另行設(shè) 置推動(dòng)機(jī)構(gòu)或定位機(jī)構(gòu)以外的構(gòu)件作為保護(hù)構(gòu)件的情況相比，減少零件個(gè)數(shù)。在包括相對于上述觸頭對由面板承接件承接的被檢查體進(jìn)行定位的調(diào)準(zhǔn)裝置、并 且與調(diào)準(zhǔn)裝置不同地另行具有各保護(hù)構(gòu)件的檢查裝置中，如果各保護(hù)構(gòu)件的上端位于上述 推壓構(gòu)件的最高位置的上方，則掉落的被檢查體在與調(diào)準(zhǔn)裝置接觸之前與保護(hù)構(gòu)件接觸。 其結(jié)果，可防止被檢查體向推壓構(gòu)件掉落。


圖1是表示本發(fā)明的測試裝置的一實(shí)施例的立體圖；圖2是圖1所示的測試裝置的俯視圖；圖3是沿圖2中的3-3線截取而得到的剖視圖；圖4是除去平臺和臺單元的、圖1所示的測試裝置的立體圖；圖5是除去平臺和臺單元后的、圖1所示的測試裝置的局部剖視圖；圖6是表示面板承接件、調(diào)準(zhǔn)裝置以及保護(hù)構(gòu)件的結(jié)合狀態(tài)的立體圖；圖7是為了說明結(jié)合裝置的一實(shí)施例而分解表示面板承接件與承接該面板承接 件的臺基座的立體圖；圖8是圖7的俯視圖；圖9是沿圖8中的9-9線截取而得到的剖視圖；圖10是沿圖8中的10-10線截取而得到的剖視圖；圖11是說明調(diào)準(zhǔn)裝置和探針單元的位移狀態(tài)的圖，(A)表示對面板承接件進(jìn)行被 檢查體的授受的狀態(tài)，(B)表示利用調(diào)準(zhǔn)裝置夾持了被檢查體的狀態(tài)，(C)表示對被檢查體 進(jìn)行調(diào)準(zhǔn)的狀態(tài)；圖12是用于說明由圖1所示的測試裝置進(jìn)行的定位的圖，是說明使被檢查體繞θ 軸線角度旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)的圖；圖13是表示本發(fā)明的測試裝置的第2實(shí)施例的立體圖，是省略了平臺、臺基座以 及結(jié)合機(jī)構(gòu)的圖；圖14是表示圖13所示的測試裝置中的面板承接件、探針單元、單元支承機(jī)構(gòu)以及 調(diào)準(zhǔn)裝置的立體圖；圖15是沿圖14中的15-15線截取而得到的剖視圖；圖16是用于說明圖13所示的測試裝置中的面板承接件、推壓構(gòu)件以及觸頭之間 的高度位置關(guān)系的放大圖。
具體實(shí)施例方式[術(shù)語說明]在本發(fā)明中，在圖2中，將紙背面方向稱為Z方向或上下方向，將左右方向稱為X 方向或左右方向，將上下方向稱為Y方向或前后方向。但是，這些方向根據(jù)測試時(shí)的被檢查 體的姿勢而不同。因此，本發(fā)明的測試裝置可以在由X方向和Y方向規(guī)定的XY面成為水平面的狀 態(tài)、相對于水平面傾斜的狀態(tài)等任意狀態(tài)下使用。[實(shí)施例]參照圖1 圖4，測試裝置10用作以下裝置，該裝置將封入了液晶的液晶顯示面板 那樣的顯示用面板作為平板狀被檢查體12(參照圖3、5、11、12等)，將該被檢查體12與預(yù) 定的電路連接而進(jìn)行點(diǎn)亮檢查那樣的電測試。被檢查體12具有矩形形狀，而且在與矩形的幾個(gè)邊對應(yīng)的各個(gè)緣部上具有多個(gè) 電極。以下，為了便于理解，將被檢查體12作為具有在X方向上長的長方形形狀來進(jìn)行說 明。在圖示的例子中，被檢查體12在與矩形的鄰接的兩條邊對應(yīng)的兩個(gè)緣部上，分別在所 對應(yīng)的緣部的長度方向上隔開間隔地具有多個(gè)電極。[測試裝置]測試裝置10包含設(shè)備基座即平臺14 ；臺基座16，其與平臺14隔開間隔地配置在 平臺14的上側(cè)；面板承接件18，其配置在臺基座16的上側(cè)，并承接被檢查體12 ；多個(gè)探針 單元20，其配置在面板承接件18的上側(cè)；單元支承機(jī)構(gòu)22，其使面板承接件18支承各探針 單元20 ；多個(gè)相機(jī)裝置M，其安裝在探針單元20上，以從上方拍攝由面板承接件18承接的 被檢查體12的標(biāo)記部；后述的調(diào)準(zhǔn)裝置，其相對于面板承接件18對由面板承接件18承接 的被檢查體12進(jìn)行定位；多個(gè)保護(hù)構(gòu)件沈，其配置在面板承接件18之上。在圖示的例子中，探針單元20分別配置在與矩形的鄰接的兩條邊對應(yīng)的部位上， 而且多個(gè)保護(hù)構(gòu)件沈分別配置在配置有探針單元20的部位上。但是，根據(jù)被檢查體12的 電極的配置位置而決定探針單元20和保護(hù)構(gòu)件沈的配置部位。即，在被檢查體12中，不僅存在如上所述的被檢查體，還存在將多個(gè)電極配置在 與矩形的一條邊對應(yīng)的部位上的被檢查體、將多個(gè)電極分別配置在與矩形的相對的兩條邊 對應(yīng)的部位上的被檢查體、將多個(gè)電極分別配置在與矩形的3個(gè)邊對應(yīng)的部位上的被檢查 體等等。因此，探針單元20配置在配置有電極的部位上，保護(hù)觸頭的保護(hù)構(gòu)件沈配置在配 置有探針單元的部位上。另外，在圖示的例子中，單元支承機(jī)構(gòu)22分別配置在與矩形的各邊對應(yīng)的部位 上。但是，單元支承機(jī)構(gòu)22也可以配置在沒有配置探針單元20的部位上。而且，在圖示的例子中，在與矩形的鄰接的兩條邊中的一條邊對應(yīng)的部位上在該 邊的長度方向上隔開間隔地配置有兩個(gè)相機(jī)裝置24，并且在與上述鄰接的兩條邊的另一條 邊對應(yīng)的部位上配置有一個(gè)相機(jī)裝置24。但是，也可以在各探針單元20上在探針單元20 的長度方向上隔開間隔地配置兩個(gè)相機(jī)裝置對。平臺14被支承在測試裝置10的框架(未圖示)上。但是，平臺14也可以是框架 的一部分。平臺14與臺基座16具有矩形的板形狀，而且以臺基座16位于平臺14的上方 的狀態(tài)在Z(上下)方向上彼此隔開間隔。
臺基座16被多個(gè)支柱30 (參照圖幻支承在平臺14上，而且在中央?yún)^(qū)域具有比被 檢查體12大的矩形的開口 16a(參照圖3)。在平臺14與臺基座16之間配置有已知的背光 燈單元32(參照圖幻。背光燈單元32是將光經(jīng)由臺基座16、面板承接件18等的開口而照 射到被檢查體12的背面的已知裝置。[面板承接件]如圖7詳細(xì)所示，面板承接件18包括組合成井字形或卍字形的四個(gè)片構(gòu)件即移動(dòng) 片34。關(guān)于各移動(dòng)片34，將板狀的第1片部3 和板狀的第2片部34b以第1片部3 與 臺基座16平行且第2片部34b的寬度方向成為上下方向的狀態(tài)結(jié)合成L字形，其中，第1 片部3 和第2片部34b分別呈寬度尺寸較小的長方形。一對相對的移動(dòng)片34在XY面上以在Y方向上隔開間隔并與X方向平行的方式延 伸，另一對相對的移動(dòng)片34在XY面上以在X方向上隔開間隔并與Y方向平行的方式延伸。 這些移動(dòng)片34利用結(jié)合機(jī)構(gòu)40在與臺基座16平行的面(XY面)上能夠二維(在X方向 和Y方向上)移動(dòng)地結(jié)合在臺基座16上。這四個(gè)移動(dòng)片34共同形成與被檢查體12相似的矩形開口 36，并且繞開口 36在第 2片部34b的頂面上形成矩形的面板承接面38。開口 36與臺基座16的開口 16a相對，以 允許來自背光燈單元32的光朝向由面板承接面38承接的被檢查體12前進(jìn)。這樣的四個(gè)移動(dòng)片34能夠改變開口 36的大小地(即在XY面上能夠二維移動(dòng)地) 結(jié)合在臺基座16上。鄰接的兩個(gè)移動(dòng)片34分別以在X方向或Y方向(該移動(dòng)片34的長度方向)上能 夠一體移動(dòng)以及在Y方向或X方向上能夠單獨(dú)移動(dòng)的方式在鄰接的兩個(gè)移動(dòng)片34中的一 個(gè)的寬度方向上的一端部(開口 36側(cè)的端部)和上述鄰接的兩個(gè)移動(dòng)片34中的另一個(gè)的 長度方向上的一端部上通過適當(dāng)?shù)慕Y(jié)合方法而結(jié)合。由此，鄰接的移動(dòng)片34在不妨礙對方 移動(dòng)片34在Y方向或X方向上獨(dú)立移動(dòng)的情況下結(jié)合在一起。至于這種結(jié)合方法，例如可使用所謂的燕尾槽與所謂的燕尾桿的組合，該燕尾槽 在X方向(或Y方向)上延伸并在開口 36側(cè)敞開、并且具有截頂三角形的截面形狀，該燕 尾桿能夠滑動(dòng)地嵌合在該燕尾槽中并具有截頂三角形的截面形狀。燕尾槽形成在鄰接的兩個(gè)移動(dòng)片34中的一個(gè)的寬度方向上的靠近開口 36側(cè)的端 緣部上，燕尾桿形成在鄰接的兩個(gè)移動(dòng)片34中的另一個(gè)的長度方向上的一端緣部上。但是，也可以代替燕尾槽與燕尾桿的組合，使用像導(dǎo)軌與能夠滑動(dòng)地且不能脫離 地結(jié)合在該導(dǎo)軌上的導(dǎo)向件的組合那樣的其結(jié)合方法。雖未圖示，但在各移動(dòng)片34上設(shè)置有將被檢查體12吸附在面板承接面38上的吸 附裝置和使被檢查體12從面板承接面38上浮的上浮裝置。至于吸附裝置，可使用真空吸附裝置，該真空吸附裝置使用朝面板承接面38敞開 且與真空裝置那樣的減壓源連接的多個(gè)槽或孔。在利用上述調(diào)準(zhǔn)裝置使被檢查體12位移時(shí)，上浮裝置使被檢查體12從面板承接 面38上浮，從而使被檢查體12在調(diào)準(zhǔn)時(shí)順暢地移動(dòng)。至于這樣的上浮裝置，可使用機(jī)械式上浮裝置、空氣式上浮裝置等，該機(jī)械式上浮 裝置使用一部分相對于面板承接面38能夠突出退避地配置在筒構(gòu)件上的滾珠、和以使?jié)L 珠的一部分在面板承接面38上暴露的方式進(jìn)行施力的彈簧，該空氣式上浮裝置利用壓縮空氣使被檢查體12從面板承接面38上浮。在電測試期間，被檢查體12被吸附裝置真空吸附在面板承接面38上并可靠地維 持，而且在對面板承接面38進(jìn)行被檢查體12的授受時(shí)解除吸附，在進(jìn)行對準(zhǔn)時(shí)解除吸附并 利用上浮裝置使被檢查體12從面板承接面38稍微上浮。[結(jié)合機(jī)構(gòu)]如圖1、2、3、7、8、9、10等所示，為了將四個(gè)移動(dòng)片34在X方向和Y方向上能夠移 動(dòng)地結(jié)合在臺基座16上，在臺基座16與面板承接件18之間配置有結(jié)合機(jī)構(gòu)40。在圖示的例子中，結(jié)合機(jī)構(gòu)40包括帶狀的一對第1滑動(dòng)件42，其在X方向上隔 開間隔并與Y方向平行地延伸、且沿X方向能夠移動(dòng)地配置在臺基座16上；帶狀的一對第 2滑動(dòng)件44，其位于第1滑動(dòng)件42的上方，在Y方向上隔開間隔并與X方向平行地延伸、且 沿Y方向能夠移動(dòng)地配置在臺基座16上；兩組結(jié)合構(gòu)件46a、46b ；—對導(dǎo)向件47a、47b，其 在沿X方向延伸的各移動(dòng)片34的第1片部34a的下表面上，在移動(dòng)片34的長度方向上隔 開間隔地設(shè)置；一對軌道49a，其在沿X方向延伸的各移動(dòng)片34的第1片部34a的下表面 上，在Y方向上隔開間隔地設(shè)置；一對軌道49b，其在沿Y方向延伸的各移動(dòng)片34的第1片 部34a的下表面上，在X方向上隔開間隔地設(shè)置?；瑒?dòng)件42的一端部和另一端部以使滑動(dòng)件42在設(shè)置在臺基座16的上表面上的 一對軌道48上沿X方向能夠移動(dòng)地與一對軌道48結(jié)合；滑動(dòng)件44的一端部和另一端部以 使滑動(dòng)件44在設(shè)置在臺基座16的上表面上的一對軌道48上沿Y方向能夠移動(dòng)地與一對 軌道48結(jié)合。各結(jié)合構(gòu)件46a能夠沿Y方向移動(dòng)地與設(shè)置在對應(yīng)的第1滑動(dòng)件42上并沿Y方 向延伸的一對軌道50結(jié)合，而且在上部具有沿X方向能夠移動(dòng)地嵌合在軌道49a上的導(dǎo)向 件51a，該軌道49a設(shè)置在沿X方向延伸的移動(dòng)片34上(參照圖9)。各結(jié)合構(gòu)件46b能夠沿Y方向移動(dòng)地與設(shè)置在對應(yīng)的第1滑動(dòng)件42上并沿Y方 向延伸的一對軌道50結(jié)合，而且在上部具有沿Y方向能夠移動(dòng)地嵌合在軌道49b上的導(dǎo)向 件51b，該軌道49b設(shè)置在沿Y方向延伸的移動(dòng)片34上(參照圖10)。在設(shè)置在對應(yīng)的第2滑動(dòng)件44上的軌道50上嵌合有設(shè)置在沿X方向延伸的各移 動(dòng)片；34上的一對導(dǎo)向件47a、47b。上述結(jié)果，各移動(dòng)片34在XY面上能夠二維移動(dòng)地結(jié)合、支承在臺基座16上。第1滑動(dòng)件42、第2滑動(dòng)件44分別利用移動(dòng)片移動(dòng)機(jī)構(gòu)52在X方向(或Y方向) 上移動(dòng)，被維持在該移動(dòng)方向上的合適位置處，并且這種維持能夠被解除。在圖示的例子中，作為各移動(dòng)片移動(dòng)機(jī)構(gòu)52，使用如下機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)包括電動(dòng) 機(jī)，其設(shè)置在臺基座16的上表面上；滾珠絲杠，其以在X方向(或Y方向)上延伸的狀態(tài)與 上述電動(dòng)機(jī)連結(jié)，利用該電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)；以及螺母，其與該滾珠絲杠螺合且利用連結(jié)件與滑動(dòng) 件42或滑動(dòng)件44連結(jié)。電動(dòng)機(jī)是能夠控制位置的電動(dòng)機(jī)，以使得像脈沖電動(dòng)機(jī)那樣維持 旋轉(zhuǎn)角度位置，并且能夠解除這種維持。例如，一旦沿Y方向延伸的各滑動(dòng)件42利用對應(yīng)的移動(dòng)片移動(dòng)機(jī)構(gòu)52沿X方向 移動(dòng)，經(jīng)由結(jié)合構(gòu)件46b與滑動(dòng)件44連結(jié)的、沿Y方向延伸的移動(dòng)片34就通過軌道49b與 導(dǎo)向件51b的結(jié)合沿X方向移動(dòng)，并且，與該移動(dòng)片34連結(jié)且沿X方向延伸的移動(dòng)片34通 過推拉沿X方向移動(dòng)。
另外，一旦沿X方向延伸的各滑動(dòng)件44利用對應(yīng)的移動(dòng)片移動(dòng)機(jī)構(gòu)52沿Y方向 移動(dòng)，經(jīng)由結(jié)合構(gòu)件46a與滑動(dòng)件44連結(jié)且沿X方向延伸的移動(dòng)片34就通過軌道49a與 導(dǎo)向件51a的結(jié)合沿Y方向移動(dòng)，并且，與該移動(dòng)片34連結(jié)且沿Y方向延伸的移動(dòng)片34通 過推拉沿Y方向移動(dòng)。因此，四個(gè)移動(dòng)片34以改變開口 36的大小的方式二維移動(dòng)。其結(jié)果，能夠根據(jù)要 測試的被檢查體12的大小改變開口 36甚至面板承接面38的大小。該作業(yè)先于被檢查體 12的點(diǎn)亮測試進(jìn)行。[調(diào)準(zhǔn)裝置]參照圖1 3，上述調(diào)準(zhǔn)裝置包括在面板承接面38的相對的一對邊(X邊)中的 一條邊和另一條邊上分別在對應(yīng)的邊的長度方向上隔開間隔地配置的一對第1推動(dòng)機(jī)構(gòu) 60和一對第1定位機(jī)構(gòu)62 ；以及在面板承接面38的相對的另外一對邊(Y邊)中的一條邊 和另一條邊上分別配置的第2推動(dòng)機(jī)構(gòu)64和第2定位機(jī)構(gòu)66。推動(dòng)機(jī)構(gòu)60、64分別使被檢查體12相對于定位機(jī)構(gòu)62或定位機(jī)構(gòu)66進(jìn)退，該定 位機(jī)構(gòu)62或定位機(jī)構(gòu)66配置在與配置有推動(dòng)機(jī)構(gòu)60或64的一側(cè)相反的一側(cè)。相反，定 位機(jī)構(gòu)62、66分別決定被檢查體12在X方向(或Y方向)上的基準(zhǔn)位置。關(guān)于推動(dòng)機(jī)構(gòu)60、64以及定位機(jī)構(gòu)62、66，如在圖5、6中代表性地示出其中一個(gè) 那樣，分別位于與面板承接面38相同高度的位置，并包括推壓構(gòu)件70，其在俯視狀態(tài)下位 于面板承接面38的外側(cè)；支柱狀的移動(dòng)體72，其支承推壓構(gòu)件70 ；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)74，其使移動(dòng) 體72甚至推壓構(gòu)件70相對于面板承接面38進(jìn)退；支承板76，其支承推壓構(gòu)件70、移動(dòng)體 72、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)74。在圖示的例子中，移動(dòng)體72具有在上下方向上延伸的支柱狀的形狀。推壓構(gòu)件70 是利用安裝銷78在移動(dòng)體72的上端部能夠繞沿Z方向延伸的軸線旋轉(zhuǎn)地安裝于移動(dòng)體72 的輥，但也可以是其他構(gòu)件。支承板76沿第1片部3 的長度方向(X方向或Y方向)能夠移動(dòng)地組裝在一對 軌道80上，該一對軌道80設(shè)置在面板承接件18的移動(dòng)片34的第1片部34a的上表面上。 兩軌道80在第1片部34a的寬度方向(Y方向或X方向)上隔開間隔并與長度方向(X方 向或Y方向)平行地延伸。支承板76利用導(dǎo)向件82組裝在一個(gè)軌道80上，而且載置在另一個(gè)軌道80的上 表面上。因此，一個(gè)軌道80作為導(dǎo)軌發(fā)揮作用。另一個(gè)軌道80在多個(gè)部位上分別具有在 上方敞開的陰螺紋孔84，所述多個(gè)部位在該軌道80的長度方向(X方向或Y方向)上隔開 間隔(參照圖6)。如圖6所示，在另一個(gè)軌道80上載置有帶狀的止動(dòng)件88，該止動(dòng)件88具有在X方 向(或Y方向)上延伸的長孔86，并且不能相對移動(dòng)地設(shè)置在支承板76上。利用螺栓90 將止動(dòng)件88安裝在另一個(gè)軌道80上且該安裝能夠被解除，該螺栓90從上方插入長孔86 中而螺合在陰螺紋孔84中。由此，各支承板76固定在X方向(或Y方向)上的規(guī)定的位 置處，且該固定能夠被解除。上述結(jié)果，推動(dòng)機(jī)構(gòu)60、64以及定位機(jī)構(gòu)62、66分別能夠固定在X方向(或Y方 向)上的預(yù)定的位置處且該固定能夠被解除。因此，另一個(gè)軌道80作為能夠固定推動(dòng)機(jī)構(gòu) 和定位機(jī)構(gòu)在X方向(或Y方向)上的位置的固定軌道而發(fā)揮作用，并且該固定能夠被解
但是，通過改變螺合螺栓90的陰螺紋孔84和止動(dòng)件88相對于螺栓90的位置，能 夠根據(jù)被檢查體12的種類、大小等選擇推動(dòng)機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)在X方向(或Y方向)上的位置。各驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)74包括一對軌道92，其在第1片部3 的長度方向(X方向或Y方 向)上隔開間隔，在第1片部34a的寬度方向(Y方向或X方向)上延伸；滑動(dòng)件94，其沿 第1片部3 的寬度方向能夠移動(dòng)地嵌合在各軌道92上；連結(jié)板96，其連結(jié)兩滑動(dòng)件94 ； 驅(qū)動(dòng)源98，其使推壓構(gòu)件70沿支承板76的寬度方向移動(dòng)?；瑒?dòng)件94安裝在連結(jié)板96的下表面上。驅(qū)動(dòng)源98在圖5、6中表示為浮在空中， 但實(shí)際上不能移動(dòng)地支承在支承板76上。移動(dòng)體72以直立狀態(tài)安裝在連結(jié)板96之上。但 是，也可以將移動(dòng)體72和連結(jié)板96設(shè)為一體構(gòu)造。推動(dòng)機(jī)構(gòu)60、64的各驅(qū)動(dòng)源98是氣壓缸體或油壓缸體那樣的流體壓力缸體機(jī)構(gòu)。 該缸體機(jī)構(gòu)的缸體安裝在支承板76上，活塞桿連結(jié)于移動(dòng)體72。也可以將活塞桿連結(jié)在滑 動(dòng)件94上。推動(dòng)機(jī)構(gòu)60、64的各驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)74通過利用驅(qū)動(dòng)源98使移動(dòng)體72相對于第2片 部34b進(jìn)退，使推壓構(gòu)件70相對于面板承接面38甚至被檢查體12進(jìn)退。定位機(jī)構(gòu)62、66的各驅(qū)動(dòng)源98是像脈沖電動(dòng)機(jī)那樣能夠控制旋轉(zhuǎn)角度位置的電 動(dòng)機(jī)。因此，定位機(jī)構(gòu)62、66的各驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)74還包括滾珠絲杠(未圖示)，其從對應(yīng)的驅(qū) 動(dòng)源98延伸出并在支承板76的寬度方向上延伸，利用對應(yīng)的驅(qū)動(dòng)源98旋轉(zhuǎn)；螺母(未圖 示)，其與該滾珠絲杠螺合。螺母安裝在移動(dòng)體72 (或連結(jié)板96)上。定位機(jī)構(gòu)62、66的各驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)74通過利用驅(qū)動(dòng)源98使?jié)L珠絲杠旋轉(zhuǎn)，使螺母相 對于第2片部34b進(jìn)退，由此使推壓構(gòu)件70相對于面板承接面38甚至被檢查體12進(jìn)退。 但是，定位機(jī)構(gòu)62、66的各驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)74克服與定位機(jī)構(gòu)62、66相對的推動(dòng)機(jī)構(gòu)60或推動(dòng) 機(jī)構(gòu)64的推壓力地維持推壓構(gòu)件70在對應(yīng)的推壓構(gòu)件70的進(jìn)退方向上的位置，并且這種 維持能夠被解除。如圖12所示，推動(dòng)機(jī)構(gòu)60、64的各驅(qū)動(dòng)源(缸體機(jī)構(gòu))98利用閥裝置104選擇性 地與兩個(gè)壓力流體源100、102連接，該兩個(gè)壓力流體源100、102貯存有具有互不相同的壓 力的、被壓縮的空氣或油那樣的壓力流體。閥裝置104包括利用閥驅(qū)動(dòng)器106選擇性地驅(qū)動(dòng)的多個(gè)閥。各閥選擇性地將推動(dòng) 機(jī)構(gòu)60、64的驅(qū)動(dòng)源98中的一個(gè)與壓力流體源100、102中的一個(gè)相連接。由此，上述缸體 機(jī)構(gòu)的活塞桿相對于缸體進(jìn)退，從而推壓構(gòu)件70相對于面板承接面38甚至被檢查體12進(jìn)退。定位機(jī)構(gòu)62、66的各驅(qū)動(dòng)源(能夠控制位置的電動(dòng)機(jī))74被電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器108驅(qū) 動(dòng)，利用對應(yīng)的推壓構(gòu)件70決定被檢查體12在X方向(或Y方向)上的基準(zhǔn)位置。根據(jù) 被檢查體12的種類、大小等預(yù)先決定各個(gè)基準(zhǔn)位置。具有如上所述的構(gòu)造的調(diào)準(zhǔn)裝置使得用于X方向上的定位機(jī)構(gòu)66的推壓構(gòu)件70 在X方向上進(jìn)退而維持在被檢查體12在X方向上的基準(zhǔn)位置處，并且利用用于X方向上的 推動(dòng)機(jī)構(gòu)64的推壓構(gòu)件70將被檢查體12向用于X方向上的定位機(jī)構(gòu)66的推壓構(gòu)件70 推壓。由此，進(jìn)行被檢查體12在X方向上的調(diào)準(zhǔn)。
通過使得用于Y方向上的定位機(jī)構(gòu)62、62和用于Y方向上的推動(dòng)機(jī)構(gòu)60、60進(jìn)行 如上所述那樣的動(dòng)作，進(jìn)行被檢查體12在Y方向上的調(diào)準(zhǔn)。關(guān)于被檢查體12繞沿Z方向延伸的θ軸線的調(diào)準(zhǔn)，例如如圖12所示，可通過使 得用于Y方向上的定位機(jī)構(gòu)62、66和用于Y方向上的推動(dòng)機(jī)構(gòu)60、64的推壓構(gòu)件70分別 沿X方向和Y方向移動(dòng)而進(jìn)行。在進(jìn)行如上所述的調(diào)準(zhǔn)時(shí)，各推動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)源與壓力較低的壓力流體源100連 接。由此，被檢查體12被推壓構(gòu)件70以較弱的力夾持。其結(jié)果，當(dāng)被檢查體12沖撞到推 壓構(gòu)件70時(shí)，作用于被檢查體12的沖擊較小，從而防止該沖擊引起被檢查體12破損。在進(jìn)行調(diào)準(zhǔn)的期間，被檢查體12利用已述的上浮裝置從面板承接面38上浮。因 此，在進(jìn)行對準(zhǔn)時(shí)，被檢查體12順暢地移動(dòng)，可進(jìn)行準(zhǔn)確的調(diào)準(zhǔn)。如上所述，在進(jìn)行調(diào)準(zhǔn)時(shí)，由各定位機(jī)構(gòu)的推壓構(gòu)件70決定被檢查體12的基準(zhǔn)位 置，因此各定位機(jī)構(gòu)的推壓構(gòu)件70由至少難以或不會(huì)沿其移動(dòng)方向彈性變形或者難以或 不會(huì)磨損的材料、例如硬質(zhì)樹脂制成。由此，即使被檢查體12被推動(dòng)機(jī)構(gòu)的推壓構(gòu)件70推壓，定位機(jī)構(gòu)的推壓構(gòu)件70 也通過與使用能夠控制位置的電動(dòng)機(jī)作為驅(qū)動(dòng)源的情況相結(jié)合來維持基準(zhǔn)位置。另外，可 以不考慮推壓構(gòu)件70的彈性變形就決定用作驅(qū)動(dòng)源的電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)量，因此電動(dòng)機(jī)的位 置控制變得容易。但是，在考慮推壓構(gòu)件70的彈性變形而決定用作驅(qū)動(dòng)源的電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)量時(shí)，也 可以利用能夠彈性變形的材料制作定位機(jī)構(gòu)的推壓構(gòu)件70。相反，推動(dòng)機(jī)構(gòu)的推壓構(gòu)件70可使用具有不會(huì)使被檢查體12破損的程度的硬度 的樹脂那樣的材料。因此，推動(dòng)機(jī)構(gòu)的推壓構(gòu)件70可以是不會(huì)彈性變形的材料和能夠彈性 變形的材料中的任一個(gè)。一旦結(jié)束調(diào)準(zhǔn)，各推動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)源就與壓力較高的壓力流體源102連接。由此， 被檢查體12被推壓構(gòu)件70以較強(qiáng)的力夾持。被檢查體12被維持為由推壓構(gòu)件70牢牢地 夾持的狀態(tài)，直到點(diǎn)亮測試結(jié)束。[探針單元]如圖5所示，各探針單元20包括板狀的支承基座110，其沿矩形的邊(沿X方向 或Y方向)延伸，并且支承在單元支承機(jī)構(gòu)22上；多個(gè)支承塊112，其在支承基座110的長 度方向上隔開間隔地安裝在支承基座110上；移動(dòng)塊114，其沿Z方向能夠移動(dòng)地支承在各 支承塊112上；探針塊116，其安裝在各移動(dòng)塊114上。支承基座110利用多個(gè)螺紋構(gòu)件(未圖示)能夠拆卸地安裝在單元支承機(jī)構(gòu)22 的上表面上。各支承塊112具有從其上端部向面板承接面38側(cè)突出的突出部11加。利用設(shè)置在支承基座110的前側(cè)(開口 36側(cè))并沿上下方向延伸的軌道120和 沿上下方向能夠移動(dòng)地結(jié)合在軌道120上的導(dǎo)向件122將各移動(dòng)塊114組裝在支承塊112 上，而且可利用調(diào)整螺釘1 來調(diào)整各移動(dòng)塊114在上下方向上的位置，該調(diào)整螺紋IM在 上下方向上貫穿支承塊112的突出部11 并與移動(dòng)塊114螺合。各探針塊116是具有在X方向(或Y方向)上隔開間隔地排列的多個(gè)觸頭118 的已知構(gòu)件，而且以將這些觸頭118的針尖朝向面板承接件18的狀態(tài)被支承在移動(dòng)塊114 上。
[單元支承機(jī)構(gòu)]如圖5所示，單元支承機(jī)構(gòu)22包括板狀的移動(dòng)體承接件130，其配置在面板承接 件18的第1片部3 上，并且在第1片部34a的長度方向上延伸；第1移動(dòng)體132，其配置 在移動(dòng)體承接件130上；第2移動(dòng)體134，其沿相對于面板承接面38傾斜的方向能夠移動(dòng) 地結(jié)合在第1移動(dòng)體132上；頂板136，其安裝在第2移動(dòng)體134的上端部；探針移動(dòng)機(jī)構(gòu) 138，其使第1移動(dòng)體132沿第1片部3 的寬度方向移動(dòng)；擋塊140，其限制第2移動(dòng)體134 的前進(jìn)極限位置(most forward position)(開口 36側(cè)的位置)。移動(dòng)體承接件130利用一對或多對軌道142和導(dǎo)向件144結(jié)合在第1片部3 之 上，該一對或多對軌道142以在移動(dòng)體承接件130的寬度方向上隔開間隔并與移動(dòng)體承接 件130的長度方向(X方向或Y方向)平行地延伸的狀態(tài)設(shè)置在第1片部3 上，該導(dǎo)向件 144支承在各軌道142上并沿其長度方向能夠移動(dòng)，并且組裝在移動(dòng)體承接件130的下側(cè)。 因此，移動(dòng)體承接件130能夠沿第1片部34a的長度方向移動(dòng)。第1移動(dòng)體132利用多對軌道146和導(dǎo)向件148結(jié)合在移動(dòng)體承接件130之上， 該多對軌道146以在移動(dòng)體承接件130(第1片部34a)的長度方向上隔開間隔并與移動(dòng)體 承接件130的寬度方向平行地延伸的狀態(tài)設(shè)置在移動(dòng)體承接件130上，該導(dǎo)向件148支承 在各軌道146上并沿它們的長度方向能夠移動(dòng)，并且組裝在第1移動(dòng)體132的下側(cè)。因此， 第1移動(dòng)體132能夠沿移動(dòng)體承接件130(或第1片部34a)的寬度方向移動(dòng)。第1移動(dòng)體132和第2移動(dòng)體134以使第2移動(dòng)體134位于面板承接面38側(cè)地 相對于面板承接面38傾斜地結(jié)合。因此，第1移動(dòng)體132和第2移動(dòng)體134分別具有斜朝 下面和斜朝上面。第2移動(dòng)體134沿第1片部34a的長度方向延伸，并且以越是上部越靠 近面板承接面38側(cè)的方式傾斜延伸。另外，第2移動(dòng)體134利用一對軌道152和導(dǎo)向件巧4結(jié)合在第1移動(dòng)體132上， 該一對軌道152設(shè)置在第1移動(dòng)體132的斜朝下面上，在第1片部34a的長度方向上隔開 間隔并與第1片部34a的寬度方向平行地延伸，該導(dǎo)向件巧4結(jié)合在各軌道152上并沿其 長度方向能夠移動(dòng)，并且設(shè)置在第2移動(dòng)體134的斜朝上面上。因此，第2移動(dòng)體134相對 于第1移動(dòng)體132能夠向斜方向移動(dòng)。頂板136具有在第1片部34a的長度方向上長的長方形形狀，而且安裝在第2移 動(dòng)體134的頂部上。探針單元20安裝在頂板136之上，并支承在第2移動(dòng)體134上。各探針移動(dòng)機(jī)構(gòu)138使用如下機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)包括電動(dòng)機(jī)156，其設(shè)置在移動(dòng)體承 接件130的上表面上；滾珠絲杠158，其以在X方向(或Y方向)上延伸的狀態(tài)與電動(dòng)機(jī)156 連結(jié)，利用電動(dòng)機(jī)156旋轉(zhuǎn)；螺母160，其與滾珠絲杠158螺合，安裝在第2移動(dòng)體134上。電動(dòng)機(jī)156是能夠控制位置的電動(dòng)機(jī)，以使得像脈沖電動(dòng)機(jī)那樣維持旋轉(zhuǎn)角度位 置且能夠解除這種維持，而且電動(dòng)機(jī)156經(jīng)由支架164支承在移動(dòng)體承接件130上。滾珠 絲杠158與電動(dòng)機(jī)156的旋轉(zhuǎn)軸連結(jié)，并且經(jīng)由另一支架166支承在移動(dòng)體承接件130上。另外，第1移動(dòng)體132和第2移動(dòng)體134利用孔168和桿170來防止在與斜朝下 面、斜朝上面垂直的方向上的相對位移以及在第1移動(dòng)體132和第2移動(dòng)體134的長度方 向上的相對位移，該孔168以向斜上方延伸并在上端敞開的方式形成在第1移動(dòng)體132，該 桿170從上方插入孔168中。第1移動(dòng)體132和第2移動(dòng)體134被壓縮螺旋彈簧172以使第1移動(dòng)體132和第2移動(dòng)體134在桿170的長度方向上離開方式相對施力，該壓縮螺旋彈簧172是繞桿170配 置的。實(shí)際上，由于利用軌道146和導(dǎo)向件148來防止第1移動(dòng)體132沿桿170的長度方 向位移，因此第2移動(dòng)體134被彈簧172向斜上方施力。另外，單元支承機(jī)構(gòu)22包括設(shè)置在第1移動(dòng)體132上的擋塊174，以限制第2移動(dòng) 體134的上升極限位置。擋塊174設(shè)置在第1移動(dòng)體132的斜朝下面上，以使得當(dāng)?shù)?移 動(dòng)體134上升了時(shí)擋塊174與導(dǎo)向件巧4抵接，從而阻止第2移動(dòng)體134上升。在如上所述的單元支承機(jī)構(gòu)22中，一旦第1移動(dòng)體132通過電動(dòng)機(jī)156的正向旋 轉(zhuǎn)而朝向被檢查體12移動(dòng)，第2移動(dòng)體134也向相同的方向移動(dòng)。此時(shí)，克服彈簧172的 作用力使第2移動(dòng)體134向斜下方位移的一對位移產(chǎn)生機(jī)構(gòu)176設(shè)置在配置有探針單元20 的各第2移動(dòng)體134上并在該第2移動(dòng)體的長度方向上隔開間隔。各位移產(chǎn)生機(jī)構(gòu)176包括二字形的支架178，其設(shè)置在第2移動(dòng)體134的靠近被 檢查體12側(cè)的斜朝下面上；輥180，其繞沿第2移動(dòng)體134的長度方向延伸的軸線能夠旋 轉(zhuǎn)地并能夠與擋塊140抵接地安裝在支架178上。在單元支承機(jī)構(gòu)22中，一旦第1移動(dòng)體132和第2移動(dòng)體134利用電動(dòng)機(jī)156朝 向被檢查體12移動(dòng)，輥180就與擋塊140抵接。一旦第1移動(dòng)體132和第2移動(dòng)體134利用電動(dòng)機(jī)156朝向被檢查體12移動(dòng)，第 2移動(dòng)體134的前進(jìn)就被擋塊140阻止。由此，在軌道152與導(dǎo)向件154的嵌合部上產(chǎn)生使 第2移動(dòng)體134向斜下方位移的位移力。這種位移力使第2移動(dòng)體134伴隨第1移動(dòng)體132的進(jìn)一步前進(jìn)而向下方移動(dòng)。 其結(jié)果，探針單元20向下方移動(dòng)，從而設(shè)置在探針塊116上的觸頭118的針尖按壓到被檢 查體12的電極上。此時(shí)，被檢查體12被推壓構(gòu)件70以較強(qiáng)的力夾持的情況和被檢查體12被吸附在 面板承接面38上的情況互相結(jié)合，從而即使觸頭118的針尖按壓在被檢查體12的電極上， 也能夠可靠地防止被檢查體12相對于面板承接件18和探針單元20位移。在上述狀態(tài)下，一旦電動(dòng)機(jī)156反向旋轉(zhuǎn)，則在輥180與擋塊140抵接的狀態(tài)下， 第1移動(dòng)體132相對于面板承接面38和第2移動(dòng)體134后退。在此期間，第2移動(dòng)體134 通過彈簧172的力相對于第1移動(dòng)體132上升，探針塊116從被檢查體12向上方離開。一旦電動(dòng)機(jī)156進(jìn)一步反向旋轉(zhuǎn)，第1移動(dòng)體132就繼續(xù)后退。但是，導(dǎo)向件巧4 與擋塊174的抵接使第2移動(dòng)體134停止上升，在該狀態(tài)下第2移動(dòng)體134與第1移動(dòng)體 132 一起相對于面板承接面38朝向退避位置后退。如上所述，第2移動(dòng)體134和探針塊116通過電動(dòng)機(jī)156的正向旋轉(zhuǎn)而相對于面 板承接面38和被檢查體12前進(jìn)和下降，從而維持在前進(jìn)和下降的位置，并且這種維持能夠 被解除，另外通過電動(dòng)機(jī)156的反向旋轉(zhuǎn)而上升和后退，從而維持在退避位置，并且這種維 持能夠被解除。在第2移動(dòng)體134甚至探針塊116后退到退避位置的狀態(tài)下，對面板承接面38進(jìn) 行被檢查體12的更換。此時(shí)，被檢查體12從面板承接面38上浮的情況和探針單元20從 面板承接面38大幅后退的情況互相結(jié)合，從而對面板承接面38進(jìn)行的被檢查體12的授受變得容易。[相機(jī)裝置]
如圖5所示，各相機(jī)裝置M包括支承在探針單元20的支承基座110上的倒L字 形的支承塊182、和被支撐在支承塊182上并從被檢查體12的標(biāo)記部(未圖示)上方拍攝 該標(biāo)記部的相機(jī)184。標(biāo)記部是設(shè)置在被檢查體12上的標(biāo)記自身、特定的觸頭的針尖等。相機(jī)184是拍 攝被檢查體12的標(biāo)記部附近并產(chǎn)生圖像信號的攝像機(jī)那樣的區(qū)域傳感器(area sensor), 可使用C⑶區(qū)域傳感器。各相機(jī)184的輸出信號在未圖示的控制裝置中被進(jìn)行圖像處理，用于求出被檢查 體12相對于測試裝置10特別是面板承接件18、探針單元20等的位置偏移。求出的位置偏 移用于對上述調(diào)準(zhǔn)裝置進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的信號。[移動(dòng)片調(diào)整裝置]如圖1、2、4所示，面板承接件18的各移動(dòng)體承接件130利用移動(dòng)片調(diào)整裝置186 沿X方向(或Y方向)移動(dòng)，從而調(diào)整X方向(或Y方向)上的位置。各移動(dòng)片調(diào)整裝置186例如可包括能夠控制位置的電動(dòng)機(jī)，其配置在第1片部 3 上；滾珠絲杠，其利用該電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)；螺母，其與該滾珠絲杠螺合；結(jié)合件，其結(jié)合在該 螺母和移動(dòng)體承接件130上。在上述情況下，通過電動(dòng)機(jī)的正向旋轉(zhuǎn)和反向旋轉(zhuǎn)使螺母沿X方向(或Y方向) 移動(dòng)，從而使移動(dòng)體承接件130向與螺母移動(dòng)方向相同的方向移動(dòng)。由此，調(diào)整移動(dòng)體承接 件130相對于移動(dòng)片34在X方向(或Y方向)上的位置，并維持在該位置且這種維持能夠 被解除，因此能夠可靠地使各觸頭的針尖與被檢查體12的電極接觸。[保護(hù)構(gòu)件]參照圖5和6，為了在配置有探針單元20的各移動(dòng)片34上在該移動(dòng)片的長度方向 上隔開間隔地配置多個(gè)保護(hù)構(gòu)件26，測試裝置10在配置有探針單元20的各移動(dòng)片34上固 定有軌道190。各軌道190位于對應(yīng)的移動(dòng)片34的第1片部34a的上表面上，在靠近第2片部 34b的一側(cè)在第2片部34b的長度方向上延伸，而且具有在對應(yīng)的移動(dòng)片34的長度方向上 隔開間隔的多個(gè)螺紋孔192。各螺紋孔192在軌道190的上方敞開。各保護(hù)桿即保護(hù)構(gòu)件沈具有在上下方向上長的L字形形狀，而且包括基部^b， 其具有在軌道190的長度方向上長的槽參照圖6)；延伸部^c，其從基部26b延伸出 并在上下方向上延伸。利用螺栓194將這樣的各保護(hù)構(gòu)件沈安裝在對應(yīng)的移動(dòng)片34上， 該螺栓194將上述槽26a從上方貫穿到下方并螺合在軌道190的螺紋孔192中。在軌道190的長度方向上鄰接的保護(hù)構(gòu)件沈的間隔大于在軌道190的長度方向 上鄰接的螺紋孔192的間隔，但根據(jù)被檢查體12的種類和大小而定。各保護(hù)構(gòu)件沈的延 伸部^c的長度尺寸具有延伸部的上端位于處在退避位置處的探針塊116和推壓構(gòu)件70 的最高位置的上方的值。[檢查裝置的動(dòng)作]利用搬運(yùn)裝置或手動(dòng)操作從面板承接件18的上方對面板承接件18進(jìn)行被檢查體 12的授受。在面板承接件18上不存在其他被檢查體12且如圖11的(A)所示那樣各推壓構(gòu) 件70和各探針塊116后退至退避位置的狀態(tài)下，未檢查的被檢查體12被傳送到面板承接件18。接著，如圖11的(B)所示，各推壓構(gòu)件70前進(jìn)，由此未檢查的被檢查體12被調(diào)準(zhǔn)。 在此期間，推動(dòng)機(jī)構(gòu)60、64分別通過較低的流體壓力而工作，從而防止被檢查體12破損。接著，如圖11的(C)所示，各探針塊116前進(jìn)，各觸頭的針尖移動(dòng)到被檢查體12 的電極的上方。從此時(shí)起，推動(dòng)機(jī)構(gòu)60、64分別通過較高的流體壓力而工作，從而防止被檢 查體12位移。接著，各探針塊Il6下降，各觸頭的針尖按壓被檢查體12的電極。在該狀態(tài)下，被 檢查體12被通電，進(jìn)行被檢查體12的點(diǎn)亮測試。在點(diǎn)亮檢查期間，推動(dòng)機(jī)構(gòu)60、64分別通 過較高的流體壓力而工作，從而防止被檢查體12位移。上述點(diǎn)亮測試既可以是作業(yè)人員從上方目視被檢查體12的目視點(diǎn)亮測試，也可 以是使用攝像機(jī)那樣的區(qū)域傳感器且在控制裝置中進(jìn)行圖像處理的自動(dòng)點(diǎn)亮測試。一旦結(jié)束電測試，各推壓構(gòu)件70和各探針塊116就后退至圖11的(A)所示的位 置，利用上浮裝置使檢查完畢的被檢查體12從面板承接面38上浮后，利用搬運(yùn)裝置或手動(dòng) 操作從面板承接件18取下該被檢查體12。在對面板承接件18進(jìn)行被檢查體12的授受時(shí)，各保護(hù)構(gòu)件沈的上端位于推壓構(gòu) 件70和探針塊116(觸頭118)的最高位置的上方，因此例如即使被檢查體12以與觸頭118 或推壓構(gòu)件70沖撞的狀態(tài)掉落，該被檢查體12也會(huì)被保護(hù)構(gòu)件沈承接。其結(jié)果，防止被 檢查體12向探針塊116(觸頭118)和推壓構(gòu)件70掉落，可防止觸頭118損傷。另外，即使探針塊116后退至退避位置，在進(jìn)行被檢查體的授受或搬運(yùn)時(shí)，有時(shí)被 檢查體12掉落時(shí)也會(huì)沖撞到觸頭118。但是，即使在這種情況下，由于根據(jù)測試裝置10，可 用保護(hù)構(gòu)件26接住被檢查體12，因此防止了觸頭118損傷。[其他實(shí)施例]參照圖13 16，在測試裝置200中，代替測試裝置10中的保護(hù)構(gòu)件沈而將定位 裝置的推動(dòng)機(jī)構(gòu)或定位機(jī)構(gòu)用作針對掉落的被檢查體進(jìn)行對觸頭118的保護(hù)的保護(hù)構(gòu)件。 在圖示的例子中，將位于配置有探針單元20側(cè)的第1定位機(jī)構(gòu)6 和第2定位機(jī)構(gòu)66a用 作保護(hù)構(gòu)件。第1定位機(jī)構(gòu)6 和第2定位機(jī)構(gòu)66a分別除具有用于承接掉落的被檢查體的上 端外，具有與上述定位機(jī)構(gòu)62、66相同的構(gòu)造。在圖示的例子中，移動(dòng)體72的上端高于位 于退避位置的觸頭118的最高位置，以使得在移動(dòng)體72的上端承接掉落的被檢查體而保護(hù) 觸頭118。根據(jù)測試裝置200，由于在定位機(jī)構(gòu)6 或定位機(jī)構(gòu)66a的上端承接掉落的被檢查 體，因此也針對掉落的被檢查體進(jìn)行對觸頭118的保護(hù)，防止其損傷。在測試裝置200中，在第1推動(dòng)機(jī)構(gòu)64或第2推動(dòng)機(jī)構(gòu)68位于探針單元20的配 置側(cè)時(shí)，使它們的移動(dòng)體72的上端高于位于退避位置的觸頭118的最高位置，以使得該推 動(dòng)機(jī)構(gòu)作為保護(hù)構(gòu)件發(fā)揮作用。但是，也可以將所有的推動(dòng)機(jī)構(gòu)和所有的定位機(jī)構(gòu)的最高 位置設(shè)為如上所述的值，使得所有的推動(dòng)機(jī)構(gòu)和所有的定位機(jī)構(gòu)作為保護(hù)構(gòu)件發(fā)揮作用。關(guān)于用作單元支承機(jī)構(gòu)22、結(jié)合機(jī)構(gòu)40、移動(dòng)片移動(dòng)機(jī)構(gòu)52、定位機(jī)構(gòu)62、66、背 光燈單元32、探針移動(dòng)機(jī)構(gòu)138等使兩個(gè)構(gòu)件相對移動(dòng)的機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)源的電動(dòng)機(jī)，只要能 夠控制位置，則可以是旋轉(zhuǎn)式電動(dòng)機(jī)和線性電動(dòng)機(jī)的任一種。
同樣，各推動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)源也可以是能夠?qū)⑿D(zhuǎn)力或推進(jìn)力在比定位機(jī)構(gòu)的電動(dòng) 機(jī)小的范圍內(nèi)改變?yōu)閮杉壍男D(zhuǎn)式電動(dòng)機(jī)和線性電動(dòng)機(jī)的任一種。但是，因?yàn)閴嚎s空氣的體積根據(jù)壓力而改變，所以如果將使用壓縮空氣的缸體機(jī) 構(gòu)用作推動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)源，則在進(jìn)行對準(zhǔn)時(shí)，推壓構(gòu)件與被檢查體沖撞時(shí)的沖擊大幅降低。 因此，優(yōu)選的是，選用使用壓縮空氣的缸體機(jī)構(gòu)。面板承接件18也可以具有不能改變開口 36的大小的構(gòu)造、例如專用于相同大小 的被檢查體的構(gòu)造。另外，定位機(jī)構(gòu)的構(gòu)造也能夠進(jìn)行各種變形。本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施例，只要不脫離權(quán)利要求書所述的主旨，就能夠進(jìn)行 各種變形。
權(quán)利要求
1.一種平板狀被檢查體的測試裝置，其中，上述測試裝置包括面板承接件，其具有承接平板狀被檢查體的矩形的面板承接面；探針單元，其具有探針塊，該探針塊具有按壓于上述被檢查體的電極的多個(gè)觸頭；以及保護(hù)裝置，其針對被進(jìn)行對上述面板承接面的授受的被檢查體進(jìn)行上述觸頭的保護(hù)， 該保護(hù)裝置具有多個(gè)保護(hù)構(gòu)件，該多個(gè)保護(hù)構(gòu)件位于上述面板承接面的外側(cè)；上述多個(gè)保護(hù)構(gòu)件在上述矩形的至少一條邊的方向上隔開間隔，各上述保護(hù)構(gòu)件的上端位于比上述觸頭的最高位置靠向上方的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置，其中，上述保護(hù)裝置包括調(diào)準(zhǔn)裝置，該調(diào)準(zhǔn)裝置相對于上述觸頭對由上述面板承接件承接的 被檢查體進(jìn)行定位，上述調(diào)準(zhǔn)裝置包括在與上述矩形的相對的一對邊中的一條邊和另一條邊對應(yīng)的部位 上分別在對應(yīng)的邊的長度方向上隔開間隔地配置的一對第1推動(dòng)機(jī)構(gòu)和一對第1定位機(jī) 構(gòu)；以及在與上述矩形的相對的另外一對邊中的一條邊和另一條邊對應(yīng)的部位上分別配置 的第2推動(dòng)機(jī)構(gòu)和第2定位機(jī)構(gòu)；上述推動(dòng)機(jī)構(gòu)或上述定位機(jī)構(gòu)作為上述保護(hù)構(gòu)件發(fā)揮作用。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測試裝置，其中，上述推動(dòng)機(jī)構(gòu)和上述定位機(jī)構(gòu)分別包括推壓構(gòu)件，其位于與由上述面板承接件承接 的被檢查體相同高度的位置；支承構(gòu)件，其支承上述推壓構(gòu)件，該支承構(gòu)件具有上述上端； 以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其為了使上述推壓構(gòu)件相對于上述被檢查體進(jìn)退而使上述支承構(gòu)件移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測試裝置，其中，各上述定位機(jī)構(gòu)的上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)克服與上述定位機(jī)構(gòu)相對的推動(dòng)機(jī)構(gòu)的推壓力而維 持上述推壓構(gòu)件在對應(yīng)的推壓構(gòu)件的進(jìn)退方向上的位置，并且這種維持能夠被解除。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置，其中，各上述保護(hù)構(gòu)件包括基部，其安裝在上述面板承接件上以及延伸部，其從上述基部 向上方延伸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置，其中，上述多個(gè)保護(hù)構(gòu)件以能夠選擇性地安裝于在該保護(hù)構(gòu)件離開的方向上隔開間隔的多 個(gè)部位的適當(dāng)部位上的方式配置在上述面板承接件上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置，其中，上述面板承接件還包括長尺構(gòu)件，該長尺構(gòu)件在上述多個(gè)保護(hù)構(gòu)件離開的方向上延伸，上述長尺構(gòu)件具有在上述離開的方向上隔開間隔的多個(gè)螺紋孔，在該多個(gè)螺紋孔中選 擇性地螺合螺紋構(gòu)件，該螺紋構(gòu)件能夠拆卸地螺紋固定上述多個(gè)保護(hù)構(gòu)件。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置，其中，上述探針塊以能夠后退成使上述觸頭的針尖位于與上述面板承接面?zhèn)认喾吹囊粋?cè)的 方式配置在上述面板承接件上，上述與上述面板承接面?zhèn)认喾吹囊粋?cè)是以上述保護(hù)構(gòu)件在 與上述邊的方向交叉的方向上的位置為基準(zhǔn)來說的。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置，其中，上述面板承接件包括共同形成矩形的開口的四個(gè)片構(gòu)件，該四個(gè)片構(gòu)件共同形成上述 面板承接面，各上述片構(gòu)件與上述矩形的一條邊對應(yīng)， 各上述探針單元和各上述保護(hù)構(gòu)件配置在相同的上述片構(gòu)件上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的測試裝置，其中， 上述測試裝置還包括臺基座，各上述片構(gòu)件包括移動(dòng)片，該移動(dòng)片以能夠改變上述開口的大小地沿X方向和Y方向 能夠移動(dòng)的方式配置在上述臺基座上，上述移動(dòng)片包括第1片部，其與上述臺基座平行地配置在該臺基座上；以及第2片 部，其從上述第1片部的上述面板承接面?zhèn)认蛏戏搅⑵?，上述?片部具有形成上述面板承 接面的一部分的上表面；上述探針單元和上述保護(hù)構(gòu)件配置在上述第1片部上。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的測試裝置，其中，相對的一對移動(dòng)片在Y方向上隔開間隔并與X方向平行地延伸，相對的另外一對移動(dòng) 片在X方向上隔開間隔并與Y方向平行地延伸，這四個(gè)移動(dòng)片共同形成上述開口，并且共同形成上述面板承接面，還能夠改變上述開 口的大小地配置在上述臺基座上，鄰接的移動(dòng)片以互不妨礙對方沿Y方向或X方向獨(dú)立地移動(dòng)的方式結(jié)合在一起。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的測試裝置，其中，各上述移動(dòng)片的上述第1片部和第2片部包括板狀部，該板狀部在該移動(dòng)片的移動(dòng)方 向上尺寸長。
13.根據(jù)權(quán)利要求5至12中任一項(xiàng)所述的測試裝置，其中，上述測試裝置還包括調(diào)準(zhǔn)裝置，該調(diào)準(zhǔn)裝置相對于上述觸頭對由上述面板承接件承接 的被檢查體進(jìn)行定位，上述調(diào)準(zhǔn)裝置包括配置在與上述矩形的各邊對應(yīng)的部位上的至少一個(gè)推動(dòng)機(jī)構(gòu)或定 位機(jī)構(gòu)，上述推動(dòng)機(jī)構(gòu)和上述定位機(jī)構(gòu)分別包括推壓構(gòu)件，其位于與由上述面板承接件承接 的被檢查體相同高度的位置的、上述面板承接面的外側(cè)；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使上述推壓構(gòu)件 相對于上述被檢查體進(jìn)退；各上述保護(hù)構(gòu)件的上端位于上述推壓構(gòu)件的最高位置的上方。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的測試裝置，其中，上述調(diào)準(zhǔn)裝置包括在與上述矩形的相對的一對邊中的一條邊和另一條邊對應(yīng)的部位 上分別在對應(yīng)的邊的長度方向上隔開間隔地配置的一對第1推動(dòng)機(jī)構(gòu)和一對第1定位機(jī) 構(gòu)；以及在與上述矩形的相對的另外一對邊的一條邊和另一條邊對應(yīng)的部位上分別配置的 第2推動(dòng)機(jī)構(gòu)和第2定位機(jī)構(gòu)；各上述定位機(jī)構(gòu)的上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)克服與上述定位機(jī)構(gòu)相對的推動(dòng)機(jī)構(gòu)的推壓力而維 持上述推壓構(gòu)件在對應(yīng)的推壓構(gòu)件的進(jìn)退方向上的位置，并且這種維持能夠被解除。
全文摘要
本發(fā)明提供一種平板狀被檢查體的測試裝置，其防止被檢查體掉落到觸頭上。測試裝置包括面板承接件，其具有承接平板狀被檢查體的矩形的面板承接面；探針單元，其具有探針塊，該探針塊具有按壓于上述被檢查體的電極的多個(gè)觸頭；多個(gè)保護(hù)構(gòu)件，其位于上述面板承接面的外側(cè)。多個(gè)保護(hù)構(gòu)件在上述矩形的至少一條邊的方向上隔開間隔，而且各保護(hù)構(gòu)件的上端位于上述觸頭的最高位置的上方。
文檔編號G01R1/02GK102054413SQ201010535039
公開日2011年5月11日 申請日期2010年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月6日
發(fā)明者東保宏宣, 植木勲 申請人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司