專利名稱：壓氦檢漏儀低耗氣檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光電器件等有氣密性要求工件的檢測(cè)方法，具體是一種壓氦檢
漏儀低耗氣檢測(cè)方法。
背景技術(shù)：
檢漏測(cè)試作為一個(gè)有效的判定是否漏氣的手段廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光電器件領(lǐng)域，或者其他對(duì)半成品、產(chǎn)品有檢漏要求的各個(gè)領(lǐng)域中，用來對(duì)于密封器件或者其他有氣密性的要求的工件進(jìn)行氣密性檢測(cè)。這類檢測(cè)通常在壓氦檢漏儀中進(jìn)行，待檢器件放入一個(gè)壓力容器中，先抽真空，然后再充入高壓的氦氣，保持高壓一定時(shí)間后將器件取出放入氦氣質(zhì)譜檢測(cè)儀測(cè)量器件的氦氣泄漏量從而計(jì)算出被檢測(cè)器件的漏率。檢漏測(cè)試儀的壓力容器考慮到不 同被測(cè)器件的體積不同的兼容性要求，一般容器的體積都是實(shí)際測(cè)量器件體積1到10倍，當(dāng)被測(cè)器件體積較小時(shí)，檢測(cè)過程中需要充入的氦氣就較多，因而造成氦氣的浪費(fèi)，提高了檢測(cè)成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，提供一種能夠降低壓氦檢漏儀氦氣用量的壓氦檢漏儀低耗氣檢測(cè)方法。
本發(fā)明的方法依次經(jīng)過以下步驟 a.檢測(cè)前在壓氦檢漏儀的壓力容器底部?jī)?nèi)放入一定體積的實(shí)心墊塊；[OOOS] b.將待檢測(cè)器件放進(jìn)壓力容器抽真空至-0. IMPa壓力； c.打開氦氣鋼瓶閥門向壓力容器充入干氦氣至滿足待測(cè)器件工藝要求的壓力值； d.對(duì)壓力容器保壓2小時(shí)后泄壓； e.取出被檢測(cè)器件在氮?dú)庀麓?分鐘后放入氦氣質(zhì)譜儀中進(jìn)行漏率測(cè)試。 本發(fā)明方法用于對(duì)體積較小的器件進(jìn)行氣密性檢測(cè)，由于其縮小了檢測(cè)時(shí)壓力容
器內(nèi)的空間，因而可減少氦氣的充氣量，節(jié)約了檢測(cè)成本；同時(shí)檢測(cè)過程中抽真空和充入氦
氣所需的時(shí)間也可大大縮短，從而提高了檢測(cè)效率。
具體實(shí)施例方式下面是使用本發(fā)明方法對(duì)某一光電器件進(jìn)行漏率檢測(cè)的具體步驟 a.檢測(cè)前在壓氦檢漏儀的壓力容器底部?jī)?nèi)放入一定體積的實(shí)心墊塊；壓力容器
內(nèi)腔高20厘米，內(nèi)徑15厘米；實(shí)心墊塊高度為16厘米，外徑為14. 5厘米； b.將待檢測(cè)器件放進(jìn)壓力容器中的實(shí)心墊塊上，抽真空至-0. IMPa壓力； c.打開氦氣鋼瓶閥門向壓力容器充入干氦氣至容器內(nèi)壓力值O. 45MPa ; d.對(duì)壓力容器保壓2小時(shí)后泄壓； e.取出被檢測(cè)器件在氮?dú)庀麓?分鐘后放入氦氣質(zhì)譜儀中進(jìn)行漏率測(cè)試。
經(jīng)計(jì)算可知，該實(shí)施例每次檢漏就可節(jié)約70%左右的氦氣。抽真空的時(shí)間和通入 氦氣至設(shè)定壓力的時(shí)間也縮短70%左右。
權(quán)利要求
一種壓氦檢漏儀低耗氣檢測(cè)方法，其特征是它依次經(jīng)過以下步驟a.檢測(cè)前在壓氦檢漏儀的壓力容器底部?jī)?nèi)放入一定體積的實(shí)心墊塊；b.將待檢測(cè)器件放進(jìn)壓力容器抽真空至-0.1MPa壓力；c.打開氦氣鋼瓶閥門向壓力容器充入干氦氣至滿足待測(cè)器件工藝要求的壓力值；d.對(duì)壓力容器保壓2小時(shí)后泄壓；e.取出被檢測(cè)器件在氮?dú)庀麓?分鐘后放入氦氣質(zhì)譜儀中進(jìn)行漏率測(cè)試。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光電器件等有氣密性要求工件的檢測(cè)方法，具體是一種壓氦檢漏儀低耗氣檢測(cè)方法。該方法依次經(jīng)過以下步驟a.檢測(cè)前在壓氦檢漏儀的壓力容器底部?jī)?nèi)放入一定體積的實(shí)心墊塊；b.將待檢測(cè)器件放進(jìn)壓力容器抽真空至-0.1MPa壓力；c.打開氦氣鋼瓶閥門向壓力容器充入干氦氣至滿足待測(cè)器件工藝要求的壓力值；d.對(duì)壓力容器保壓2小時(shí)后泄壓；e.取出被檢測(cè)器件在氮?dú)庀麓?分鐘后放入氦氣質(zhì)譜儀中進(jìn)行漏率測(cè)試。本發(fā)明方法用于對(duì)體積較小的器件進(jìn)行氣密性檢測(cè)，由于其縮小了檢測(cè)時(shí)壓力容器內(nèi)的空間，因而可減少氦氣的充氣量，節(jié)約了檢測(cè)成本；同時(shí)檢測(cè)過程中抽真空和充入氦氣所需的時(shí)間也可大大縮短，從而提高了檢測(cè)效率。
文檔編號(hào)G01M3/20GK101750192SQ201010018330
公開日2010年6月23日 申請(qǐng)日期2010年1月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月14日
發(fā)明者周艷 申請(qǐng)人:江蘇飛格光電有限公司