技術(shù)編號(hào)：6087187
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光電器件等有氣密性要求工件的檢測(cè)方法，具體是一種壓氦檢漏儀低耗氣檢測(cè)方法。背景技術(shù)檢漏測(cè)試作為一個(gè)有效的判定是否漏氣的手段廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光電器件領(lǐng)域，或者其他對(duì)半成品、產(chǎn)品有檢漏要求的各個(gè)領(lǐng)域中，用來對(duì)于密封器件或者其他有氣密性的要求的工件進(jìn)行氣密性檢測(cè)。這類檢測(cè)通常在壓氦檢漏儀中進(jìn)行，待檢器件放入一個(gè)壓力容器中，先抽真空，然后再充入高壓的氦氣，保持高壓一定時(shí)間后將器件取出放入氦氣質(zhì)譜檢測(cè)儀測(cè)量器件的氦氣泄漏量從而計(jì)算出被檢測(cè)器件的漏率。...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。