專利名稱：探針單元及檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種液晶面板等點亮檢查所使用的探針單元及檢查裝置。
背景技術(shù)：
在液晶面板等的制造工序中，要進行該面板是否具有說明書中那樣的性能等的檢 查。在該檢查中，通常使用具有包括多個探針的探針單元的檢查裝置。在該情況下，在使檢 查裝置的各探針與檢查對象面板的端子全接觸(full contact)的狀態(tài)下，通過施加檢查信 號將其點亮來進行檢查。 在這樣的檢查裝置中，當在點亮檢查時產(chǎn)生線缺陷等的不良情況時，為了判斷該 不良情況是由面板引起的還是由探針單元引起的，要額外進行與該點亮檢查工序不同的檢 查。具體而言，采用使用了簡易點亮檢查用探針單元(使用了導(dǎo)電性橡膠)的檢查方法或 使用了 1G1D檢查用探針單元的檢查方法判斷上述問題是由面板引起的還是由探針單元引 起的。作為這樣的檢查方法的例子，有專利文獻l。 專利文獻1 :日本特開平9-138442號公報 但是，在上述檢查裝置中，由于額外進行與通常的點亮檢查工序不同的檢查，因此 需要兩種檢查工序，存在檢查效率差這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容本實用新型是為了解決上述問題而作成的，其目的在于提供一種能夠在通常的點 亮檢查工序中判斷上述不良情況是由面板引起的還是由探針單元引起的探針單元及檢查 裝置。 為了解決上述問題，本實用新型的探針單元的特征在于，該探針單元包括探針部 件，其通過使多個探針分別與設(shè)于檢查對象面板上的多個端子相接觸來進行點亮檢查；短 路裝置，其在使上述各探針分別與上述各端子相接觸而進行點亮檢查時使各端子短路，上 述短路裝置包括短路構(gòu)件，其與上述各端子相對設(shè)置，與上述各端子同時接觸而使所有端 子短路；按壓機構(gòu)，其在被支承于上述探針部件側(cè)的狀態(tài)下支承該短路構(gòu)件并使該短路構(gòu) 件與上述各端子相接觸。 本實用新型的檢查裝置是用于檢查檢查對象面板的檢查裝置，其特征在于，該檢 查裝置包括面板配置部，其用于在對從外部插入的檢查對象面板檢查結(jié)束后將該檢查對 象面板向外部搬出；測量部，其用于支承并檢驗從該面板配置部接過來的檢查對象面板，使 用上述探針單元作為上述測量部的探針單元。 在上述結(jié)構(gòu)中，在上述檢查對象面板上產(chǎn)生線缺陷等不良情況時，通過上述按壓 機構(gòu)使上述短路構(gòu)件與上述各端子相接觸而對所有端子施加檢查信號。由此，能容易地 判斷上述檢查對象面板的不良情況是由面板引起的還是由探針單元引起的，提高了檢查效率。
圖1是表示本實用新型的實施方式的探針單元的局部剖切側(cè)視圖。 圖2是表示檢查裝置的立體圖。 圖3是表示本實用新型的實施方式的探針單元的立體圖。 圖4是表示使本實用新型的實施方式的探針單元的短路裝置轉(zhuǎn)動的狀態(tài)的立體 圖。 圖5是以局部剖切的狀態(tài)表示本實用新型的實施方式的探針單元的短路裝置的 主要部分放大圖。 圖6是表示本實用新型的實施方式的探針單元的短路裝置的分解立體圖。 圖7是以拆下了該短路裝置的狀態(tài)表示本實用新型的實施方式的探針單元的俯視圖。 圖8是表示第1變形例的立體圖。 圖9是表示第2變形例的立體圖。
具體實施方式以下，參照附圖說明本實用新型的實施方式的探針單元及檢查裝置。 如圖2所示，本實施方式的檢查裝置1主要由面板配置部2和測量部3構(gòu)成。 面板配置部2是用于將從外部插入的液晶面板5向測量部3輸送、并將檢查結(jié)束
后的液晶面板5向外部輸送的裝置。面板配置部2在開口部6的深處具有面板交接裝置7，
利用該面板交接裝置7從外部接收液晶面板5，利用輸送臂8支承并向測量部3輸送該液晶
面板5。另外，面板交接裝置7接收通過測量部3檢查結(jié)束后的液晶面板5并將其向外部輸送。 測量部3是用于支承并檢驗從面板配置部2接過來的液晶面板5的裝置。測量部 3包括工件臺10、探針單元11等。 工件臺10是用于支承液晶面板5并調(diào)整XYZ e方向的裝置。工件臺10支承由輸 送臂8輸送來的液晶面板5，并使液晶面板5與探針單元11準確地對位地與探針單元11相 接觸。如圖7所示，液晶面板5由用于顯示圖像的面板顯示部5A、面板顯示部5A周圍的面 板端子部5B、設(shè)于面板端子部5B上且向面板顯示部5A傳遞信號的端子5C構(gòu)成。探針單元 11相對于端子5C準確地對位。 探針單元11是與液晶面板5的端子5C相接觸并對其施加檢查信號、為了檢查液 晶面板5而將其點亮的裝置。如圖1、3 7所示，探針單元11包括探針基部12、探針裝置 13、校準攝像機14和短路裝置15。 探針基部12是用于一體地支承探針裝置13、校準攝像機14的板材。該探針基部 12在被固定于裝置主體側(cè)的狀態(tài)下使探針裝置13、校準攝像機14等與工件臺10上的液晶 面板5相對地支承探針裝置13、校準攝像機14等。 探針裝置13是用于進行通常的全接觸的點亮檢查的裝置。如圖1、4所示，該探針 裝置13由支承部16、探針組裝體17構(gòu)成。 上述支承部16是在其基端側(cè)支承于上述探針基部12的狀態(tài)下用其頂端側(cè)支承上 述探針組裝體17的構(gòu)件。該支承部16包括直接安裝于上述探針基部12上且用于支承整體的懸架塊19、借助導(dǎo)軌20能滑動地支承在該懸架塊19的前端部的滑塊21、一體地安裝 于該滑塊21的下側(cè)面上的探針板22。通過調(diào)整螺栓23來調(diào)整滑塊21相對于懸架塊19的 高度。 探針組裝體17是用于與液晶面板5的電路的端子5C相接觸而對其施加檢查信號 的構(gòu)件。探針組裝體17安裝于探針板22的下側(cè)面。該探針組裝體17包括探針部件24和 探針25。探針部件24直接安裝于探針板22的下側(cè)面。在該探針部件24上安裝有探針25。 探針25是用于與液晶面板5的電路的端子5C相接觸而施加用于點亮檢查的檢查信號的針 構(gòu)件。探針25設(shè)于探針部件24的前端側(cè)，與液晶面板5的端子5C直接接觸。如圖1所示， 探針25經(jīng)由TCP27、連接FPC28、中繼基板29和纜線30與信號產(chǎn)生器31相連接。信號產(chǎn) 生器31是用于產(chǎn)生檢查信號的裝置。信號產(chǎn)生器31逐個地制成檢查信號后通過TCP27等 發(fā)送到各探針25。 如圖3所示，校準攝像機14是在探針裝置13的探針部件24的各探針25與液晶 面板5的端子5C進行對位時用于拍攝設(shè)于液晶面板5的表面上的對準標記的照相機。校 準攝像機14分別設(shè)于3個探針裝置13的兩側(cè)。 短路裝置15是用于在液晶面板5上產(chǎn)生線缺陷等不良情況時進行短路檢查的裝 置。即，短路裝置15是在使探針部件24的各探針25分別與液晶面板5的各端子5C相接觸 而進行液晶面板5的點亮檢查時、在該液晶面板5上產(chǎn)生不良情況時用于使液晶面板5的 各端子5C短路的裝置。如圖1、4 7所示，短路裝置15由短路構(gòu)件33和按壓機構(gòu)34構(gòu) 成。 短路構(gòu)件33是用于使上述液晶面板5的各端子5C同時接觸而使所有端子5C短 路的構(gòu)件。短路構(gòu)件33在被按壓機構(gòu)34支承的狀態(tài)下與上述液晶面板5的各端子5C相 對設(shè)置。短路構(gòu)件33由直立板部33A和上部橫板部33B構(gòu)成，截面為L字形。短路構(gòu)件33 的長度被設(shè)定為與探針部件24的寬度大致相同的尺寸。短路構(gòu)件33由導(dǎo)電性橡膠構(gòu)成。 由此，具有柔軟性且較薄的導(dǎo)電性橡膠制的直立板部33A覆蓋各端子5C整體，同時且可靠 地與各端子5C接觸(圖7的狀態(tài))，從而能可靠地使所有端子5C短路。 按壓機構(gòu)34是支承短路構(gòu)件33并在液晶面板5上產(chǎn)生不良情況時使短路構(gòu)件33 的直立板部33A與上述各端子5C相接觸的機構(gòu)。按壓機構(gòu)34由基板部35、支承臂部36、 滑板部37、支架部38和移動支承部39構(gòu)成。 基板部35是用于支承支承臂部36等的構(gòu)件?；宀?5固定于支承部16的懸架 塊19的上側(cè)面上。在基板部35上設(shè)有多個螺孔35A。在懸架塊19的與該基板部35的螺 孔35A相對應(yīng)的上側(cè)面上也設(shè)有螺孔19A。在這些螺孔35A、 19A中擰入螺釘40，從而將基 板部35固定于懸架塊19的上側(cè)面上。 在基板部35的上側(cè)面上設(shè)有鉸鏈41和支承臺部42。鉸鏈41是用于將構(gòu)成按壓 機構(gòu)34的支承臂部36等能轉(zhuǎn)動地支承在上述探針部件24側(cè)的懸架塊19上的轉(zhuǎn)動機構(gòu)。 具體而言，鉸鏈41是用于將后述的支承臂部36的水平板部45的基端部能轉(zhuǎn)動地支承在懸 架塊19上的構(gòu)件。支承臺部42是用于將支承臂部36的水平板部45支承在水平狀態(tài)的構(gòu) 件。支承臺部42的上側(cè)面形成為平坦面狀，該支承臺部42的上側(cè)面與支承臂部36的水平 板部45的側(cè)面(圖1中的下側(cè)面)相抵接。并且，在支承臂部36的水平板部45的基端部 被鉸鏈41支承的狀態(tài)下，水平板部45的中間部與支承臺部42相抵接，通過上述鉸鏈41和支承臺部42水平地支承支承臂部36的水平板部45。在支承臺部42上設(shè)有螺孔42A。并 且，通過在該螺孔42A和后述的支承臂部36的水平板部45的螺孔45A中擰入螺釘43，而將 支承臂部36固定于基板部35上。 支承臂部36支承于上述探針裝置13的支承部16側(cè)，是用于使滑板部37與上述 探針25所接觸的液晶面板5的多個端子5C側(cè)相面對、且能滑動地支承滑板部37的構(gòu)件。 支承臂部36能滑動地支承滑板部37且能在設(shè)定位置對滑板部37進行固定。支承臂部36 主要由水平板部45和垂直板部46構(gòu)成。水平板部45是水平配置的構(gòu)件，其使滑板部37 與液晶面板5的多個端子5C側(cè)相面對地支承滑板部37。水平板部45的基端部能轉(zhuǎn)動地 支承于上述基板部35的鉸鏈41，其一側(cè)面(圖1中的下側(cè)面)與基板部35的支承臺部42 相抵接，從而水平板部45被水平地支承。在水平板部45的與上述支承臺部42的螺孔42A 相對的位置設(shè)有與該支承臺部2的螺孔42A同樣的螺孔45A。 垂直板部46是用于能滑動地支承滑板部37的構(gòu)件。垂直板部46與水平板部45 設(shè)置為一體。垂直板部46從被水平地支承的水平板部45向垂直下方垂下地形成。在垂直 板部46上沿垂直方向(在水平板部45水平配置的狀態(tài)下的垂直方向)設(shè)有導(dǎo)軌57。 滑板部37在使短路構(gòu)件33與液晶面板5的端子5C相面對地支承短路構(gòu)件33的 狀態(tài)下滑動，是用于使短路構(gòu)件33相對于端子5C進行適當裝卸的構(gòu)件?；宀?7由平板 狀的構(gòu)件構(gòu)成，在其一側(cè)面上設(shè)有引導(dǎo)件58。通過使該引導(dǎo)件58能滑動地與上述垂直板部 46的導(dǎo)軌57相嵌合，將滑板部37能沿上下方向滑動地支承在垂直板部46上。 在滑板部37的基端部(圖1的上端部)設(shè)有供后述的推桿49的螺桿部54擰入 的螺孔37A。通過在該螺孔37A中擰入推桿49的螺桿部54來適當旋轉(zhuǎn)該推桿49，從而調(diào) 整滑板部37的位置?；宀?7的前端部(圖1的下端部)擴大形成為凸緣狀，安裝有支 架部38。 支架部38是用于支承短路構(gòu)件33的構(gòu)件。支架部38的基端部支承于滑板部37 的前端部，支架部38的前端部以使短路構(gòu)件33與液晶面板5的端子5C相面對的狀態(tài)支承 短路構(gòu)件33。 移動支承部39是用于在設(shè)定位置(待機位置和短路位置)支承滑板部37的機 構(gòu)。如圖5、6所示，該移動支承部39設(shè)于水平板部45的前端部。該移動支承部39由推桿 49和限制器50構(gòu)成。 推桿49是用于通過滑板部37等將短路構(gòu)件33按壓于端子5C上的構(gòu)件。在水平 板部45的前端部設(shè)有在該水平板部45被水平地支承的狀態(tài)下沿垂直方向貫通水平板部 45的推桿支承孔51。推桿49能滑動地支承于該推桿支承孔51中。推桿49在上端設(shè)有頭 部49A，在下端設(shè)有凸緣部49B，能避免其從推桿支承孔51中脫落。另外，在推桿49的頭部 49A側(cè)設(shè)有彈簧52。該彈簧52對推桿49向上方(支承臂部36的水平板部45為水平的狀 態(tài)下的上方)施力。另外，彈簧52也具有避免支承于推桿支承孔51中的推桿49自由旋轉(zhuǎn) 的止轉(zhuǎn)功能。這是為了避免在使推桿49旋轉(zhuǎn)、通過后述的螺桿部54微調(diào)滑板部37的高度 后，推桿49旋轉(zhuǎn)而使滑板部37的高度改變。 在推桿49的中間部設(shè)有供限制器50嵌合的嵌合槽53。該嵌合槽53在推桿49的 中間部形成為環(huán)狀。嵌合槽53設(shè)于在限制器50與該嵌合槽53相嵌合而定位支承推桿49 的狀態(tài)下、借助滑板部37的支架部38支承的短路構(gòu)件33可靠地與液晶面板5的多個端子5C相接觸的位置(短路位置)。在推桿49的下端部設(shè)有螺桿部54，該螺桿部54擰入滑板 部37中。由此，推桿49通過限制器50與嵌合槽53相嵌合而被支承在短路位置，在液晶面 板5的端子5C與探針25相接觸時，通過滑板部37等將短路構(gòu)件33按壓于端子5C上。 限制器50是用于切換推桿49的待機位置和短路位置的構(gòu)件。該限制器50設(shè)于 水平板部45的前端部。在水平板部45的前端部沿水平方向(水平板部45為水平的狀態(tài) 下的水平方向)設(shè)有限制器支承孔55。該限制器支承孔55被設(shè)置成從水平板部45的前 端部貫穿到推桿支承孔51中。在限制器支承孔55的內(nèi)壁上形成有螺紋牙，供限制器50擰 入。限制器50由嵌合爪部50A、螺紋部50B、把手部50C構(gòu)成。嵌合爪部50A是通過與推桿 49的嵌合槽53相嵌合而將推桿49支承在短路位置的部分。螺紋部50B是用于擰入到限 制器支承孔55中的部分。把手部50C是使限制器50旋轉(zhuǎn)而在限制器支承孔55內(nèi)移動、從 而使嵌合爪部50A相對于推桿49的嵌合槽53出入的部分。轉(zhuǎn)動該把手部50C而從嵌合槽 53中拔出嵌合爪部50A，從而利用彈簧52使推桿49移動到待機位置，按下推桿49而使嵌 合爪部50A與嵌合槽53相嵌合，從而將推桿49支承在短路位置。 以上那樣構(gòu)成的探針單元11具有如下所述的作用。另外，由于檢查裝置整體的作 用與以往的檢查裝置相同，因此，在此以探針單元11的作用為中心進行說明。 通過使支承于工件臺10上的液晶面板5準確地對位，而使液晶面板5的端子5C 與探針部件24的探針25相互接觸。 接著，將由信號產(chǎn)生器31產(chǎn)生的檢查信號通過纜線30等從探針25施加給液晶面 板5的端子5C來進行液晶面板5的點亮檢查。 此時，當發(fā)生不良情況時，探針單元11的與產(chǎn)生該不良情況的位置相對應(yīng)的短路 裝置15從待機模式切換為進行短路檢查的短路模式。 通常為待機模式。S卩，限制器50的嵌合爪部50A從推桿49的嵌合槽53脫離，滑 板部37被彈簧52向上方拉起而成為在待機位置待機的待機模式。由此，短路構(gòu)件33被支 承在從端子5C離開的位置。從該待機模式切換為短路模式。 在短路模式下，按下推桿49，使推桿49的嵌合槽53和限制器50的嵌合爪部50A 的位置對齊而擰入限制器50，使嵌合爪部50A與嵌合槽53相嵌合。由此，短路構(gòu)件33的頂 端部(下端部)被支承在與探針25的頂端相同高度的位置或比探針25的頂端低的位置。 在該狀態(tài)下，使工件臺10動作，使液晶面板5的端子5C與探針25相接觸時，同時 使短路構(gòu)件33與探針25所接觸的所有端子5C相接觸，使這些端子5C全部都短路。 在該狀態(tài)下，在由信號產(chǎn)生器31產(chǎn)生檢查信號時，即使是在不良情況是由探針單 元引起的情況下，被發(fā)送到各探針25上的檢查信號也能施加給被短路構(gòu)件33短路了的狀 態(tài)下的所有端子5C。 S卩，將檢查信號可靠地施加給各端子5C。 在該短路模式下，在液晶面板5上產(chǎn)生不良情況時，可知是由面板引起的不良情 況。另一方面，在短路模式下，在液晶面板5上未產(chǎn)生不良情況下時，可知是由探針單元引 起的不良情況?；诖诉M行以后的處理。 在探針單元11中，放松限制器50而使嵌合爪部50A從嵌合槽53脫離，使滑板部 37回復(fù)到待機位置。 在維修時，如圖4所示，拆下螺釘43，使短路裝置15以作為轉(zhuǎn)動機構(gòu)的鉸鏈41為 中心轉(zhuǎn)動。在該狀態(tài)下，進行探針部件24等的維修。也進行短路裝置15自身的維修。[0055] 如上所述，在探針裝置13上設(shè)置短路裝置15，能切換待機模式和短路模式，因此， 在點亮檢查工序中產(chǎn)生不良情況時，能容易且可靠地判斷該不良情況是由面板引起的還是 由探針單元引起的。 由此，不需要另外設(shè)置與點亮檢查工序不同的檢查工序，能謀求檢查作業(yè)的效率 化。 另外，由于短路裝置15以作為轉(zhuǎn)動機構(gòu)的鉸鏈41為中心進行轉(zhuǎn)動，因此能容易地 進行維修。 由于短路構(gòu)件33是由覆蓋液晶面板5的多個端子5C的整體、并同時與液晶面板 5的多個端子5C相接觸的導(dǎo)電性橡膠構(gòu)成，因此，能容易且可靠地使所有端子5C短路。 按壓機構(gòu)34包括滑板部37和移動支承部39，該滑板部37在使短路構(gòu)件33與液 晶面板5的端子5C相對地支承短路構(gòu)件33的狀態(tài)下滑動，并使短路構(gòu)件33能相對于端子 5C裝卸，該移動支承部39使該滑板部37在待機位置和短路位置之間移動地支承該滑板部 37，因此，在產(chǎn)生不良情況時，能通過手動容易地切換成短路模式，能謀求檢查作業(yè)的效率 化。 移動支承部39包括推桿49和限制器50，該推桿49借助滑板部37將短路構(gòu)件33 按壓于各端子5C上，該限制器50將該推桿49支承在上述滑板部37的待機位置和短路位 置，因此，能通過手動容易地切換短路模式和待機模式。 第1變形例 在上述實施方式中，將移動支承部39構(gòu)成為由推桿49和限制器50構(gòu)成的手動式 的移動支承部，但也可以為自動式的移動支承部。具體而言，也可以為如圖8所示地構(gòu)成。 圖8是僅設(shè)置一個驅(qū)動缸的例子。由于檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)與上述實施方式相 同，因此，在此以探針單元的短路裝置為中心進行說明。在圖8的探針單元中，短路裝置59 包括支承臂部60、滑板部61、驅(qū)動缸62和控制部63。 支承臂部60能轉(zhuǎn)動地支承于探針基部12。該支承臂部60形成為較寬的板狀，能 覆蓋5個探針部件24。支承臂部60的基端部通過鉸鏈65能轉(zhuǎn)動地支承于探針基部12。在 鉸鏈65的端部設(shè)有限制器66。該限制器66形成為銷狀，安裝于固定在鉸鏈65的旋轉(zhuǎn)軸 上的長方體狀的銷座67上。在銷座67上沿垂直方向設(shè)有兩個銷孔68。在與該銷孔68相 對應(yīng)的探針基部12上設(shè)有銷支承孔69。限制器66貫穿銷座67的銷孔68，通過與探針基 部12的銷支承孔69相嵌合而被固定，將支承臂部60固定為無法轉(zhuǎn)動。然后，通過拔下限 制器66而使支承臂部60轉(zhuǎn)動，從而能進行維修等。 支承臂部60的側(cè)面形狀形成為L字形，其直立板部60A配置為覆蓋各探針部件 24。在直立板部60A上沿縱向設(shè)有導(dǎo)軌71。 滑板部61由1張板材構(gòu)成，設(shè)有分別與5個探針部件24相對應(yīng)的5個支部61A。 在滑板部61的背面設(shè)有引導(dǎo)件(圖未示)，通過使引導(dǎo)件與導(dǎo)軌71相嵌合而使滑板部61 能上下滑動地支承滑板部61。 在各支部61A的頂端(下端)設(shè)有與上述實施方式相同的支架部38，在該支架部 38上安裝有短路構(gòu)件33。由此，用1個滑板部61同時支承所有短路構(gòu)件33。 驅(qū)動缸62是用于使滑板部61沿上下方向移動的驅(qū)動裝置。驅(qū)動缸62將滑板部 61支承在伸出位置和拉入位置這兩個位置，使滑板部61在短路位置和待機位置之間移動。在利用該驅(qū)動缸62使滑板部61伸出而位于短路位置的狀態(tài)下，利用工件臺IO使液晶面板 5的端子5C與探針25相接觸，從而將短路構(gòu)件33按壓于各端子5C。 控制部63是用于控制驅(qū)動缸62而使滑板部61在待機位置和短路位置之間移動 的裝置?？刂撇?3利用控制檢查裝置1的整體的控制部或設(shè)置驅(qū)動缸62專用的控制部。 采用以上構(gòu)成，當在液晶面板5上產(chǎn)生不良情況時，控制部63使驅(qū)動缸62動作而 使滑板部61從待機狀態(tài)移動到短路狀態(tài)。在該狀態(tài)下，利用工件臺10使液晶面板5的端 子5C與探針25相接觸，與上述實施方式同樣地進行判斷。 由此，能起到與上述實施方式相同的作用、效果，并且在液晶面板5的檢查線中，
能自動地判斷產(chǎn)生不良情況的原因。結(jié)果，能謀求檢查作業(yè)的高效率化。 第2變形例 在上述第1變形例中，僅設(shè)置1個驅(qū)動缸62，驅(qū)動1個滑板部61而使所有短路構(gòu) 件33同時移動，但也可以與各探針部件24相對應(yīng)地設(shè)置多個驅(qū)動缸。本變形例的探針單 元的整體結(jié)構(gòu)與上述第l變形例的探針單元大致相同，因此，在此以短路裝置為中心進行 說明。 本變形例的短路裝置是每個探針部件24都設(shè)置驅(qū)動缸的結(jié)構(gòu)。 分別與各探針部件24相對應(yīng)地設(shè)置5個滑板部73。借助導(dǎo)軌71能滑動地支承在
支承臂部60的直立板部60A上。 驅(qū)動缸74分別設(shè)于上述各滑板部73上而分別驅(qū)動各滑板部73。各驅(qū)動缸74分
別與控制部63(參照圖8)相連接，并由控制部63分別控制。并且，利用控制部63僅驅(qū)動
各驅(qū)動缸74中的與產(chǎn)生不良情況的位置相對應(yīng)的驅(qū)動缸74，進行短路檢查。 在該情況下，也能起到與上述實施方式及第1變形例相同的作用、效果。另外，在
本變形例中，由于利用各驅(qū)動缸74使各短路構(gòu)件33分別與端子5C相接觸，因此，能迅速地
進行檢查作業(yè)。 另一變形例 具有上述實施方式的探針單元11的檢查裝置1并不限于上述檢查裝置l，本實用 新型能適用于能設(shè)置探針單元11的所有檢查裝置。
權(quán)利要求一種探針單元，其特征在于，該探針單元包括探針部件，其通過使多個探針分別與設(shè)于檢查對象面板上的多個端子相接觸來進行點亮檢查；短路裝置，其在使上述各探針分別與上述各端子相接觸而進行點亮檢查時使各端子短路，上述短路裝置包括短路構(gòu)件，其與上述各端子相對設(shè)置，與上述各端子同時接觸而使所有端子短路；按壓機構(gòu)，其在被支承于上述探針部件側(cè)的狀態(tài)下支承該短路構(gòu)件并使該短路構(gòu)件與上述各端子相接觸。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的探針單元，其特征在于，上述短路構(gòu)件由覆蓋上述檢查對象面板的多個端子整體、并同時與上述檢查對象面板 的多個端子相接觸的導(dǎo)電性橡膠構(gòu)成。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的探針單元，其特征在于，上述按壓機構(gòu)包括滑板部和移動支承部，該滑板部在使上述短路構(gòu)件與上述檢查對象 面板的端子相對地支承上述短路構(gòu)件的狀態(tài)下滑動，并使上述短路構(gòu)件能相對于上述端子 裝卸；該移動支承部使該滑板部在待機位置和短路位置之間移動地支承該滑板部。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的探針單元，其特征在于，上述移動支承部包括推桿和限制器，該推桿借助上述滑板部將上述短路構(gòu)件按壓于上 述端子；該限制器將該推桿支承在上述滑板部的待機位置和短路位置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的探針單元，其特征在于，上述移動支承部包括驅(qū)動缸和控制部，該驅(qū)動缸借助上述滑板部將上述短路構(gòu)件按壓 于上述端子；該控制部控制該驅(qū)動缸而使上述滑板部在待機位置和短路位置之間移動。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針單元，其特征在于，該探針單元僅設(shè)置1個上述滑板部，并且具有分別與配置多個的上述探針部件相對應(yīng) 的支部，同時支承所有短路構(gòu)件，僅設(shè)置1個上述驅(qū)動缸，驅(qū)動上述滑板部而使所有短路構(gòu)件同時移動。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針單元，其特征在于， 分別與配置多個的上述探針部件相對應(yīng)地設(shè)置多個上述滑板部，上述驅(qū)動缸分別設(shè)于上述多個滑板部上并分別驅(qū)動各滑板部，僅驅(qū)動各驅(qū)動缸中的與 產(chǎn)生不良情況的位置相對應(yīng)的驅(qū)動缸。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的探針單元，其特征在于，該探針單元還包括將上述按壓機構(gòu)能轉(zhuǎn)動地支承在上述探針部件側(cè)的轉(zhuǎn)動機構(gòu)。
9. 一種檢查裝置，其用于檢查檢查對象面板，其特征在于，該檢查裝置包括面板配置部，其用于在對從外部插入的檢查對象面板檢查結(jié)束后將 該檢查對象面板向外部搬出；測量部，其用于支承并檢驗從該面板配置部接過來的檢查對 象面板，使用權(quán)利要求1 8中任一項所述的探針單元作為上述測量部的探針單元。
專利摘要本實用新型提供一種探針單元及檢查裝置。能謀求檢查作業(yè)的效率化。該探針單元包括探針部件，其通過使多個探針分別與設(shè)于檢查對象面板上的多個端子相接觸來進行點亮檢查；短路裝置，其在使上述各探針分別與上述各端子相接觸而進行點亮檢查時，在上述檢查對象面板上產(chǎn)生線缺陷等的不良情況下使各端子短路，上述短路裝置包括短路構(gòu)件，其與上述各端子相對設(shè)置，與上述各端子同時接觸而使所有端子短路；按壓機構(gòu)，其在被支承于上述探針部件側(cè)的狀態(tài)下支承該短路構(gòu)件并在產(chǎn)生上述不良情況時使該短路構(gòu)件與上述各端子相接觸。利用被按壓機構(gòu)支承的短路構(gòu)件與各端子相接觸來判斷上述不良情況是由面板引起的還是由探針單元引起的。
文檔編號G01R1/073GK201535789SQ20092021963
公開日2010年7月28日 申請日期2009年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月26日
發(fā)明者三浦一佳, 安齋正行, 小山內(nèi)康晃, 齊藤裕樹 申請人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司