專利名稱：探針單元以及檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于檢查液晶面板等檢查對(duì)象面板的探針單元(probe unit)以及檢查裝置。
技術(shù)背景在平板顯示(FPD)、例如液晶面板的制造工序中，檢查其 液晶面板是否具有說(shuō)明書(shū)描述的性能等。在該檢查中 一 般使用 具有探針單元的檢查裝置，該探針單元具有多個(gè)探針。在此情 況下，在將檢查裝置的各探針推壓觸到液晶面板的電極的狀態(tài) 下，通過(guò)將規(guī)定電信號(hào)提供給規(guī)定電極來(lái)進(jìn)行檢查。圖2表示這種檢查裝置的一例子。圖示的檢查裝置l主要由 面板配設(shè)(panel set)部2和測(cè)定部3構(gòu)成。面板配設(shè)部2是一種用于將外部插入的液晶面板5輸送到 測(cè)定部3，并將完成檢查的液晶面板5輸送往外部的裝置。面板 配設(shè)部2在其開(kāi)口部6的里面設(shè)有面板配設(shè)臺(tái)7,該面板配設(shè)臺(tái)7 支承著液晶面—反5并將該液晶面4反5輸送往測(cè)定部3。此外，面 板配設(shè)臺(tái)7接收在測(cè)定部3完成檢查后的液晶面板5,并將該液 晶面板5輸送往外部。測(cè)定部3是一種用于支承從面板配設(shè)部2輸送來(lái)的液晶面 板5并加以試驗(yàn)的裝置。測(cè)定部3具有卡盤(pán)頂部(chuck top)8和 探針9等。卡盤(pán)頂部8為用于支承液晶面板5的構(gòu)件。該卡盤(pán)頂部8由 XYZe臺(tái)(未圖示)支承，被控制向XYZ軸方向的移動(dòng)以及旋轉(zhuǎn)， 從而調(diào)整液晶面板5的位置。探針9主要具有基板10和探針單元 11。將探針單元ll設(shè)置成相對(duì)于水平面傾斜的狀態(tài)。且該探針單元11以面向基板10的開(kāi)口 IOA的狀態(tài)由基板IO支承。如圖3所示，探針單元ll具有探針基部12、支承部13、探針組裝體14以及連接電纜部15。上述探針基部12為一體支承多個(gè)支承部13的板材，該支承部13用于支承探針組裝體14。在該探針基部12上，多個(gè)探針組裝體14以面向工作臺(tái)16上的液晶面板5的狀態(tài)，通過(guò)支承部13獲得支承。上述支承部13是這樣的構(gòu)件以其基端側(cè)支承于上述探針 基部12的狀態(tài)、由其前端側(cè)支承上述探針組裝體14。如圖4~ 圖7所示，該支承部13具有懸吊塊(suspension block)18，其 直接安裝于上述探針基部12上以支承整個(gè)構(gòu)件；滑塊19,其由 該懸吊塊18的前端部支承；和探針板20,其一體地安裝于該滑 塊19的內(nèi)側(cè)面上(圖4中的下側(cè)面)。探針組裝體14是用于與液晶面板5的電路電極相接觸來(lái)傳 輸檢查信號(hào)的構(gòu)件。該探針組裝體14安裝在探針板2 0的下側(cè) 面。如圖6~8所示，該探針組裝體14具有對(duì)笨針塊(probe block)22和探針23。探針塊22直接安裝于探針板20的下側(cè)面。 在該探針塊22的下側(cè)安裝有探針23。探針23是直接與液晶面板 5的電路電極相接觸的構(gòu)件。在探針23的前端部和基端部分別 具有針部23A、 23B,前端部的針部23A與液晶面板5的電路電 極相接觸，而基端的針部23B與連接電纜部15的端子31相接觸。連接電纜部15是用于將上述探針23與外部裝置(未圖示)電 連接的構(gòu)件。具體而言，該連接電纜部15直接連接于上述探針 23的針部23B與探針基部12側(cè)的電路，并通過(guò)該探針基部12側(cè) 的電路與外部裝置電連接。即，該連接電纜部15通過(guò)探針基部 12的印刷線路板26,將上述探針組裝體14的探針23與外部裝置 電連接。如圖6 8所示，該連接電纜部15具有FPC板27、驅(qū)動(dòng)用集成電路28以及FPC電纜29。上述FPC板27是用于將上述連接電纜部15固定在上述探 針組裝體14側(cè)的構(gòu)件。該F P C板2 7安裝在探針2 0的下側(cè)。驅(qū)動(dòng)用集成電路28是進(jìn)行伴隨著檢查操作的處理的電路。 驅(qū)動(dòng)用集成電路28安裝于FP板27的下側(cè)。該驅(qū)動(dòng)用集成電路 28的一側(cè)與FPC電纜29相連接，而驅(qū)動(dòng)用集成電路28另 一側(cè)通 過(guò)各配線30與各端子31相連接。并且，該端子31與探針23基端 側(cè)的針部2 3 B相接觸。該探針2 3的針部2 3 B對(duì)準(zhǔn)導(dǎo)向膜3 2的導(dǎo) 向孔33,并與FPC電纜29的端子31相接觸。FPC電纜29是用于傳輸伴隨檢查操作而發(fā)生的電信號(hào)的 電纜。FPC電纜29的一端固定于FPC板27上，并與驅(qū)動(dòng)用集成 電路28電連接，同時(shí)其另 一端與設(shè)在探針基部12下側(cè)的印刷線 路板26相連接。由此，F(xiàn)PC電纜29通過(guò)該印刷線路板26與外部 裝置電連接。然而，在上述檢查裝置中，作為防止液晶面板5的點(diǎn)亮檢 查時(shí)動(dòng)畫(huà)顯示模糊的對(duì)策，而推進(jìn)了 TFT驅(qū)動(dòng)的高速化。例如， 推進(jìn)將60Hz提高到120 ~ 180Hz來(lái)高速化驅(qū)動(dòng)。但是，若頻率提高到120 ~ 180Hz,則從印刷路線板26進(jìn) 入驅(qū)動(dòng)用集成電路28中的信號(hào)容易受到噪聲等的影響。發(fā)生作 為噪聲的電磁波時(shí)，F(xiàn)PC電纜29容易將其接收而發(fā)生傳輸劣化 (出錯(cuò))問(wèn)題。這種傳輸劣化會(huì)對(duì)液晶面板5的點(diǎn)亮產(chǎn)生很大的影 響，從而產(chǎn)生檢查精度降低的問(wèn)題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為解決上述問(wèn)題而開(kāi)發(fā)出的，目的在于提供一種 可將噪聲的影響控制在最小限度的探針單元以及檢查裝置。為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種探針單元，其具有探針組裝體，該探針組裝體與設(shè)置在檢查對(duì)象板表面上的電路的電極相接觸來(lái)傳輸檢查信號(hào)；連接電纜部，該連接電纜部通過(guò) 探針基部的印刷線路板將上述探針組裝體與外部裝置電連接， 上述連接電纜部具有FPC板、驅(qū)動(dòng)用集成電路和FPC電纜，該 FPC板將該連接電纜部固定在上述探針組裝體側(cè)，該驅(qū)動(dòng)用集 成電路進(jìn)行伴隨著檢查的處理，該FPC電纜傳輸供檢查用的電 信號(hào)，上述驅(qū)動(dòng)用集成電路安裝于上述探針基部的印刷線路板 上，上述FPC電纜將上述驅(qū)動(dòng)用集成電路與上述探針組裝體連 接起來(lái)。根據(jù)上述構(gòu)成，通過(guò)上述FPC電纜將由上述探針組裝體檢 測(cè)出的檢查信號(hào)傳輸?shù)缴鲜鲵?qū)動(dòng)用集成電路中，再通過(guò)上述 FPC電纜將來(lái)自上述驅(qū)動(dòng)用集成電路的信號(hào)傳輸?shù)缴鲜鼋M裝 體，由此使檢測(cè)難以受到噪聲等的影響。該探針組裝體與上述 檢查對(duì)象板的電路電極相接觸。優(yōu)選的是將從上述探針組裝體到FPC電纜的電阻設(shè)定為 IOQ以下。根據(jù)上述構(gòu)成，通過(guò)將從上述探針組裝體到FPC電纜的電裝體檢測(cè)出的檢查信號(hào)傳輸?shù)缴鲜鲵?qū)動(dòng)用集成電路中時(shí)，以及 在通過(guò)上述FPC電纜將來(lái)自上述驅(qū)動(dòng)用集成電路的信號(hào)傳輸?shù)?上述探針組裝體時(shí)，都難以受到噪聲等的影響。優(yōu)選的是將上述探針單元應(yīng)用到具有以下結(jié)構(gòu)的檢查裝置 中，即該檢查裝置具有面板配設(shè)部，其在檢查結(jié)束后將從外 部插入的檢查對(duì)象板搬出到外部；測(cè)定部，其支承由面板配設(shè) 部輸送來(lái)的檢查對(duì)象板，并對(duì)該檢查對(duì)象板進(jìn)行試驗(yàn)。綜上所述，利用本發(fā)明不容易受到噪聲等的影響，因此無(wú) 論是否對(duì)TFT驅(qū)動(dòng)進(jìn)行高速化都可保持較高的檢查精度。


圖l為表示本發(fā)明實(shí)施方式的探針單元的側(cè)視圖。圖2為表示以往的檢查裝置的主視圖。圖3為表示以往的檢查裝置的探針單元以及工作臺(tái)的立體圖。圖4為表示以往的檢查裝置的探針單元的立體圖。 圖5為表示以往的檢查裝置的探針單元的俯視圖。 圖6為表示以往的檢查裝置的探針單元的側(cè)視圖。 圖7為表示以往的檢查裝置的探針單元的側(cè)面剖視圖(圖5 的A-A剖視圖)。圖8為表示以往的檢查裝置的探針單元的仰視圖。 圖9為表示本發(fā)明的檢查裝置的探針單元的仰視圖。
具體實(shí)施方式
以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的探針單元以及檢查 裝置進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的探針單元以及檢查裝置在整體上與上述以往 的探針單元以及檢查裝置基本相同。本實(shí)施方式的探針單元以 及檢查裝置的特征在于改進(jìn)了驅(qū)動(dòng)用集成電路的安裝位置。由 于其他結(jié)構(gòu)與上述以往的檢查裝置相同，因此在這里對(duì)其同一 構(gòu)件標(biāo)注以相同的附圖標(biāo)記來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。如圖1和圖9所示，本實(shí)施方式的探針單元41具有探針基 部12、支承部13、探針組裝體14以及連接電纜部42。與上述以往的探針單元ll同樣，上述探針基部12是一體地 支承多個(gè)支承部13的板材，該支承部13支承探針組裝體14。與上述以往的探針單元11同樣，上述支承部13是其基端側(cè) 支承于上述探針基部12、且由其前端側(cè)支承上述探針組裝體14的構(gòu)件。與上述以往的探針單元ll同樣，上述探針組裝體14是用于 與液晶面板5的電路電極進(jìn)行接觸，并傳輸檢查信號(hào)的構(gòu)件。探針組裝體14安裝于探針板20的下側(cè)面。該探針組裝體14具有 探針塊22和探針23。連接電纜部42是用于通過(guò)探針基部12的印刷線路板26而 將上述探針組裝體14與外部裝置電連接的構(gòu)件。具體而言，該 連接電纜部42與上述探針23的針部23B直接連接，且通過(guò)該探 針基部12側(cè)的電路與外部裝置電連接。與上述以往的探針單元ll同樣，上述FPC板27是用于將上 述連接電纜部42固定在上述探針組裝體14側(cè)的構(gòu)件。該FPC板 27安裝在探針板20的下側(cè)。驅(qū)動(dòng)用集成電路43是用于進(jìn)行伴隨著檢查的處理的電路。 與上述以往的探針單元ll不同，驅(qū)動(dòng)用集成電路43安裝于探針 基部12的印刷線路板26上。驅(qū)動(dòng)用集成電路43的 一側(cè)直接與印 刷線路板26連接，而其另 一側(cè)通過(guò)配線45與連接器46連接。而 且在該連接器46上連接有FPC電纜47,該FPC電纜47直接安裝 于FPC板27上，在該電纜47前端設(shè)置有端子31。自上述探針組裝體14的探針2 3前端側(cè)的針部2 3 A到F P C電 纜4 7的連接器4 6的電阻被設(shè)定為10 Q以下。在本申請(qǐng)人制造的 探針單元以及檢查裝置中，在將從上述探針組裝體14的探針23 前端側(cè)的針部23A到FPC電纜47的連接器46的電阻設(shè)定為10Q 以下時(shí)，可獲得最佳的結(jié)果。因此，將從驅(qū)動(dòng)用集成電路43的 靠探針23 —側(cè)、即從上述探針組裝體14的探針23前端側(cè)的針部 23A到FPC電纜47的連接器46的電阻設(shè)定為IOQ以下。利用如上構(gòu)成的探針單元41以及采用該探針單元ll的檢 查裝置，將發(fā)揮如下的作用。使探針組裝體14與形成于作為上述檢查對(duì)象板的液晶面板5的表面上的電路的各電極相接觸，通過(guò)FPC電纜47將來(lái)自 驅(qū)動(dòng)用集成電路43側(cè)的檢查信號(hào)傳導(dǎo)到液晶面板5的表面電路 中，進(jìn)行點(diǎn)亮檢查。另外，通過(guò)基端側(cè)的針部23B,將上述探針組裝體14檢測(cè) 出的檢查信號(hào)從前端側(cè)的針部23A傳輸?shù)缴鲜鯢PC電纜47，再 通過(guò)該FPC電纜47將信號(hào)傳輸?shù)缴鲜鲵?qū)動(dòng)用集成電路43。然 后，通過(guò)探針基部12的印刷線路板26,將來(lái)自該上述驅(qū)動(dòng)用集 成電路43的信號(hào)發(fā)送往外部裝置。由此，通過(guò)上述FPC電纜47傳輸?shù)男盘?hào)不容易受到噪聲等 的影響。特別是由于將從上述探針組裝體14的探針23前端側(cè)的針 部23A到FPC電纜47的連接器46的電阻設(shè)定為IOQ以下，因而 在通過(guò)上述FPC電纜47將由上述探針組裝體14檢測(cè)出的檢查 信號(hào)傳輸?shù)缴鲜鲵?qū)動(dòng)用集成電路43時(shí)，以及在通過(guò)上述FPC電 纜47將來(lái)自上述驅(qū)動(dòng)用集成電路43的信號(hào)傳輸?shù)缴鲜鼋M裝體 14時(shí)，都不容易受到噪聲等的影響。其結(jié)果是，無(wú)論有否對(duì)TFT 驅(qū)動(dòng)進(jìn)行高速化，本發(fā)明裝置都可保持較高的檢查精度。變形例作為具有上述實(shí)施方式的探針單元41的檢查裝置，并不只 限于上述以往的檢查裝置，可將本申請(qǐng)發(fā)明適用于可配置探針 單元41的所有檢查裝置。
權(quán)利要求
1.一種探針單元，其特征在于，包括探針組裝體，該探針組裝體與設(shè)置在檢查對(duì)象板表面上的電路的電極相接觸來(lái)傳輸檢查信號(hào)；連接電纜部，該連接電纜部通過(guò)探針基部的印刷線路板將上述探針組裝體與外部裝置電連接，上述連接電纜部具有FPC板、驅(qū)動(dòng)用集成電路和FPC電纜，該FPC板將該連接電纜部固定在上述探針組裝體側(cè)，該驅(qū)動(dòng)用集成電路進(jìn)行伴隨著檢查的處理，該FPC電纜傳輸供檢查用的電信號(hào)，上述驅(qū)動(dòng)用集成電路安裝于上述探針基部的印刷線路板上，上述FPC電纜將上述驅(qū)動(dòng)用集成電路與上述探針組裝體連接起來(lái)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的探針單元，其特征在于，將從上 述探針組裝體到FPC電纜的電阻設(shè)定為IOQ以下。
3. —種檢查裝置，用于對(duì)檢查對(duì)象板的檢查，其特征在 于，該一企查裝置具有面板配設(shè)部和測(cè)定部，該面板配設(shè)部用于 在檢查結(jié)束后將從外部插入的檢查對(duì)象板搬出到外部，該測(cè)定 部支承由該面4反配"i殳部輸送來(lái)的才企查對(duì)象4反并對(duì)該4全查對(duì)象板 進(jìn)行試驗(yàn)；上述測(cè)定部的探針單元具有探針組裝體和連接電纜部，該 探針組裝體與設(shè)置在檢查對(duì)象板表面上的電路的電極相接觸， 并傳輸檢查信號(hào)，上述連接電纜部通過(guò)探針基部的印刷線路板 將上述探針組裝體與外部裝置電連接，上述連接電纜部具有 FPC板、驅(qū)動(dòng)用集成電路和FPC電纜，該FPC板將該連接電纜 部固定在上述探針組裝體側(cè)，該驅(qū)動(dòng)用集成電路進(jìn)行伴隨著檢 查的處理，該FPC電纜傳輸供檢查用的電信號(hào)，上述驅(qū)動(dòng)用集 成電路安裝于上述探針基部的印刷線路板上，上述FPC電纜將上述驅(qū)動(dòng)用集成電路與上述探針組裝體連接起來(lái)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢查裝置，其特征在于，將從上 述探針組裝體到FPC電纜的電阻設(shè)定為IOQ以下。
全文摘要
本發(fā)明提供一種探針單元以及檢查裝置，無(wú)論有無(wú)噪聲都可保持較高的檢查精度。一種探針單元以及檢查裝置，探針單元具有探針組裝體，其與設(shè)于檢查對(duì)象板表面上的電路電極相接觸來(lái)傳輸檢查信號(hào)；連接電纜部，其通過(guò)探針基部的印刷線路板將上述探針組裝體與外部裝置電連接，上述連接電纜部具有FPC板，其將該連接電纜部固定在上述探針組裝體側(cè)；驅(qū)動(dòng)用集成電路，其進(jìn)行伴隨著檢查的處理；FPC電纜，其傳輸供檢查用的電信號(hào)，上述驅(qū)動(dòng)用集成電路安裝于上述探針基部的印刷線路板上，上述FPC電纜將上述驅(qū)動(dòng)用集成電路與上述探針組裝體連接起來(lái)。將從上述探針組裝體到FPC電纜的電阻設(shè)定為10Ω以下。
文檔編號(hào)G01R1/073GK101271147SQ20081008575
公開(kāi)日2008年9月24日 申請(qǐng)日期2008年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月20日
發(fā)明者久我智昭, 奈良岡修治 申請(qǐng)人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司